电子显微镜探测器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种电子显微镜探测器，包括绝缘板、连接绝缘板的半导件、及安装在绝缘板上的插接头；绝缘板上设置有透光孔与电路布线；半导件与电路布线电连接，半导件环绕设置在透光孔外侧；插接头与电路布线电连接；插接头包括与绝缘板连接的壳体、设置在壳体内的触角、滑设在壳体内的滑座、及设置在滑座与壳体之间的弹性件；触角对应与电路布线电连接，弹性件用于将滑座沿触角的设置方向弹性支撑在壳体内。上述电子显微镜探测器，通过设置滑座与弹性件，在拆卸时可直接通过弹性件推动滑座，将插接头与外界接头分离，不需要人手进行拔插操作，使装拆更方便，同时降低装拆过程中电子显微镜探测器的晃动程度，保证电子显微镜的检测精度。

Electron microscope detector

【技术实现步骤摘要】
电子显微镜探测器
本技术涉及微观检测设备领域，特别是涉及一种电子显微镜探测器。
技术介绍
电子显微镜技术的应用是建立在光学显微镜的基础之上的，经过时代的不断发展，电子显微镜已成为现代科学技术中不可缺少的重要工具，电子显微镜在研究细微物质结构、固体表面形貌、及物质成分分析等领域都有着十分重要的作用。电子显微镜探测器是电子显微镜中十分重要的成像元件，现有的电子显微镜的安装通常采用插接头直接与外界接口拔插的结构，在拔插施加作用力的过程中常常导致电子显微镜探测器晃动较大，多次拔插操作常常会导致电子显微镜探测器偏离原有的探测位置，进而影响电子显微镜的检测精度，同时拔插操作会导致电子显微镜探测器的安装不方便。
技术实现思路
基于此，有必要针对插接头需要拔插操作实现安装与拆卸的问题，提供一种电子显微镜探测器。一种电子显微镜探测器，包括：绝缘板，所述绝缘板上设置有透光孔与电路布线；半导件，与所述绝缘板连接，所述半导件与所述电路布线电连接，所述半导件环绕设置在所述透光孔外侧；插接头，安装在所述绝缘板上，所述插接头与所述电路布线电连接；所述插接头包括与所述绝缘板连接的壳体、设置在所述壳体内的触角、滑设在所述壳体内的滑座、及设置在所述滑座与壳体之间的弹性件；所述触角对应与所述电路布线电连接，所述弹性件用于将所述滑座沿所述触角的设置方向弹性支撑在所述壳体内。上述电子显微镜探测器，通过设置滑座与弹性件，保证插接头在于外界接头连接时会对应使滑座移动，同时使弹性件产生弹性形变，在拆卸时可直接通过弹性件推动滑座，将插接头与外界接头分离，不需要人手进行拔插操作，进而使装拆更方便，同时降低装拆过程中电子显微镜探测器的晃动程度，进而保证电子显微镜的检测精度。在其中一个实施例中，所述壳体上设置有插槽；所述滑座包括滑设在所述插槽内的推板、与所述推板连接的导杆、及与所述导杆连接的挡块。在其中一个实施例中，所述触角设置在所述插槽内，所述推板上设置有与所述触角设置位置相对应的穿孔，各所述触角对应穿设各所述穿孔。在其中一个实施例中，所述导杆呈圆柱状设置在所述推板靠近所述绝缘板的一侧，所述导杆对应穿设所述壳体设置。在其中一个实施例中，所述挡块呈圆形直板状设置在所述导杆背向所述推板的一端，所述挡块的设置方向与所述推板的设置方向相同。在其中一个实施例中，所述弹性件呈螺旋状环绕设置在所述导杆外侧，所述弹性件一端与所述推板相抵接，所述弹性件的另一端与所述壳体的内侧面相抵接。在其中一个实施例中，所述半导件呈矩形直板状结构设置，所述半导件的设置数量为四个，四个所述半导件环绕所述透光孔间隔设置。在其中一个实施例中，所述壳体上设置有卡孔；所述卡孔呈通孔状相对设置在所述壳体的两侧。在其中一个实施例中，所述壳体上设置有限位块；所述限位块设置在所述壳体的一侧，所述限位块自所述壳体的侧面向所述壳体内部延伸设置。在其中一个实施例中，所述绝缘板为环氧印制板。附图说明图1为本技术一实施方式的电子显微镜探测器的结构示意图；图2为图1所述的电子显微镜探测器的分解结构示意图；图3为图1所述的电子显微镜探测器的剖视示意图。附图中标号的含义为：100-电子显微镜探测器；10-绝缘板、11-透光孔、15-电路布线；20-半导件；30-插接头、40-壳体、41-插槽、45-卡孔、46-限位块、50-触角、60-滑座、61-推板、65-穿孔、62-导杆、63-挡块、70-弹性件。具体实施方式为了便于理解本技术，下面将对本技术进行更全面的描述。但是，本技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本技术的公开内容的理解更加透彻全面。需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。请参阅图1至图3，为本技术一实施方式的电子显微镜探测器100，包括绝缘板10、与绝缘板10连接的半导件20、及安装在绝缘板10上的插接头30；该电子显微镜探测器100用于与外界电子显微镜的接头(图未示)连接，进而将电子显微镜探测器100产生的图像电信号传输至外界，实现电子显微镜的成像操作。该绝缘板10呈矩形直板状结构沿水平方向延伸设置，该绝缘板10用于承载该电子显微镜探测器100，该绝缘板10为绝缘材料。进一步地，该绝缘板10上设置有透光孔11与电路布线15；该透光孔11呈圆形通孔状结构设置，该透光孔11对应连通绝缘板10的两侧，该，该透光孔11用于使入射电子束能入射至试样上；该电路布线15对应设置在绝缘板10的一侧，该电路布线15对应印制在该绝缘板10上，电路布线15用于将电子显微镜探测器100检测到的成像信号传输至外界。在本实施例中，该绝缘板10为环氧印制板，保证绝缘性能同时方便将电路布线15印制在绝缘板10上，加工方便，降低加工成本。半导件20设置在绝缘板10的一侧，该半导件20为半导体材料制作，半导件20呈矩形直板状结构设置，该半导件20对应贴附设置在绝缘板10设置有电路布线15的一侧，该半导件20与电路布线15电连接，该半导件20环绕设置在透光孔11的外侧，该半导件20用于检测试样的成像信息，入射电子束入射至试样上产生二次电子和背散射电子，产生的二次电子和背散射电子对应到达设置在通孔周围的半导件20，因为半导件20具有一定的能隙，能量低的二次电子不足以让半导件20的电子产生跃迁而形成电流，所以二次电子对探测器无法产生任何信号，而背散射电子能量高，能够激发半导体电子跃迁而产生电信号，经过放大器和调制器等获得最终的背散射电子图像。在本实施例中，该半导件20的设置数量为四个，四个该半导件20环绕该透光孔11间隔设置。该插接头30对应设置在绝缘板10的一端，该插接头30对应与电路布线15电连接，进而将成像信号传输至外界；该插接头30包括与绝缘板10连接的壳体40、设置在壳体40内的触角50、滑设在壳体40内的滑座60、及设置在滑座60与壳体40之间的弹性件70。该壳体40对应与绝缘板10连接固定，该壳体40呈矩形状自绝缘板10向远离绝缘板10的方向延伸设置；该壳体40上设置有插槽41，该插槽41呈矩形凹槽状结构设置，插槽41自壳体40背向绝缘板10的一端向绝缘板10方向延伸设置，该插槽41用于供外界的接头插入。在本实施例中，该壳体40上设置有卡孔45；该卡孔45呈矩形长条状延伸设置，卡孔45对应呈通孔状相对设置在壳体40的两侧，该卡孔45用于与外界的接头相互卡接，以将接本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电子显微镜探测器，其特征在于，包括：/n绝缘板，所述绝缘板上设置有透光孔与电路布线；/n半导件，与所述绝缘板连接，所述半导件与所述电路布线电连接，所述半导件环绕设置在所述透光孔外侧；及/n插接头，安装在所述绝缘板上，所述插接头与所述电路布线电连接；所述插接头包括与所述绝缘板连接的壳体、设置在所述壳体内的触角、滑设在所述壳体内的滑座、及设置在所述滑座与壳体之间的弹性件；所述触角对应与所述电路布线电连接，所述弹性件用于将所述滑座沿所述触角的设置方向弹性支撑在所述壳体内。/n

【技术特征摘要】
1.一种电子显微镜探测器，其特征在于，包括：
绝缘板，所述绝缘板上设置有透光孔与电路布线；
半导件，与所述绝缘板连接，所述半导件与所述电路布线电连接，所述半导件环绕设置在所述透光孔外侧；及
插接头，安装在所述绝缘板上，所述插接头与所述电路布线电连接；所述插接头包括与所述绝缘板连接的壳体、设置在所述壳体内的触角、滑设在所述壳体内的滑座、及设置在所述滑座与壳体之间的弹性件；所述触角对应与所述电路布线电连接，所述弹性件用于将所述滑座沿所述触角的设置方向弹性支撑在所述壳体内。


2.根据权利要求1所述的电子显微镜探测器，其特征在于，所述壳体上设置有插槽；所述滑座包括滑设在所述插槽内的推板、与所述推板连接的导杆、及与所述导杆连接的挡块。


3.根据权利要求2所述的电子显微镜探测器，其特征在于，所述触角设置在所述插槽内，所述推板上设置有与所述触角设置位置相对应的穿孔，各所述触角对应穿设各所述穿孔。


4.根据权利要求2所述的电子显微镜探测器，其特征在于，所述导杆呈圆柱状设置在所述推板靠近所述绝缘板的一侧，所述导杆对应穿设所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李传林，陆广烈，李自立，姚莉，
申请(专利权)人：苏州优波光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32