一种用Matlab计算均匀性的软件方法技术

本发明专利技术公开了一种用Matlab计算均匀性的软件方法，包括Matlab生成的DLL文件(1)、主程序函数(2)、动态库Transfer文件、均匀性计算函数(3)、返回结果(4)。

A software method for computing homogeneity with Matlab

The invention discloses a software method for computing homogeneity with Matlab, including Matlab generated DLL file (1), main program function (2), dynamic library Transfer file, homogeneity calculation function (3), and return result (4).

【技术实现步骤摘要】
一种用Matlab计算均匀性的软件方法
本专利技术涉及一种用Matlab计算均匀性的软件方法，尤其涉及到离子注入机均匀性大量数据的计算。
技术介绍
随着半导体集成电路技术的蓬勃发展，半导体设备升级很快。离子注入机是半导体行业最为复杂和昂贵的设备之一，其在稳定性和重要参数方面都需要满足不断增长的工艺需求。均匀性是影响离子注入机的一个重要性能之一，影响均匀性的要素有很多，但均匀性在软件层面上的计算也至关重要。均匀性的参数需要根据菜单数据和实际打片数据来实时调整，以适应不同环境，这涉及到大量重复的数据计算，限于计算机操作软件的计算能力，还需要专门计算海量数据的软件---MATLAB，本设计巧妙的将设备应用软件和MATLAB结合以达到大量数据计算的需求，这样不仅提高了软件的灵活性，也提高了运行速度。
技术实现思路
本专利技术时针对离子注入机器在软件上计算均匀性相关数据，而开发出的一种用Matlab计算均匀性的软件方法。本专利技术通过以下技术方案实现：1.一种用Matlab计算均匀性的软件方法，包括Matlab生成的DLL文件(1)、主程序函数(2)、动态库Transfer文件、均匀性计算函数(3)、返回结果(4)。2.一种用Matlab计算均匀性的软件方法，首先根据RECIPE数据、利用MATLAB写出计算相关调节均匀性参数的函数，在生成动态库文件备用，在离子注入机操作软件平台VS上再写一个动态库函数，通过调用MATLAB动态库函数达到计算的目的。其中VS和MATLAB两种操作软件的接口函数至关重要，有固定的调用获取函数，还要注意如果用数组，两种操作软件的行和列不是对应的，需要置换一下才可以使用，不然会出错。本专利技术具有如下显著优点：1.一种用Matlab计算均匀性的软件方法，Matlab与VS相结合，增加程序的灵活性；2.一种用Matlab计算均匀性的软件方法，用Matlab来计算超大数据量的计算，速度快；3.一种用Matlab计算均匀性的软件方法，程序中用了动态链接库，节省了磁盘空间和内存。附图说明图1为Matlab函数应用流程图。具体实施方式下面结合附图1对本专利技术作进一步的介绍，但不作为对本专利技术的限定。如图1所示，在这之前必须先配置好系统环境变量和VS的属性设置(1)，用Matlab生成的动态库函数中会有一个初始化函数(2)，程序运行时必须先调用初始化函数，返回成功后才能成功调用计算函数(3)，Matlab函数的参数包含输入参数和返回参数，所以在调用Matlab函数之前必需先定义好Matlab所需要的特定的数组(4)mwArray，例如：mwArrayFull_Tune_status(1，1，mxDOUBLE_CLASS)；而且MATLAB的输入参数必须是一维数组，如果给定的数组是二维或者三维的必须转化成一维数组才可使用，调用完MATLAB函数之后必须注意的是MATLAB返回的数组行和列与VS定义数组的行列是相反的，一定要更正过来，不然数据会出错。当程序运行时，需要把不同的菜单不同的参数反复的输入给Matlab函数进行运算，根据计算结果(5)调整菜单及硬件的相应参数，以确保均匀性在一定范围内满足打片工艺需求。本专利技术专利的特定实施例已对本专利技术专利的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本专利技术专利精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本专利技术专利的侵犯，将承担相应的法律责任。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用Matlab计算均匀性的软件方法，包括Matlab生成的DLL文件(1)、主程序函数(2)、动态库Transfer文件、均匀性计算函数(3)、返回结果(4)。

【技术特征摘要】
1.一种用Matlab计算均匀性的软件方法，包括Matlab生成的DLL文件(1)、主程序函数(2)、动态库Transfer文件、均匀性计算函数(3)、返回结果(4)。2.一种用Matlab计算均匀性的软件方法，其特征在于Matla...

【专利技术属性】
技术研发人员：王博喜，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11