硅片清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种硅片清洗装置，包括底座盘，所述底座盘的底部固定安装有回收箱，所述底座盘的顶部固定安装有两个竖直设置的支撑柱，所述支撑柱的顶部焊接有顶板，所述顶板上转动安装有竖直设置的转动轴，所述转动轴的底部延伸至顶板的下方固定连接有U形架，所述顶板的顶部固定安装有电机，电机的输出轴和转动轴上均套设有皮带轮，皮带轮上设有皮带，U形架上滑动安装有多个夹持板，所述U形架上套设有多个弹簧，弹簧位于夹持板之间，所述夹持板上开设有夹持槽，底座盘的顶部转动安装有承重柱，所述承重柱的顶部与夹持板固定连接。本实用新型专利技术实现了硅片的批量清洗，清洗效果好，清洗效率高，同时节约水资源，使用方便，易于推广。

【技术实现步骤摘要】
硅片清洗装置
本技术涉及硅片
，尤其涉及一种硅片清洗装置。
技术介绍
在硅片生产加工过程中，会对硅片进行清洗，由于硅片为片状，在清洗的时候需要人为翻转硅片，才能得到全方位的清洗，现有的清洗效率低下，同时在清洗的时候对睡因此，需要一种硅片清洗装置来解决以上问题。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种硅片清洗装置。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：硅片清洗装置，包括底座盘，所述底座盘的底部固定安装有回收箱，所述底座盘的顶部固定安装有两个竖直设置的支撑柱，所述支撑柱的顶部焊接有顶板，所述顶板上转动安装有竖直设置的转动轴，所述转动轴的底部延伸至顶板的下方固定连接有U形架，所述顶板的顶部固定安装有电机，电机的输出轴和转动轴上均套设有皮带轮，皮带轮上设有皮带，所述U形架上滑动安装有多个夹持板，所述U形架上套设有多个弹簧，弹簧位于夹持板之间，所述夹持板上开设有夹持槽，所述底座盘的顶部转动安装有承重柱，所述承重柱的顶部与夹持板固定连接，所述支撑柱上设有放置腔，放置腔内固定安装有分流管，所述分流管上设有喷水装置，所述U形架上设有气缸，气缸的活塞杆与夹持板固定连接。优选的，所述回收箱内设有水平设置的过滤网，底座盘上开设有多个流通孔，流通孔位于回收箱的正上方，回收箱的一侧固定连接有出水管，出水管的水平高度高于过滤网的水平高度。优选的，所述喷水装置由支管和喷头组成，支管与分流管固定连接，支管的一端延伸至支撑柱的外部与喷头固定连接，支撑柱的一侧设有进水管，进水管与分流管的顶部连通。优选的，所述底座盘和顶板上均固定安装有轴承，两个轴承分别套设于转动轴和承重柱上。优选的，所述夹持槽为多个，多个夹持槽等距离对称设置于夹持板的顶部与底部。本技术的有益效果是：通过气缸推动夹持板之间相互靠近，把硅片卡在两个夹持槽之间，实现硅片的夹持固定，通过喷水装置对硅片进行冲洗，在冲洗的过程中，电机带动U形架转动，带动硅片转动，保证硅片的全方位清洗，清洗效果好，批量清洗，清洗效率高，清洗完的水可以被重新利用，节约水资源。本技术实现了硅片的批量清洗，清洗效果好，清洗效率高，同时节约水资源，使用方便，易于推广。附图说明图1为本技术提出的硅片清洗装置的结构示意图；图2为支撑柱的剖视结构示意图。图中：1底座盘、2回收箱、3支撑柱、4顶板、5转动轴、6电机、7皮带轮、8皮带、9U形架、10夹持板、11弹簧、12夹持槽、13承重柱、14气缸、15放置腔、16分流管、17喷水装置。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。参照图1-2，硅片清洗装置，包括底座盘1，底座盘1的底部固定安装有回收箱2，底座盘1的顶部固定安装有两个竖直设置的支撑柱3，支撑柱3的顶部焊接有顶板4，顶板4上转动安装有竖直设置的转动轴5，转动轴5的底部延伸至顶板4的下方固定连接有U形架9，顶板4的顶部固定安装有电机6，电机6的输出轴和转动轴5上均套设有皮带轮7，皮带轮7上设有皮带8，U形架9上滑动安装有多个夹持板10，U形架9上套设有多个弹簧11，弹簧11位于夹持板10之间，夹持板10上开设有夹持槽12，底座盘1的顶部转动安装有承重柱13，承重柱13的顶部与夹持板10固定连接，支撑柱3上设有放置腔15，放置腔15内固定安装有分流管16，分流管16上设有喷水装置17，U形架9上设有气缸14，气缸14的活塞杆与夹持板10固定连接。本实施例中，回收箱2内设有水平设置的过滤网，底座盘1上开设有多个流通孔，流通孔位于回收箱2的正上方，回收箱2的一侧固定连接有出水管，出水管的水平高度高于过滤网的水平高度，喷水装置17由支管和喷头组成，支管与分流管16固定连接，支管的一端延伸至支撑柱3的外部与喷头固定连接，支撑柱3的一侧设有进水管，进水管与分流管16的顶部连通，底座盘1和顶板4上均固定安装有轴承，两个轴承分别套设于转动轴5和承重柱13上，夹持槽12为多个，多个夹持槽12等距离对称设置于夹持板10的顶部与底部，通过气缸14推动夹持板10之间相互靠近，把硅片卡在两个夹持槽12之间，实现硅片的夹持固定，通过喷水装置17对硅片进行冲洗，在冲洗的过程中，电机6带动U形架9转动，带动硅片转动，保证硅片的全方位清洗，清洗效果好，批量清洗，清洗效率高，清洗完的水可以被重新利用，节约水资源。本技术实现了硅片的批量清洗，清洗效果好，清洗效率高，同时节约水资源，使用方便，易于推广。本实施例中，通过气缸14推动夹持板10运动，使得夹持板10之间相互靠近，把硅片卡在两个夹持槽12之间，实现硅片的夹持固定，弹簧11处于压缩状态，通过对分流管16注水，通过喷水装置17对硅片进行冲洗，在冲洗的过程中，电机6带动皮带轮7和转动轴5转动，然后带动U形架9转动，带动硅片转动，保证硅片的全方位清洗，清洗效果好，批量清洗，清洗效率高，清洗完的水通过底座盘1和回收箱2收集、过滤处理，可以被重新利用，节约水资源。以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.硅片清洗装置，包括底座盘(1)，其特征在于，所述底座盘(1)的底部固定安装有回收箱(2)，所述底座盘(1)的顶部固定安装有两个竖直设置的支撑柱(3)，所述支撑柱(3)的顶部焊接有顶板(4)，所述顶板(4)上转动安装有竖直设置的转动轴(5)，所述转动轴(5)的底部延伸至顶板(4)的下方固定连接有U形架(9)，所述顶板(4)的顶部固定安装有电机(6)，电机(6)的输出轴和转动轴(5)上均套设有皮带轮(7)，皮带轮(7)上设有皮带(8)，所述U形架(9)上滑动安装有多个夹持板(10)，所述U形架(9)上套设有多个弹簧(11)，弹簧(11)位于夹持板(10)之间，所述夹持板(10)上开设有夹持槽(12)，所述底座盘(1)的顶部转动安装有承重柱(13)，所述承重柱(13)的顶部与夹持板(10)固定连接，所述支撑柱(3)上设有放置腔(15)，放置腔(15)内固定安装有分流管(16)，所述分流管(16)上设有喷水装置(17)，所述U形架(9)上设有气缸(14)，气缸(14)的活塞杆与夹持板(10)固定连接。

【技术特征摘要】
1.硅片清洗装置，包括底座盘(1)，其特征在于，所述底座盘(1)的底部固定安装有回收箱(2)，所述底座盘(1)的顶部固定安装有两个竖直设置的支撑柱(3)，所述支撑柱(3)的顶部焊接有顶板(4)，所述顶板(4)上转动安装有竖直设置的转动轴(5)，所述转动轴(5)的底部延伸至顶板(4)的下方固定连接有U形架(9)，所述顶板(4)的顶部固定安装有电机(6)，电机(6)的输出轴和转动轴(5)上均套设有皮带轮(7)，皮带轮(7)上设有皮带(8)，所述U形架(9)上滑动安装有多个夹持板(10)，所述U形架(9)上套设有多个弹簧(11)，弹簧(11)位于夹持板(10)之间，所述夹持板(10)上开设有夹持槽(12)，所述底座盘(1)的顶部转动安装有承重柱(13)，所述承重柱(13)的顶部与夹持板(10)固定连接，所述支撑柱(3)上设有放置腔(15)，放置腔(15)内固定安装有分流管(16)，所述分流管(16)上设有喷水装置(17)，...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕海强，郑安，黄杨康，
申请(专利权)人：浙江金乐太阳能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33