The utility model discloses a sheet element boron coating machine, which comprises a frame and a rotating table arranged on the frame, and is characterized in that the rotating table includes a vacuum rotating sucker, the surface of the vacuum rotating sucker has hollow grooves, the vacuum rotating sucker is connected with the vacuum chamber, the vacuum chamber is connected with the vacuum pumping equipment, and the rotating table also includes a vacuum rotating sucker. A rotating shaft connected by a vacuum rotating sucker is connected to the output shaft of a speed regulating motor. The boron coating machine adsorbs the elements on the rotating sucker and coats the boron liquid on the surface of the components manually with a brush. This clamping method overcomes the possible damage to the components, especially the edges of the components in mechanical clamping, reduces the rejection rate, and improves the production efficiency and product quality.
【技术实现步骤摘要】
一种片式元件涂硼机
本技术涉及片式元件加工
，尤其是涉及一种片式元件涂硼机。
技术介绍
GPP芯片是借助玻璃钝化层对pn结区进行保护的芯片，即在硅片P+面上利用化学腐蚀方法开出一定深度的沟槽并将暴露的pn结用玻璃钝化层保护起来，该种GPP芯片的优点是工艺简单易行，电性能可靠性高且成本低廉。GPP芯片的制造工艺流程为：选择硅片→对硅片进行清洗→磷扩→分片→单面喷砂→涂硼前清洗→涂硼→扩硼→双面喷砂→镀镍前清洗→镀镍、镍烧结和二次镀镍。该工艺的涂硼步骤中，涂硼机一般为将硅片卡装在旋转盘上，人工用毛刷在硅片表面涂硼液，该种方式存在以下缺陷：硅片卡装操作复杂，且容易产生硅片卡损现象。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术中存在的缺点，提供一种采用真空吸附方式对硅片实现卡装的涂硼机，该卡装方式可有效避免涂硼卡装对硅片的卡损，采用的技术方案是：一种片式元件涂硼机，包括机架和设置在机架上的旋转工作台，其特征在于：所述旋转工作台包括真空转动吸盘，所述真空转动吸盘的表面有镂空的沟槽，所述吸盘与真空室连通，所述真空室与抽真空设备连接；所述旋转工作台还包括与真空转动吸盘连接的转...
【技术保护点】
1.一种片式元件涂硼机，包括机架和设置在机架上的旋转工作台，其特征在于：所述旋转工作台包括真空转动吸盘，所述真空转动吸盘的表面有镂空的沟槽，所述真空转动吸盘与真空室连通，所述真空室与抽真空设备连接；所述旋转工作台还包括与真空转动吸盘连接的转轴，所述转轴连接在调速电机的输出轴上。
【技术特征摘要】
1.一种片式元件涂硼机，包括机架和设置在机架上的旋转工作台，其特征在于：所述旋转工作台包括真空转动吸盘，所述真空转动吸盘的表面有镂空的沟槽，所述真空转动吸盘与真空室连通，所述真空室与抽真空设备连接；所述旋转工作台还包括与真空转动吸...
【专利技术属性】
技术研发人员：张运，孙者利，
申请(专利权)人：济南卓微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37
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