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本发明涉及用于晶圆缺口位置检测的红外线光源。本发明提供了一种新型红外线控制电路，该红外线控制电路具有稳定可控、成本低的优点。当该红外线控制电路应用于离子注入机时，可为晶圆缺口检测提供稳定可控的红外线光源，属于半导体领域。...
该专利属于北京中科信电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科信电子装备有限公司授权不得商用。

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