下载硅片清洗甩干装置的技术资料

文档序号:9317135

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本实用新型提供一种硅片清洗甩干装置,包括汽缸、盖板、清洗槽、支架、电机、转筒和硅片承载器,清洗槽固定安装在支架上,电机固定安装在清洗槽的底部,且电机的输出轴延伸至清洗槽内,转筒安装在清洗槽内,且转筒的底部固定连接在电机的输出轴上,转筒的表面...
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