一种扫描电子显微镜的样品转移盒制造技术

本实用新型专利技术公开了一种扫描电子显微镜的样品转移盒，包括带有腔体的壳体、观察舱，所述观察舱滑动设置在壳体内，所述壳体上设置有方便观察观察舱内物品的缺口，所述壳体和观察舱分别为非磁性壳体和非磁性观察舱，所述观察舱内的腔体和壳体内的腔体导通，所述观察舱上设置有单项气阀，所述观察舱上设置有用于壳体和观察舱密封的气密胶圈，所述观察舱和壳体之间设置有非磁性弹性件，所述非磁性弹性件用于将观察舱从壳体内推出且观察舱不离开壳体。本实用新型专利技术，通过使用无磁材料制造的样品盒和弹性件，避免了磁性材料对样品的观测结果产生的成像影响，从而利于观测的准确性。

A sample transfer box for scanning electron microscope

【技术实现步骤摘要】
一种扫描电子显微镜的样品转移盒
本技术涉及样品转移盒
，具体为一种扫描电子显微镜的样品转移盒。
技术介绍
扫描电子显微镜是一种用来观察物体或材料表面形貌的仪器，仪器对样品的要求较高，所观察的材料表面形貌是微观结构，一些样品曝露在空气中，向扫描电子显微镜的腔体转移时，容易受到空气的影响，导致材料表面的微观形貌发生变化，从而影响观测的结果。一些研究人员，在惰性气体保护的手套箱内，将样品封装在特定的样品盒中，转移到扫描电子显微镜的腔体后，再利用安装于盒内的电机或电磁铁的完成样品盒的打开动作，从而观察样品。这样虽然避免了空气对样品的污染，但是电机或电磁铁均有磁性物质，对样品的观测结果产生很大影响。并且电机或电磁铁的启动亦需要外接控制线缆到扫描电子显微镜腔体外才能实现控制，非常麻烦。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种扫描电子显微镜的样品转移盒，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种扫描电子显微镜的样品转移盒，包括带有腔体的壳体、观察舱，所述观察舱滑动设置在壳体内，所述壳体上设置有方便观察观察舱内物品的缺口，所述观察舱内的腔体和壳体内的腔体导通，所述观察舱上设置有单项气阀，所述观察舱上设置有用于壳体和观察舱密封的气密胶圈，所述观察舱和壳体之间设置有非磁性弹性件，所述非磁性弹性件用于将观察舱从壳体内推出且观察舱不离开壳体。优选的，所述壳体包括主壳体和主壳体后盖，所述主壳体后盖和主壳体之间通过连接螺栓连接，所述非磁性弹性件一端和主壳体后盖活动连接，所述非磁性弹性件另一端卡接在观察舱上的凹槽内。优选的，所述非磁性弹性件采用非磁性弹簧。优选的，所述非磁性弹簧为SUS304L弹簧、SUS304H弹簧或者SUS316L弹簧。优选的，所述气密胶圈和观察舱的连接方式为气密胶圈卡接在观察舱上的卡槽内。优选的，所述壳体为铜壳体、不锈钢壳体、铝合金壳体、树脂壳体或者高聚物材料壳体。优选的，所述观察舱为铜观察舱、不锈钢观察舱、铝合金观察舱、树脂观察舱或者高聚物材料观察舱。优选的，所述气密胶圈为硅胶气密胶圈、增强聚丙烯气密胶圈、聚四氟乙烯气密胶圈。优选的，所述非磁性弹性件的数量为两个，所述非磁性弹性件对称设置在观察舱内壁上。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1、本技术，通过使用无磁材料制造的样品盒和弹性件，避免了磁性材料对样品的观测结果产生的成像影响，从而利于观测的准确性；2、本技术，通过单向气阀在关闭观察舱时，排出主壳体内的气体，且封闭外界的气体进入，使观察舱受外界气压作用而不打开，当样品盒进入扫描电子显微镜的腔体后，气压减小，非磁性弹性件将观察舱推出主壳体，此次对样品进行观测，避免了使用电机或电磁铁，且无需外接控制线缆。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术的观察舱关闭状态结构示意图；图3为本技术的观察舱开启状态结构示意图。图中：1、观察舱；2、卡槽；3、气密胶圈；4、单项气阀；5、缺口；6、壳体；7、非磁性弹性件；8、主壳体后盖。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3，本技术提供一种技术方案：一种扫描电子显微镜的样品转移盒，包括带有腔体的壳体6、观察舱1，观察舱1滑动设置在壳体6内，壳体6上设置有方便观察观察舱内物品的缺口5，观察舱1内的腔体和壳体6内的腔体导通，观察舱1上设置有单项气阀4，观察舱1上设置有用于壳体6和观察舱1密封的气密胶圈3，观察舱1和壳体6之间设置有非磁性弹性件7，非磁性弹性件7用于将观察舱从壳体6内推出且观察舱1不离开壳体6。具体的，壳体6包括主壳体和主壳体后盖8，主壳体后盖8和主壳体之间通过连接螺栓连接，非磁性弹性件7一端和主壳体后盖8活动连接，非磁性弹性件7另一端卡接在观察舱1上的凹槽内，方便对非磁性弹性件7进行拆卸和更换。具体的，非磁性弹性件7采用非磁性弹簧，使用寿命长。具体的，非磁性弹簧为SUS316L弹簧，耐晶间腐蚀性能好。在其它实施例中，非磁性弹簧7为SUS304H弹簧或者SUS304L弹簧。具体的，气密胶圈3和观察舱1的连接方式为气密胶圈3卡接在观察舱1上的卡槽2内，方便对气密胶圈3进行拆卸和更换。具体的，壳体6为铜壳体，耐磨性能好。在其它实施例中，壳体6为不锈钢壳体、铝合金壳体、树脂壳体或者高聚物材料壳体。具体的，观察舱1为铜观察舱，耐磨性能好。在其它实施例中，观察舱1为不锈钢观察舱、铝合金观察舱、树脂观察舱或者高聚物材料观察舱。具体的，气密胶圈3为聚四氟乙烯气密胶圈，摩擦系数低。在其它实施例中，气密胶圈3为硅胶气密胶圈或者增强聚丙烯气密胶圈。具体的，非磁性弹性件7的数量为两个，非磁性弹性件7对称设置在观察舱1内壁上，对观察舱1的推出效果好。工作原理：首先，在受到惰性气体保护的手套箱内，将样品放入观察舱1中，再将观察舱1推入主壳体底部，主壳体通过单向气阀4将主壳体内的气体排出，外界大气压作用下将观察舱1固定于主壳体底部(如图2所示)。气密胶圈3阻隔了外界气体对主壳体的渗入，保证气密效果。将已完成装配和封闭的样品盒放置于扫描电子显微镜腔室内，抽除腔室的空气，通过非磁性弹性件7将观察舱1推开(如图3所示)。此时，即可对观察舱1内的样品进行观测。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扫描电子显微镜的样品转移盒，包括带有腔体的壳体、观察舱，所述观察舱滑动设置在壳体内，所述壳体上设置有方便观察观察舱内物品的缺口，其特征在于：所述壳体和观察舱分别为非磁性壳体和非磁性观察舱，所述观察舱内的腔体和壳体内的腔体导通，所述观察舱上设置有单项气阀，所述观察舱上设置有用于壳体和观察舱密封的气密胶圈，所述观察舱和壳体之间设置有非磁性弹性件，所述非磁性弹性件用于将观察舱从壳体内推出且观察舱不离开壳体。/n

【技术特征摘要】
1.一种扫描电子显微镜的样品转移盒，包括带有腔体的壳体、观察舱，所述观察舱滑动设置在壳体内，所述壳体上设置有方便观察观察舱内物品的缺口，其特征在于：所述壳体和观察舱分别为非磁性壳体和非磁性观察舱，所述观察舱内的腔体和壳体内的腔体导通，所述观察舱上设置有单项气阀，所述观察舱上设置有用于壳体和观察舱密封的气密胶圈，所述观察舱和壳体之间设置有非磁性弹性件，所述非磁性弹性件用于将观察舱从壳体内推出且观察舱不离开壳体。


2.根据权利要求1所述的一种扫描电子显微镜的样品转移盒，其特征在于：所述壳体包括主壳体和主壳体后盖，所述主壳体后盖和主壳体之间通过连接螺栓连接，所述非磁性弹性件一端和主壳体后盖活动连接，所述非磁性弹性件另一端卡接在观察舱上的凹槽内。


3.根据权利要求1所述的一种扫描电子显微镜的样品转移盒，其特征在于：所述非磁性弹性件采用非磁性弹簧。


4.根据权利要求3所述的一种扫描电子显微镜的样品转移盒，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈经纬，
申请(专利权)人：上海耐默光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31