本实用新型公开了一种光刻胶去除气泡的装置，涉及光刻胶技术领域；而本实用新型包括搅拌桶，搅拌桶上端设置去气泡机构，且去气泡机构包括搅拌单元、传输单元、第一电磁阀、存储单元、过滤单元、计量单元、抽气管、第二电磁阀、抽取单元和出料管，搅拌桶上...

本实用新型公开了一种防止光刻版磨损的装置，涉及光刻版技术领域；而本实用新型包括底座，底座外侧设置有悬空机构，且悬空机构包括支撑单元、电动伸缩杆、限位单元、缓冲单元、移动单元和弹簧，底座上侧外端设置支撑单元，且底座两侧固连电动伸缩杆，电动...

本实用新型公开了一种散粒芯片贴蓝膜固晶装置，包括底座，用于对整个装置进行位置的定位固定，所述底座的顶部靠近侧壁位置对称固定连接有支架，两个所述支架的相对面的中部位置均转动连接有主轴，用于带动整体的转动，所述底座的顶部靠近侧壁位置设置有转...

本实用新型公开了一种芯片震动器，包括底座，所述底座底部上表面四个拐角处均固定连接有支撑杆，四个所述支撑杆远离底座一端贯穿滑动连接有振动机构；振动机构是为了对放置盘上的芯片进行振动，从而使得芯片能够堆叠的更加密实，无间隙，运输中不会出现碰...

本实用新型公开了一种硅片开槽机，包括底座，所述底座顶端表面开设有第一安装槽，所述第一安装槽内侧表面开设有第二安装槽，所述第二安装槽内侧设置有第一伺服电机，所述第一安装槽内侧设置有螺纹杆，所述第一安装槽内侧设置有滑座，所述滑座内侧开设有螺...

本实用新型公开了一种模拟手动晶圆清洗的晃篮机，包括摇摆机构，所述摇摆机构中包含有摆动组件以及转动组件，所述摆动组件中包含有第一电机，所述第一电机输出端固定安装有滚轴，所述滚轴另一端固定安装有转盘，所述转盘偏离圆心的位置固定安装有连接块，...

本实用新型提供了一种半导体生产废气抽风系统，包括连通半导体生产设备和抽风机的废气管，在废气管靠近抽风机的一端设置有废气支管，所述的废气支管一端与废气管连通，在废气支管的另一端设置用于阻挡外部空气进入的挡板，挡板与废气支管铰接，在废气支管...

本实用新型提供了一种用于半导体生产的混酸恒温系统，包括用于刻蚀的酸槽，其特征是：所述酸槽的进水管和出水管分别与制冷箱连通，在制冷箱中设置用于热交换的降温盘管，降温盘管的两端分别与制冷机连通，在酸槽的进水管上设置酸泵和阀门，酸槽的进水管与...

本实用新型公开了一种片式元件涂硼机，包括机架和设置在机架上的旋转工作台，其特征在于：所述旋转工作台包括真空转动吸盘，所述真空转动吸盘的表面有镂空的沟槽，所述真空转动吸盘与真空室连通，所述真空室与抽真空设备连接；所述旋转工作台还包括与真空...

本实用新型公开了一种真空槽,包括真空槽体，其特征在于：在所述真空槽体两侧设置真空的缓冲室，在所述缓冲室的两端设置法兰连接真空泵，所述缓冲室是底部密封上端敞口的容器，所述缓冲室的上端口与所述真空槽体的上端口平行。本实用新型的有益效果是：由...

本发明公开了一种GPP芯片清洗溶液及清洗工艺，清洗溶液包括1#液和2#液，其中1#液按重量份为：纯水6‑9份，质量浓度为35%的过氧化氢2份，浓度为35%的氨水1份；2#液：纯水6‑9份，浓度为35%的过氧化氢2份，浓度为35%的盐酸1...

一种片式元件用涂玻璃机，包括机架，还包括设置在所述机架上的元件传送部件和完成不同加工工艺步骤的加工工位，加工工位至少包括进出片工位、流平工位、压气工位和找平工位，片式元件传送部件包括转盘和机械手，转盘上设有用于吸附所述片式元件的吸盘，机...

一种片式元件用涂玻璃机，包括机架，涂玻璃机还包括元件传送部件和完成不同加工工艺步骤的加工工位，加工工位至少包括进出片工位、流平工位、压气工位和找平工位，片式元件在所述元件传送部件带动下，依次经进出片工位进片、流平工位将玻璃浆平铺在片式元...

一种甩胶机，包括机架，机架包括机台，机台上设有甩胶部分，机架的上部设有控制部分，控制部分包括控制面板，控制部分与机台之间还设有隔板，甩胶部分包括容纳腔，容纳腔内设有甩胶盘，甩胶盘与真空吸气部分相连通，甩胶机还设有胶液回收部分，胶液回收部...

一种自动晃篮机，包括机台，在机台上设有水槽，晃篮机还包括挂架，挂架一端为镂空的底板、另一端为挂板；晃篮机还包括传动部分，传动部分包括在电机带动下转动的转轴和连接在转轴上的偏心传动部件，偏心传动部件通过升降架连接挂板。本新型具有结构简单、...

本实用新型公开了一种芯片，由纵横沟道间隔组成晶粒的芯片本体，其特征在于：在所述芯片本体的边沿沟道的外侧增加设置一条刻痕，并在所述刻痕里填充玻璃。本方案的有益效果是：做一次光刻时，通过改变光刻版的图形，在晶片边沿的沟道处外侧增加了一条沟道...

一种烘干机，包括机架和位于机架下部的烘干箱，机架上部装有控制部件，烘干箱包括箱门和设置在箱门内的搁物架，烘干箱的内壁上装有电热管，烘干箱还设有氮气入口和废气出口，氮气入口连接氮气输入管，废气出口连接废气排出管；烘干箱的底板上装有驱动缸，...

一种硅片开槽机，包括机架，在机架上设有机台，机台的上方为控制部分，机台上设有酸液槽，开槽机包括设置在酸液槽上方的花篮吊装部件，花篮吊装部件包括电机，电机的输出轴连接偏心轮，偏心轮上固定有连接杆，连接杆的底部设有花篮吊架。本开槽机通过偏心...

本实用新型公开了一种光刻机光源，该光刻机光源包括10颗以上的紫外线灯珠均匀分布在光源板正面，紫外线灯珠通过导线连接到发生器上，发生器调节光源强度。本实用新型的光刻机光源光强度高、热量小、寿命长、功率小仅有现有技术的10%、环保无污染、使...

一种硅片用显影机，包括机台，在机台上设有显影液槽，显影机还包括花篮传动部分，花篮传动部分包括动力部件，动力部件包括转轴，在转轴上安装有偏心轮，偏心轮连接挂架。本新型在现有技术的基础上增设了花篮传动部分，该部分可带动连接在其上的花篮上升或...