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本实用新型公开了一种３００ｍｍ立式氧化炉硅片传送机械手系统，设有升降装置、取片叉，其特征在于：所述升降装置由丝杠、伺服电机和排气净化装置组成，所述取片叉设有单片叉和５片叉，分别设置在两个机械手臂上，机械手臂与一个多轴机械臂连接，机械臂设置在...
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