【技术实现步骤摘要】
本专利技术是一种独特太阳能电池硅片传输系统布局结构，特别涉及太阳能电池硅片工艺生产线上的离子注入机，属于光伏制造领域。
技术介绍
在光伏产业链中，太阳能电池制造是核心环节，其作用犹如微电子产业链的芯片制造一样，而传统的太阳能电池工艺制造方式生产的产品转换效率已经接近极限，在技术上已经没有提升的空间，在探索新工艺的过程中，人们发现用离子注入方式取代传统的扩散工艺能将产品的转换效率进一步提高，当生产效率足够高的情况下，还能进一步降低生产线的设备及运行成本。因此，开发一套运行效率高的太阳能电池硅片传输系统显得至关重要，本专利技术就是结合太阳能电池硅片及离子注入机的特点，提出了一套新的布局结构，能使太阳能电池片在离子注入机中的传输效率满足实际生产需求。
技术实现思路
本专利技术是针对离子注入机应用到太阳能电池片工艺所面临的硅片易碎，传输效率不高，稳定性难以保证的问题，提出了一种新的太阳能电池硅片传输系统布局结构，该结构针对太阳能电池硅片的特点，能满足一次传输多片进入靶室，充分结合了半导体硅片的传输稳定性，太阳能娃片传输的连续型特点，能实现太阳能娃片传输的高效传输。本专利技术...
【技术保护点】
一种太阳能电池硅片传输系统布局结构，包括进片片盒(1)、进片横向皮带装置(2)、进片纵向滚轴(3)、进片纵向皮带装置(40)、进片缓存(5)、片库装片机械手(6)、进片片库(7)、装片机械手(8)、靶台(9)、卸片机械手(10)、卸片转换台(11)、卸片机械手(12)、出片片库(13)、片库卸片机械手(14)、卸片缓存(15)、卸片纵向皮带装置(16)、卸片纵向滚轴(17)、卸片横向皮带装置(18)、卸片片盒(19)，其特征在于所述的进片横向皮带装置(2)在多个片盒(1)同时取片，通过进片纵向滚轴(3)和进片纵向皮带装置(4)的纵向运动能一次传输多个硅片等待在进片片库(5)...
【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池硅片传输系统布局结构，包括进片片盒(I)、进片横向皮带装置(2)、进片纵向滚轴(3)、进片纵向皮带装置(40)、进片缓存(5)、片库装片机械手(6)、进片片库(7)、装片机械手(8)、靶台(9)、卸片机械手(10)、卸片转换台(11)、卸片机械手(12)、出片片库(13)、片库卸片机械手(14)、卸片缓存(15)、卸片纵向皮带装置(16)、卸片纵向滚轴(17)、卸片横向皮带装置(18)、卸片片盒(19)，其特征在于所述的进片横向皮带装置(2)在多个片盒(I)同时取片，通过进片纵向滚轴(3)和进片纵向皮带装置(4)的纵向运动能一次传输多个硅片等待在进片片库(5)外边，片库装片机械手(6) —次性装载多个电池硅片进入进片片库(7)。2.权利要求(I)的太阳能电池硅片传输系统布局结构，其中所述的片库装片机械手(6)，装片机械手(8)，卸片机械手(10)，卸片机械手(12)，片库卸片机械手(14)，都能够一次传输多个硅片，其特征在于，多个硅片在机械手上整齐排列，机械手能够水平运动及上下运动。3.权利要求1的太阳能电池硅片传输...
【专利技术属性】
技术研发人员：谢均宇，李幸夫，孙勇，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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