一种气动阀控制方法技术

本发明专利技术公开了一种气动阀控制方法，属于半导体装备领域。其中包括如下几个模块：工控机(1)、loopmaster板卡(2)、PDI控制器(3)、阀岛(4)、气阀(5)、到位传感器(6)。其中工控机发送命令，由loopmaster板卡建立光纤通信，PDI控制器接受到光纤信号转换为电信号传送给阀岛，阀岛控制相应气路开闭，使气阀完成具体动作，并通过到位传感器反馈位置信号给PDI控制器，并传送回工控机。

A control method of pneumatic valve

【技术实现步骤摘要】
一种气动阀控制方法
本专利技术涉及一种气动阀控制方法，尤其涉及离子注入机的一种气动阀控制方法。
技术介绍
气阀控制在工业装备使用当中十分常见。在离子注入机中，气阀主要负责整机真空管道开闭、压空氮气管道开闭和片库门开关等工作。由于离子注入机对真空要求很高，气阀控制在整机真空建立有很重要的地位。本专利技术提供了一种气动阀控制方法。本控制方法可以通过上位机控制具体气阀开关，并根据传感器反馈信号观察实际开闭情况，避免出错。本控制方法还提供了通讯断开时的常开信号，增加了整机安全可靠性。
技术实现思路
本专利技术公开了离子注入机系统中的一种气动阀控制方法。该专利技术用于离子注入机，可实现准确气动阀控制。本专利技术通过以下技术方案实现：主要组成包括：工控机(1)、loopmaster板卡(2)、PDI控制器(3)、阀岛(4)、气阀(5)、到位传感器(6)组成。其中，工控机通过软件发送控制命令，通过PCI接口将命令发送至loopmaster板卡。loopmaster板卡通过光纤与PDI控制器。PDI控制器通过输入输出端口发送电信号，阀岛接受控制信号并控制相应电磁阀通断。阀岛通有压缩空气，相应电磁阀的开关可以控制相应压空管路充放气，从而使气阀动作。当气阀发送动作之后，安装在相应位置的到位传感器会传送给PDI控制器气阀到位的反馈信号。这些反馈信号通过光纤通信环路最终将信号显示在工控机界面上。通过反馈信号可以更好的观察实际气阀的开关情况，避免误操作。同时，由于气阀控制的许多送气口对整机安全有一定影响，当PDI控制器通信断开时，有部分输入/输出口设计为输出低电平。这样可以控制阀岛电磁阀处于常开状态，废气排放等气阀可保持常开，增加整机安全性。本专利技术具有如下显著优点：1.光纤通信断开后，保留了常开气路，增加了设备安全性。2.接入反馈信号，被控阀是否到位可通过工控机监测。附图说明图1为气动阀控制结构框图。具体实施方式下面结合附图1对本专利技术作进一步的介绍，但不作为对本专利技术的限定。如图1中所示，在本专利技术当中，准确及时的反馈信号可以实时观测整机状态。控制信号与反馈信号都是以0V/24V作为开关命令信号。当需要开启气阀时，控制命令由工控机发送，PDI控制器相应端口打开形成电流回路，阀岛电磁阀通电动作。同时，到位传感器接受到位信号。当到位传感器的红外线被相应挡片阻挡后，传感器相应通路断开，到位信号反馈至PDI控制器，通过光纤通信环路传送至工控机。所使用的气阀开关的动力来源于压缩空气。阀岛有总压空进气与出气，通过电磁阀分路至各个气阀。本专利技术专利的特定实施例已对本专利技术专利的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本专利技术专利精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本专利技术专利的侵犯，将承担相应的法律责任。本文档来自技高网...

【技术保护点】
本专利技术公开了一种气动阀控制方法，包括如下几个模块：工控机(1)、loopmaster板卡(2)、PDI控制器(3)、阀岛(4)、气阀(5)、到位传感器(6)。其中工控机(1)用于发送命令以及监控反馈信号，loopmaster板卡(2)用于建立光纤通信，PDI控制器(3)用于发送控制信号，阀岛(4)接收控制信号并控制气路开闭，气阀(5)完成具体动作，并通过到位传感器(6)将到位情况反馈给PDI控制器(3)。

【技术特征摘要】
1.本发明公开了一种气动阀控制方法，包括如下几个模块：工控机(1)、loopmaster板卡(2)、PDI控制器(3)、阀岛(4)、气阀(5)、到位传感器(6)。其中工控机(1)用于发送命令以及监控反馈信号，loopmaster板卡(2)用于建立光纤通信，PDI控制器(3)用于发送控制信号，阀岛(4)接收控制信号并控制气路开闭，气阀(5)...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜翼展，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11