【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅片切割机械设备
，特别是涉及一种硅片切割装置。
技术介绍
NTC442机切片机床是在半导体制造行业中广泛使用的用于切割单晶或多晶硅棒的设备。现有NTC442机床导轮涂覆长度为340mm，开槽长度约为330mm，受其长度所限，硅棒加工长度最大为325mm*2根，加工效率低、成本高，无法适应当前生产需要。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足，提供一种硅片切割装置，本技术能加工较长的硅棒，加工效率高，降低了平均加工成本，能适应当前生产需要。为解决上述技术问题，本技术所采取的技术方案是：一种硅片切割装置，包括导轮、钢线、切削液喷嘴、切削液循环泵，其特征在于：所述切削液喷嘴（1）上设有喷洒长度可调机构，所述导轮的两端还分别固定有加长导轮，加长导轮表面还设有涂层。优选的所述固定为螺杆或螺钉固定。优选的所述喷洒长度可调机构结构为：所述切削液喷嘴为圆管状，喷口为缝隙状，并设有2个调节螺母，2个调节螺母分别与圆管状切削液喷嘴两端部的螺纹连接。优选的所述导轮和两端加长导轮的导轮面总长度为360mm。采用上述技术方案所产生的有益效果在于：本技术能做到调节导轮长度，加工较长的硅棒，能根据不同的原材料合理有效的调节导轮的长度，切削液喷嘴的喷洒范围可根据导轮的长度调节，不会造成浪费，本技术的加工效率高，降低了平均加工成本，能适应当前生产需要。附图说明图1是本技术的结构示意图；图2是图1中导轮的结构示意图；图3是图1中切削液喷嘴的结构示意图。图中：1切削液喷嘴；2钢线；3调节螺母；4导轮；5加长导轮；6涂层；8硅棒。具体实施方式下面结合附图和具体实...
【技术保护点】
一种硅片切割装置，包括导轮（4）、钢线（2）、切削液喷嘴（1）、切削液循环泵，其特征在于：所述切削液喷嘴（1）上设有喷洒长度可调机构，所述导轮（4）的两端还分别固定有加长导轮（5），加长导轮（5）表面还设有涂层（6）。
【技术特征摘要】
1.一种硅片切割装置，包括导轮（4）、钢线（2）、切削液喷嘴（1）、切削液循环泵，其特征在于：所述切削液喷嘴（1）上设有喷洒长度可调机构，所述导轮（4）的两端还分别固定有加长导轮（5），加长导轮（5）表面还设有涂层（6）。2.根据权利要求１所述的一种硅片切割装置，其特征在于所述固定为螺杆或螺钉固定。3.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：王会敏，何京辉，李立伟，张立涛，菅书勇，
申请(专利权)人：邢台晶龙电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13
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