【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光刻
，尤其是涉及一种光刻机掩模台横梁。
技术介绍
掩模台横梁是光刻机外部世界中框架的结构件之一，起到支撑掩模台重量的作用。掩模台横梁一般由不锈钢焊接制造而成，需要满足掩模台支持的静力学指标和框架整体动力学的模态需求。由于光刻机内部结构复杂，集成密度高，掩模台横梁需要避开较多的既有部件和分系统，在空间上有较多的约束条件，需要合理设计掩模台横梁并尽可能的少占用整机内部空间。此外，由于掩模台和横梁置于基础框架上是外部世界和地基的有效载荷，在保证结构强度的前提下，需要将横梁质量尽可能的控制的较小。传统的掩模台横梁为两段式分体结构，顶部为由一根垂直肋板加强的工字梁，底 部模块为有整块钢料铣削成形的底座，底座带有垂向和水平向的加强肋板。顶部横梁和底部底座之间以螺栓紧固连接，预留两处掩模台接口，这样的横梁装配时横梁会穿越内部世界的测量支架，故其结构、制造工艺和装配复杂、制造周期长、成本较高。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是掩模台横梁结构的制造工艺和装配复杂、制造周期长、成本较高。为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案一种光刻机掩模台横梁，包括水平设置的...
【技术保护点】
一种光刻机掩模台横梁，其特征在于，其包括：水平设置的主梁及分别对称固接于所述横梁两端的侧梁，所述主梁的两平行表面之间设有多个主梁加强肋板，所述侧梁的两平行侧面之间设有多个侧梁加强肋板，所述侧梁的底部固接有可固定于工作台面的底板。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：吴飞，王茜，周瑞良，刘剑，魏巍，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。