一种用于半导体生产的混酸恒温系统技术方案

本实用新型专利技术提供了一种用于半导体生产的混酸恒温系统，包括用于刻蚀的酸槽，其特征是：所述酸槽的进水管和出水管分别与制冷箱连通，在制冷箱中设置用于热交换的降温盘管，降温盘管的两端分别与制冷机连通，在酸槽的进水管上设置酸泵和阀门，酸槽的进水管与酸槽的底部连通，酸槽的出水管设置在酸槽远离进水管的一侧，在酸槽的进水管上设置第一热敏电阻，第一热敏电阻与报警电路连接，在制冷机的进液管上设置第二热敏电阻，第二热敏电阻与报警电路连接。该系统可以使酸液循环并经过冷却机冷却，使酸液温度稳定，避免温度变化对刻蚀的影响。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体生产的混酸恒温系统
本技术涉及的是半导体制作领域，尤其是用于混酸对硅材料进行刻蚀时，对混酸进行温度调节的混酸恒温系统。
技术介绍
在半导体制作过程中，需要用混酸对硅材料进行刻蚀，混酸的温度决定了腐蚀效果，其深度，宽度都深受温度的影响，酸温不稳定导致深度和宽度偏差过大。目前混酸腐蚀是将降温盘管放到酸槽的四周，利用盘管使混酸温度降低，由于混酸槽中心有需要刻蚀的材料，不能有降温盘管，导致中心的温度高于四周的温度，由此导致刻蚀不均匀。
技术实现思路
本专利技术针对上述的不足，提供了一种用于半导体生产的混酸恒温系统，该系统可以使酸液循环并经过冷却机冷却，使酸液温度稳定，避免温度变化对刻蚀的影响。本专利技术是通过如下方式实现的：一种用于半导体生产的混酸恒温系统，包括用于刻蚀的酸槽，所述酸槽的进水管和出水管分别与制冷箱连通，在制冷箱中设置用于热交换的降温盘管，降温盘管的两端分别与制冷机连通，在酸槽的进水管上设置酸泵和阀门，酸槽的进水管与酸槽的底部连通，酸槽的出水管设置在酸槽远离进水管的一侧，在酸槽的进水管上设本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于半导体生产的混酸恒温系统，包括用于刻蚀的酸槽，其特征是：所述酸槽的进水管和出水管分别与制冷箱连通，在制冷箱中设置用于热交换的降温盘管，降温盘管的两端分别与制冷机连通，在酸槽的进水管上设置酸泵和阀门，酸槽的进水管与酸槽的底部连通，酸槽的出水管设置在酸槽远离进水管的一侧，在酸槽的进水管上设置第一热敏电阻，第一热敏电阻与报警电路连接，在制冷机的进液管上设置第二热敏电阻，第二热敏电阻与报警电路连接。/n

【技术特征摘要】
20191107 CN 20192190675861.一种用于半导体生产的混酸恒温系统，包括用于刻蚀的酸槽，其特征是：所述酸槽的进水管和出水管分别与制冷箱连通，在制冷箱中设置用于热交换的降温盘管，降温盘管的两端分别与制冷机连通，在酸槽的进水管上设置酸泵和阀门，酸槽的进水管与酸槽的底部连通，酸槽的出水管设置在酸槽远离进水管的一侧，在酸槽的进水管上设置第一热敏电阻，第一热敏电阻与报警电路连接，在制冷机的进液管上设置第二热敏电阻，第二热敏电阻与报警电路连接。


2.根据权利要求1所述的用于半导体生产的混酸恒温系统，其特征是：在酸槽内设置温度传感器，所述温度传感器与控制器连接，控制器与制冷机的压缩机连接。


3.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：张运，孙者利，
申请(专利权)人：济南卓微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37