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本实用新型涉及一种扫描电镜样品台系统，包括：真空室；样品台，设置在真空室内；横向移动机构，设置在真空室内，包括横向支架、连接横向支架的横向超声波电机、连接横向超声波电机的横向丝杆、设置在横向丝杆上的移动板，移动板滑设在横向支架上，样品台设置...
该专利属于苏州优波光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州优波光电科技有限公司授权不得商用。

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