一种电源短路保护报警电路制造技术
【技术实现步骤摘要】
一种电源短路保护报警电路
本专利技术涉及离子注入机电源短路保护及报警功能，涉及离子注入机，属于半导体装备制造领域。
技术介绍
离子注入机是半导体器件制造中重要的掺杂设备，该设备通过引导杂质离子注入半导体晶片，从而改变晶片传导率。但是，由于离子注入机结构和电气线路非常复杂，以及大量电源的使用，短路现象多次发生。短路首先会造成电源的损坏，进而影响束流的稳定性，产品的合格率。严重时可能造成设备损坏。为提高设备的稳定性及产品合格率，对电源短路保护报警电路的应用极为重要。本专利技术提供了一种电源短路保护报警电路，该电路实现方便，功能齐全，实践表明该电路对电源短路保护效果良好。
技术实现思路
本专利技术涉及一种电源短路保护报警电路。该专利技术应用于离子注入机，该电路适用于离子注入机中所有直流电源。本专利技术通过以下技术方案实现：电源短路保护报警电路基本框图如图1所示，它包括四个主要功能单元：电源输出电路(1)，电源短路自动断开/闭合电路(2)，电源信号转换电路(3)和报警电路(4)。各功能单元的实现电路及作用如下：电源输出电路：各型号电源输出的直流可调电压，以及各电源电流监控输出端口0～10V的反馈电压信号。电源短路自动断开/闭合电路：当电源发生短路时，电源自动断开，排除故障后能自动恢复。该电路采用继电器来完成，控制继电器工作的信号为电源信号转换电路(3)的触发电平。电源信号转换电路：运算放大器的同相输入端为电源电流监控输出端口0～10V的反馈电压信号，反相输入端为预设电压，该电路通过设定电压值与电源监控输出电压值相比较，当高于设定值时触发电平信号。报警电路：报警采集信号...
【技术保护点】
一种电源短路保护报警电路，主要包括：电源输出电路(1)、电源短路自动断开/闭合电路(2)、电源信号转换电路(3)、报警电路(4)。由于电源的电流监控输出端口输出0至10V电压信号，因此，当电源输出电路(1)发生短路时，电流瞬时增大，电源电流输出端口的输出电压也突然迅速升高。当监控端口的电压升高到一定数值时，即可认为产生了短路。电源信号转换电路(3)通过设定电压值与电源监控输出电压值相比较，当高于设定值时触发电平信号，电源短路自动断开/闭合电路(2)通过继电器动作断开电路，同时，报警电路(4)采集电平信号触发蜂鸣器报警。排除故障后，电路自动恢复。
【技术特征摘要】
1.一种电源短路保护报警电路，主要包括：电源输出电路(1)、电源短路自动断开/闭合电路(2)、电源信号转换电路(3)、报警电路(4)。由于电源的电流监控输出端口输出0至10V电压信号，因此，当电源输出电路(1)发生短路时，电流瞬时增大，电源电流输出端口的输出电压也突然迅速升高。当监控端口的电压升高到一定数值时，即可认为产生了短路。电源信号转换电路(3)通过设定电压值与电源监控输出电压值相比较，当高于设定值时触发电平信号，电源短路自动断开/闭合电路(2)通过继电器动作断开电路，同时，报警电路(4)采集电平信号触发蜂鸣器报警。排除故障后，电路自动恢复。2.如权利要求1所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：马少志，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11
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