【技术实现步骤摘要】
一种基于高能离子注入机射频信号的相位锁定电路
本专利技术是一种射频信号的相位锁定电路,该电路利用鉴相器和压控振荡器等对输入射频信号和环路反馈信号的相位进行对比,通过鉴相器得到两个信号相位差相对应的输出电压,该输出电压作为压控振荡器的输入控制电压实现信号相位的控制。该控制电路主要应用在高能离子注入机中,实现射频加速区间中的射频信号相位锁定的目标。
技术介绍
离子注入机是现代集成电路发展的关键装备,根据离子注入能量不同可将离子注入机分为三种类型:低能、中能和高能离子注入机。高能离子注入技术在集成电路制造工艺的N阱、P阱、倒掺杂阱和埋层等掺杂方面具有广泛的应用。同时发展高能离子注入机是实现国产离子注入机产品系列化的必要条件。射频加速是高能离子注入机发展的关键技术,其中射频信号相位的控制是实现离子加速的关键因素。因此如何实现射频信号相位的控制,是高能离子注入机成功的关键。
技术实现思路
本专利技术通过以下技术方案实现:鉴相器(1)接收射频输入信号和反馈环路信号,经过放大电路(2)放大鉴相器(1)的输出电压,接收放大后的电压作为压控振荡器(3)的控制电压实现频率调节,经过与非门(4)后通过环路滤波器(5)实现信号输出的同时将该信号反馈给鉴相器(1)。鉴相器(1)射频输入信号和反馈信号之间的相位差与其输出电压有线性关系,鉴相器(1)的输出电压作为压控振荡器的输入控制电压实现输出信号相位的控制,达到相位锁定的目标。鉴相器(1)是一种模拟鉴相器,射频输入和环路反馈的正弦信号分别加于鉴相器(1),其相位差即为对应的输出电压。鉴相器的输出电压经过放大电路作为压控振荡器(3)的输入 ...
【技术保护点】
一种基于高能离子注入机射频信号的相位锁定电路,该方法主要用于射频加速的高能离子注入机射频信号的相位调控;其特征是,该控制电路主要包括鉴相器(1),放大电路(2),压控振荡器(3),与非门(4)和环路滤波器(5);鉴相器(1)输入信号相位差和输出电压有线性关系,发现输入信号和反馈信号的相位差别,然后通过对应电压表示出这个差别;压控振荡器(3)作为一个受控部件,其输出频率和输入控制电压存在对应关系。
【技术特征摘要】
1.一种基于高能离子注入机射频信号的相位锁定电路,该方法主要用于射频加速的高能离子注入机射频信号的相位调控;其特征是,该控制电路主要包括鉴相器(1),放大电路(2),压控振荡器(3),与非门(4)和环路滤波器(5);鉴相器(1)输入信号相位差和输出电压有线性关系,发现输入信号和反馈信号的相位差别,然后通过对应电压表示出这个差别;压控振荡器(3)作为一个受控部件,其输出频率和输入控制电压存在对应关系。2.根据权利要求1的基于高能离子注入机射频信号相位控制电路,其特征是,鉴相器(1...
【专利技术属性】
技术研发人员:卓祖亮,程鹏飞,
申请(专利权)人:北京中科信电子装备有限公司,
类型:发明
国别省市:北京,11
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