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本发明公开了一种定位机械手上晶片圆心的方法，包括：机械手(1)、控制器(2)、编码器(3)、传感器1(4)、传感器2(5)、传感器3(6)、传感器4(7)、晶片(8)，其中传感器4(7)是备用的。机械手(1)用来传送晶片(8)，控制器(2)...该专利属于北京中科信电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科信电子装备有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种定位机械手上晶片圆心的方法，包括：机械手(1)、控制器(2)、编码器(3)、传感器1(4)、传感器2(5)、传感器3(6)、传感器4(7)、晶片(8)，其中传感器4(7)是备用的。机械手(1)用来传送晶片(8)，控制器(2)...