采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法技术

本发明专利技术涉及一种采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法，包括如下步骤：提供铂金基片、铜粉及激光增材制造系统；将铂金基片进行加工内孔，得到具有内孔的铂片；激光增材制造系统沿铂片的内孔边缘向内孔中心打印铜粉，以使内孔边缘形成环形铜粉层，直至内孔缩小成孔径为预设值的微孔，得到电子显微镜光阑。上述采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法，采用激光增材制技术制备电子显微镜光阑，制备工艺流程少且简单，加工容易，材料损耗少，且制备出的电子显微镜光阑的微孔精度高，有效保证电子显微光阑质量，有利于提高扫描电子显微镜的成像质量。

The method of preparing the diaphragm of electron microscope with laser additive

【技术实现步骤摘要】
采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法
本专利技术涉及激光增材制造领域，特别是涉及一种采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法。
技术介绍
光阑是扫描电子显微镜的重要组成部分。利用光阑，可以阻挡旁轴电子，减少球差、色差等透镜像差对电子束生成束斑半径的影响。同时，通过使用不同直径大小的扫描电镜光阑，可以有效的控制电子束的束流密度，在大束流分析型(如X射线能谱分析)以及小电流高分辨率型工作状态下切换。光阑上的圆孔直径范围通常要求在10微米-300微米之间，且要求为正圆形。在传统工艺中，扫描电镜光阑通常由金属通过机械切割微孔形成，整个制造流程需要经过开膜具、铸造或锻造、切割等过程成型，过程复杂，加工困难，材料损耗，加工精度低，难以保证光阑质量，进而影响扫描电子显微镜的成像质量。
技术实现思路
基于此，有必要针对目前传统技术的问题，提供一种采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法。一种采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法，包括如下步骤：提供铂金基片、铜粉及激光增材制造系统；将所述铂金基片进行加工内孔，得到具有所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法，其特征在于，包括如下步骤：/n提供铂金基片、铜粉及激光增材制造系统；/n将所述铂金基片进行加工内孔，得到具有所述内孔的铂片；/n所述激光增材制造系统沿所述铂片的所述内孔边缘向所述内孔中心打印所述铜粉，以使所述内孔边缘形成环形铜粉层，直至所述内孔缩小成孔径为预设值的微孔，得到电子显微镜光阑。/n

【技术特征摘要】
1.一种采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法，其特征在于，包括如下步骤：
提供铂金基片、铜粉及激光增材制造系统；
将所述铂金基片进行加工内孔，得到具有所述内孔的铂片；
所述激光增材制造系统沿所述铂片的所述内孔边缘向所述内孔中心打印所述铜粉，以使所述内孔边缘形成环形铜粉层，直至所述内孔缩小成孔径为预设值的微孔，得到电子显微镜光阑。


2.根据权利要求1所述的采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法，其特征在于，在将所述铂金基片进行加工内孔，得到具有所述内孔的铂片的步骤中，采用数控冲孔机对所述铂金基片加工内孔。


3.根据权利要求1所述的采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法，其特征在于，所述铂片的所述内孔孔径为1mm-2mm。


4.根据权利要求1所述的采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法，其特征在于，所述激光增材制造系统为3D金属打印机。


5.根据权利要求1所述的采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法，其特征在于，所述激光增材制造系统的激光功率为450W-550W，送铜粉速...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚莉，顾斌宾，朱玉宝，
申请(专利权)人：苏州优波光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32