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一种太阳能电池硅片传输系统布局结构，其特征在于，在这种布局结构下，装片机械手(8)能够一次传输多片太阳能电池硅片进入靶室腔体，在靶台(9)上实现多个硅片的同时注入，在传输硅片的过程中，装片流程和卸片流程可同时进行，互不影响，使硅片传输效率最...
该专利属于北京中科信电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科信电子装备有限公司授权不得商用。

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