300mm立式氧化炉硅片传送机械手系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种３００ｍｍ立式氧化炉硅片传送机械手系统，设有升降装置、取片叉，其特征在于：所述升降装置由丝杠、伺服电机和排气净化装置组成，所述取片叉设有单片叉和５片叉，分别设置在两个机械手臂上，机械手臂与一个多轴机械臂连接，机械臂设置在底座上，该底座固定在所述升降装置的升降臂上；在机械手臂、机械臂上设有伺服电机及其控制部件，机械手臂、机械臂和升降装置的伺服电机的控制部件与ＰＬＣ控制器控制连接。在５片叉上设有片叉间距调节部件。在单片叉上还设有ＦＯＵＰ中硅片状态检测传感器。本实用新型专利技术适用于立式氧化炉的硅片传送，自动化程度高，控制灵活，适用性广，效率高。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于一种硅片加工装置，具体的是一种用于硅片加热氧化工 艺的氧化炉的硅片传送装置。
技术介绍
硅片是一种重要的半导体材料，它的加工工艺，特别是氧化工艺是一种 对自动化传送要求特别高的工艺。目前国内设计的硅片氧化炉大多是卧式结 构的，其各项功能的控制精度、灵活性和自动化程度等无法满足300mm工 艺需求。特别是硅片的传送大都是用人工取放方式，工作效率低，安全性差， 严重影响产品的质量。因此，需要提出一种自动化程度较高的硅片传送装置。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决上述技术问题，提出一种300mm立式氧 化炉硅片传送机械手系统，该系统控制灵活，自动化程度高，安全性好。本技术的目的是通过以下技术方案来实现的300mm立式氧化炉硅 片传送机械手系统，设有升降装置、取片叉，其特征在于所述升降装置由 丝杠、伺服电机和排气净化装置组成，所述取片叉设有单片叉和5片叉，分 别设置在两个机械手臂上，机械手臂与一个多轴机械臂连接，机械臂设置在 底座上，该底座固定在所述升降装置的升降臂上；在机械手臂、机械臂上设 有伺服电机及其控制部件，机械手臂、机械臂和升降装置的伺服电机的控制 部件与PLC控制器控制连接。在5片叉上设有片叉间距自动调节部件。在单片叉上还设有FOUP中硅片状态检测传感器。本技术采用5+1片叉形式，分为上下两个手臂，上面手臂装有1个 片叉，下面手臂装有5个片叉，5个片叉同时动作取片，大大提高了生产效率；5个片叉可以任意改变片叉之间的间距，这样就可以根据石芡舟的槽间 距，来调整5个片叉的间距，使机械手的适用范围更广泛；片叉上带有传感 器，能判断FOUP中硅片的状态，然后再进行传片。升降装置为单轴运动系 统，使用伺服电机，保证传片机械手将硅片装载到不同高度的石英舟上；升 降机构的排气装置，减少运动产生的颗粒，保证硅片在传输过程中的清洁， 提高产品的合格率，增加效益。本技术具有"构宗善，t劲化&度真， 教剩灵^，经卑客，^用链围,釣沐直u附图说明图1是本技术的结构示意图。具体实施方式以下结合附图和实施例对本技术作进一步的说明实施例参见附图，300mm立式氧化炉硅片传送机械手系统，设有升降装置1、取片叉2， 所述升降装置由丝杠、伺服电机和排气净化装置组成，所述取片叉2设有单 片叉2.1和5片叉2.2，分别设置在两个机械手臂上，机械手臂与一个三轴机 械臂3连接，机械臂设置在底座4上，该底座固定在所述升降装置的升降臂 上；在机械手臂、机械臂上设有伺服电机及其控制部件，机械手臂、机械臂 和升降装置的伺服电机的控制部件与PLC控制器5控制连接。在5片叉上 设有片叉间距调节部件。在单片叉上还设有FOUP中硅片状态检测传感器。权利要求1、一种300mm立式氧化炉硅片传送机械手系统，设有升降装置(1)、取片叉(2)，其特征在于所述升降装置由丝杠、伺服电机和排气净化装置组成，所述取片叉(2)设有单片叉(2.1)和5片叉(2.2)，分别设置在两个机械手臂上，机械手臂与一个多轴机械臂(3)连接，机械臂设置在底座(4)上，该底座固定在所述升降装置的升降臂上；在机械手臂、机械臂上设有伺服电机及其控制部件，机械手臂、机械臂和升降装置的伺服电机的控制部件与PLC控制器(5)控制连接。2、 根据权利要求1所述的机械手系统，其特征在于在5片叉(2.2) 上设有片叉间距调节部件。3、 根据权利要求1所述的机械手系统，其特征在于在单片叉(2.1) 上还设有FOUP中硅片状态检测传感器。专利摘要本技术公开了一种300mm立式氧化炉硅片传送机械手系统，设有升降装置、取片叉，其特征在于所述升降装置由丝杠、伺服电机和排气净化装置组成，所述取片叉设有单片叉和5片叉，分别设置在两个机械手臂上，机械手臂与一个多轴机械臂连接，机械臂设置在底座上，该底座固定在所述升降装置的升降臂上；在机械手臂、机械臂上设有伺服电机及其控制部件，机械手臂、机械臂和升降装置的伺服电机的控制部件与PLC控制器控制连接。在5片叉上设有片叉间距调节部件。在单片叉上还设有FOUP中硅片状态检测传感器。本技术适用于立式氧化炉的硅片传送，自动化程度高，控制灵活，适用性广，效率高。文档编号B25J3/00GK201350628SQ20082023411公开日2009年11月25日 申请日期2008年12月31日 优先权日2008年12月31日专利技术者芳 张, 曾艳丽, 董金卫, 赛义德·赛迪 申请人:北京七星华创电子股份有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种３００ｍｍ立式氧化炉硅片传送机械手系统，设有升降装置（１）、取片叉（２），其特征在于：所述升降装置由丝杠、伺服电机和排气净化装置组成，所述取片叉（２）设有单片叉（２．１）和５片叉（２．２），分别设置在两个机械手臂上，机械手臂与一个多轴机械臂（３）连接，机械臂设置在底座（４）上，该底座固定在所述升降装置的升降臂上；在机械手臂、机械臂上设有伺服电机及其控制部件，机械手臂、机械臂和升降装置的伺服电机的控制部件与ＰＬＣ控制器（５）控制连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：董金卫，曾艳丽，张芳，赛义德赛迪，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]