硅片清洗甩干装置制造方法及图纸

技术编号:9317135 阅读:141 留言:0更新日期:2013-11-06 21:49
本实用新型专利技术提供一种硅片清洗甩干装置,包括汽缸、盖板、清洗槽、支架、电机、转筒和硅片承载器,清洗槽固定安装在支架上,电机固定安装在清洗槽的底部,且电机的输出轴延伸至清洗槽内,转筒安装在清洗槽内,且转筒的底部固定连接在电机的输出轴上,转筒的表面开设有小孔,硅片承载器周向均布在转筒内,汽缸垂直安装在清洗槽的正上方,盖板固定安装在汽缸的输出轴上,盖板的底部设有喷嘴,喷嘴连接进水管,清洗槽的底部开设有出水口。本实用新型专利技术硅片清洗甩干装置,结构简单,集清洗与甩干于一体,提高了生产效率。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种硅片清洗甩干装置,其特征在于:包括气缸(1)、盖板(3)、清洗槽(5)、支架(7)、电机(9)、转筒(10)和硅片承载器(12),所述清洗槽(5)固定安装在所述支架(7)上,所述电机(9)固定安装在所述清洗槽(5)的底部,且所述电机(9)的输出轴延伸至所述清洗槽(5)内,所述转筒(10)安装在所述清洗槽(5)内,且所述转筒(10)的底部固定连接在所述电机(9)的输出轴上,所述转筒(10)的表面开设有小孔,所述硅片承载器(12)周向均布在所述转筒(10)内,所述气缸(1)垂直安装在所述清洗槽(5)的正上方,所述盖板(3)固定安装在所述气缸(1)的输出轴上,所述盖板(3)的底部设有喷嘴(4),所述喷嘴(4)连接进水管(2),所述清洗槽(5)的底部开设有出水口(8)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:石少华俞超吕海强刘飞杜同江
申请(专利权)人:浙江金乐太阳能科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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