扫描电镜样品台系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种扫描电镜样品台系统，包括：真空室；样品台，设置在真空室内；横向移动机构，设置在真空室内，包括横向支架、连接横向支架的横向超声波电机、连接横向超声波电机的横向丝杆、设置在横向丝杆上的移动板，移动板滑设在横向支架上，样品台设置在移动板上；纵向移动机构，设置在真空室内，包括纵向支架、连接纵向支架的纵向超声波电机、以及连接纵向超声波电机的纵向丝杆，横向支架设置在纵向丝杆上，且横向支架滑设在纵向丝杆上。上述扫描电镜样品台系统，由于横向超声波电机及纵向超声波电机不额外产生附加磁场，从而不会干扰样品台上方的物镜处的透镜磁场，有效保证样品台上的样品成像质量。

Sample table system of SEM

【技术实现步骤摘要】
扫描电镜样品台系统
本技术涉及扫描电子显微镜
，特别是涉及一种扫描电镜样品台系统。
技术介绍
随着技术的发展，微样品的观测与操作被广泛的应用于航空航天、汽车工业、半导体、生物医学、MEMS、高分子、太阳能/燃料电池化工、石油、岩石、微电子、微型传感器、半导体材料、自动控制、航空航天、汽车工业及机械工具中。扫描电子显微镜是通过高能电子入射固体样品表面，与样品的原子核和核外电子发生弹性或非弹性散射，激发样品产生各种物理信号，利用电子检测器，接收信号形成图像。扫描电镜样品台是扫描电子显微镜的重要部件，将样品置于扫描电镜样品台上，样品台可以在扫描电镜物镜下方进行横向、纵向及竖向的三维移动。通过横向、纵向的移动，可以改变观察物体的部位，实现多区域观察。同时扫描电镜样品台也需要进行竖向移动，以改变工作距离并改变物距对样品进行粗聚焦。在传统操作中，一般通过操作人员手动调节扫描电镜样品台沿横向及纵向方向移动，工作效率低，且人工操作误差较大。
技术实现思路
基于此，有必要针对目前传统技术的问题，提供一种自动调节扫描电镜样品台沿横向、纵向移动的扫描电镜样品台系统。一种扫描电镜样品台系统，包括：真空室；样品台，设置在所述真空室内；横向移动机构，设置在所述真空室内，包括横向支架、连接所述横向支架的横向超声波电机、连接所述横向超声波电机的横向丝杆、设置在所述横向丝杆上的移动板，所述移动板滑设在所述横向支架上，所述样品台设置在移动板上；纵向移动机构，设置在所述真空室内，包括纵向支架、连接所述纵向支架的纵向超声波电机、以及连接所述纵向超声波电机的纵向丝杆，所述横向支架设置在所述纵向丝杆上，且所述横向支架滑设在所述纵向丝杆上。上述扫描电镜样品台系统对样品台进行横向、纵向移动调节时，横向超声波电机通过横向丝杆带动移动板沿横向移动，进而带动样品台沿横向移动；纵向超声波电机通过纵向丝杆带动横向支架沿纵向移动，进而通过移动板带动样品台沿纵向移动，实现自动调节样品台沿横向、纵向移动，自动化程度高，工作效率高，且误差小。通过采用横向超声波电机作为横向移动机构的动力源，采用纵向超声波电机作为纵向移动机构的动力源，由于横向超声波电机及纵向超声波电机不额外产生附加磁场，使得样品台处于无磁环境，从而不会干扰样品台上方的物镜处的透镜磁场，有效保证样品台上的样品成像质量。在其中一个实施例中，还包括真空插头及电源线，所述真空室的侧壁上设有通孔，所述真空插头插设所述通孔中，所述电源线的一端穿过所述真空插头延伸至所述真空室内并与所述横向超声波电机及所述纵向超声波电机电线连接。在其中一个实施例中，所述真空插头的外周侧设置有环形板，所述环形板贴合在所述真空室的外壁上，且所述环形板与所述真空室外壁之间之间设置有密封圈。在其中一个实施例中，所述横向移动机构还包括两个横向导轨，两个所述横向导轨分别滑设在所述横向支架的相对两侧面上，两个所述横向导轨均与所述移动板固定连接。在其中一个实施例中，所述横向导轨与所述横向支架之间设有横向滑槽，所述横向滑槽内容置有第一滚珠，所述第一滚珠与所述横向导轨及所述横向支架滚动接触。在其中一个实施例中，所述纵向移动机构还两个纵向导轨，两个所述纵向导轨分别滑设在所述纵向支架的相对两侧面上，两个所述纵向导轨均与所述横向支架固定连接。在其中一个实施例中，所述纵向导轨与所述纵向支架之间设有纵向滑槽，所述纵向滑槽内容置有第二滚珠，所述第二滚珠与所述纵向导轨及所述纵向支架滚动接触。在其中一个实施例中，所述横向支架上设有横向凹槽，所述横向丝杆设于所述横向凹槽内。在其中一个实施例中，所述纵向支架上设有纵向凹槽，所述纵向丝杆设于所述纵向凹槽内。在其中一个实施例中，还包括竖向调节平台，所述竖向调节平台设于所述样品台与所述移动板之间。附图说明图1为本技术的一实施方式的扫描电镜样品台系统的剖视图；图2为图1扫描电镜样品台系统的样品台、横向移动机构及竖向调节平台的剖视图；图3为图1扫描电镜样品台系统的另一视角的剖视图，其中省略真空室、真空插头、电源线及密封圈。附图中各标号的含义为：真空室10，通孔11，样品台20，横向移动机构30，横向支架31，第一限位块310，第一轴承311，横向凹槽312，横向超声波电机32，横向丝杆33，第一螺杆330，第一螺母331，移动板34，横向导轨35，第一滚珠36，第一联轴器37，纵向移动机构40，纵向支架41，第二限位块410，第二轴承411，纵向凹槽412，纵向超声波电机42，纵向丝杆43，第二螺杆430，第二螺母431，纵向导轨44，第二滚珠45，第二联轴器46，真空插头50，环形板51，电源线60，密封圈70，竖向调节平台80。具体实施方式为了便于理解本技术，下面将对本技术进行更全面的描述。但是，本技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本技术的公开内容的理解更加透彻全面。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。相反，当元件被称作“直接在”另一元件“上”时，不存在中间元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。请参考图1至图3，为本技术一实施方式的扫描电镜样品台系统，包括真空室10及设置在真空室10内的样品台20、横向移动机构30及纵向移动机构40。横向移动机构30包括横向支架31、连接横向支架31的横向超声波电机32、连接横向超声波电机32的横向丝杆33、设置在横向丝杆33上的移动板34，移动板34滑设在横向支架31上，样品台20设置在移动板34上。纵向移动机构40包括纵向支架41、连接纵向支架41的纵向超声波电机42、以及连接纵向超声波电机42的纵向丝杆43，横向支架31设置在纵向丝杆43上，且横向支架31滑设在纵向丝杆43上。请参考图2及图3，上述扫描电镜样品台系统对样品台20进行横向、纵向移动调节时，横向超声波电机32通过横向丝杆33带动移动板34沿横向移动，进而带动样品台20沿横向移动；纵向超声波电机42通过纵向丝杆43带动横向支架31沿纵向移动，进而通过移动板34带动样品台20沿纵向移动，实现自动调节样品台20沿横向、纵向移动，自动化程度高，工作效率高，且误差小。横向超声波电机32及纵向超声波电机42通过电压输出到压电陶瓷上，通过逆压电效应和超声振动获得运动并推动样品台按指定方向移动；通过采用横向超声波电机32作为横向移动机构本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扫描电镜样品台系统，其特征在于，包括：/n真空室；/n样品台，设置在所述真空室内；/n横向移动机构，设置在所述真空室内，包括横向支架、连接所述横向支架的横向超声波电机、连接所述横向超声波电机的横向丝杆、设置在所述横向丝杆上的移动板，所述移动板滑设在所述横向支架上，所述样品台设置在移动板上；/n纵向移动机构，设置在所述真空室内，包括纵向支架、连接所述纵向支架的纵向超声波电机、以及连接所述纵向超声波电机的纵向丝杆，所述横向支架设置在所述纵向丝杆上，且所述横向支架滑设在所述纵向丝杆上。/n

【技术特征摘要】
1.一种扫描电镜样品台系统，其特征在于，包括：
真空室；
样品台，设置在所述真空室内；
横向移动机构，设置在所述真空室内，包括横向支架、连接所述横向支架的横向超声波电机、连接所述横向超声波电机的横向丝杆、设置在所述横向丝杆上的移动板，所述移动板滑设在所述横向支架上，所述样品台设置在移动板上；
纵向移动机构，设置在所述真空室内，包括纵向支架、连接所述纵向支架的纵向超声波电机、以及连接所述纵向超声波电机的纵向丝杆，所述横向支架设置在所述纵向丝杆上，且所述横向支架滑设在所述纵向丝杆上。


2.根据权利要求1所述的扫描电镜样品台系统，其特征在于，还包括真空插头及电源线，所述真空室的侧壁上设有通孔，所述真空插头插设所述通孔中，所述电源线的一端穿过所述真空插头延伸至所述真空室内并与所述横向超声波电机及所述纵向超声波电机电线连接。


3.根据权利要求2所述的扫描电镜样品台系统，其特征在于，所述真空插头的外周侧设置有环形板，所述环形板贴合在所述真空室的外壁上，且所述环形板与所述真空室外壁之间之间设置有密封圈。


4.根据权利要求1所述的扫描电镜样品台系统，其特征在于，所述横向移动机构还包括两个横向导轨，两个所述横向导轨分别滑设在...

【专利技术属性】
技术研发人员：李传林，陆广烈，李自立，姚莉，
申请(专利权)人：苏州优波光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32