一种光刻机掩模台横梁制造技术

本实用新型专利技术公开了一种光刻机掩模台横梁，包括：水平设置的主梁及分别对称固接于所述横梁两端的侧梁，所述主梁的两平行表面之间设有多个主梁加强肋板，所述侧梁的两平行侧面之间设有多个侧梁加强肋板，所述侧梁的底部固接有可固定于工作台面的底板。本实用新型专利技术的一种光刻机掩模台横梁采用主梁及分别对称固接于所述横梁两端的侧梁所组成的一种拓扑结构，所述主梁及侧梁内部均设有多个加强肋板，具备高模态、低质量的结构特征，制造工艺和装配较简单、容易制造且成本较低。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光刻
，尤其是涉及一种光刻机掩模台横梁。
技术介绍
掩模台横梁是光刻机外部世界中框架的结构件之一，起到支撑掩模台重量的作用。掩模台横梁一般由不锈钢焊接制造而成，需要满足掩模台支持的静力学指标和框架整体动力学的模态需求。由于光刻机内部结构复杂，集成密度高，掩模台横梁需要避开较多的既有部件和分系统，在空间上有较多的约束条件，需要合理设计掩模台横梁并尽可能的少占用整机内部空间。此外，由于掩模台和横梁置于基础框架上是外部世界和地基的有效载荷，在保证结构强度的前提下，需要将横梁质量尽可能的控制的较小。传统的掩模台横梁为两段式分体结构，顶部为由一根垂直肋板加强的工字梁，底 部模块为有整块钢料铣削成形的底座，底座带有垂向和水平向的加强肋板。顶部横梁和底部底座之间以螺栓紧固连接，预留两处掩模台接口，这样的横梁装配时横梁会穿越内部世界的测量支架，故其结构、制造工艺和装配复杂、制造周期长、成本较高。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是掩模台横梁结构的制造工艺和装配复杂、制造周期长、成本较高。为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案一种光刻机掩模台横梁，包括水平设置的主梁及分别对称固接于所述横梁两端的侧梁，所述主梁的两平行表面之间设有多个主梁加强肋板，所述侧梁的两平行侧面之间设有多个侧梁加强肋板，所述侧梁的底部固接有可固定于工作台面的底板。进一步地，所述多个主梁加强肋板包括多个平行的第一方向主梁加强肋板及多个平行的第二方向主梁加强肋板，所述第一方向主梁加强肋板与第二方向主梁加强肋板相互交错设置。进一步地，所述多个主梁加强肋板与主梁的两平行表面的夹角范围为30° 60。。进一步地，所述侧梁为一斜梁。进一步地，所述多个侧梁加强肋板包括多个平行的第一方向侧梁加强肋板及多个平行的第二方向侧梁加强肋板，所述第一方向侧梁加强肋板与第二方向侧梁加强肋板相互交错设置。进一步地，所述斜梁的两平行侧面与主梁的两平行表面的夹角范围为20° 80° ;所述多个侧梁加强肋板与斜梁的两平行侧面的夹角范围为20° 80°。进一步地，所述侧梁包括一斜梁部及与之相连的竖梁部，所述竖梁部固接于所述底板。进一步地，所述侧梁加强肋板包括多个平行设置于斜梁部两表面之间的斜梁加强肋板及设置于竖梁部两表面之间的竖梁加强肋板。进一步地，所述斜梁加强肋板与斜梁部两表面的夹角范围为80° 100°。进一步地，所述竖梁加强肋板与竖梁部两表面的夹角范围为30° 60°。本技术的一种光刻机掩模台横梁采用主梁及分别对称固接于所述横梁两端的侧梁所组成的一种拓扑结构，所述主梁及侧梁内部均设有多个加强肋板，具备高模态、低质量的结构特征，制造工艺和装配较简单、容易制造且成本较低。附图说明图I为本技术一种光刻机掩模台横梁一实施例的结构意图；图2为图I的侧视·图3为本技术一种光刻机掩模台横梁另一实施例的结构意图；图4为图3的侧视图；图5为图4的分解结构示意图。具体实施方式以下结合附图详细说明本技术的优选实施例。请参阅图I及图2，本技术一种光刻机掩模台横梁包括水平设置的主梁I及分别对称固接于所述横梁I两端的侧梁2，所述主梁I的两平行表面11、12之间设有多个主梁加强肋板13，所述侧梁2的两平行侧面21、22之间设有多个侧梁加强肋板23，所述侧梁2的底部固接有可固定于工作台面的底板3。所述主梁I为工字钢结构，其两平行表面11、12对称穿设有支撑柱14，所述支撑柱14的上端设有掩模台接口 15，用于将所述光刻机掩模台横梁固定连接于掩模台(图未示)。所述多个主梁加强肋板13包括多个平行的第一方向主梁加强肋板132及多个平行的第二方向主梁加强肋板134，所述第一方向主梁加强肋板132与第二方向主梁加强肋板134相互交错设置，即每两个相邻的所述第一方向主梁加强肋板132之间设置一个第二方向主梁加强肋板134，或每两个相邻的所述第二方向主梁加强肋板134之间设置一个第一方向主梁加强肋板132，形成V形或W形的结构。所述多个主梁加强肋板13与主梁I的两平行表面11、12的夹角α范围为30° 60。。本实施例中，所述侧梁2为一斜梁，所述斜梁为工字钢结构。所述多个侧梁加强肋板23包括多个平行的第一方向侧梁加强肋板232及多个平行的第二方向侧梁加强肋板234，所述第一方向侧梁加强肋板232与第二方向侧梁加强肋板234相互交错设置，即每两个相邻的所述第一方向侧梁加强肋板232之间设置一个第二方向侧梁加强肋板234，或每两个相邻的所述第二方向侧梁加强肋板234之间设置一个第一方向侧梁加强肋板232，形成V形或W形的结构。所述斜梁的两平行侧面21、22与主梁I的两平行表面11、12的夹角β范围为20° 80° ;所述多个侧梁加强肋板23与斜梁的两平行侧面21、22的夹角Y范围为20。 80°。所述主梁I采用不锈钢作为原材料，其与斜梁通过整体焊接而成，有效定义落料断面和焊接焊缝，提高了工艺性并保证结构强度。请参阅图3及图4，图3及图4示出的是本技术一种光刻机掩模台横梁另一实施例的结构示意图及侧视图。与上述实施例结构的区别是，所述侧梁2包括一斜梁部22及与之相连的竖梁部24，所述竖梁部24固接于所述底板3。所述侧梁加强肋板23包括多个平行设置于斜梁部22两表面222、224之间的斜梁加强肋板226及设置于竖梁部24两表面242、244之间的竖梁加强肋板246，本实施例中，所述斜梁加强肋板226的数量为两个，所述斜梁加强肋板226与斜梁部22两表面222、224的夹角Θ范围为20° 80° ;所述竖梁加强肋板246的数量为一个，所述竖梁加强肋板246与竖梁部24两表面242、244的夹角ε范围为30° 60°。所述斜梁部22两表面222、224与主梁I的两平行表面11、12之间的夹角ω范围为 30° 60°。 请参阅图5，所述主梁I预先开设有第一落料破口 16，所述斜梁部22预先开设有第二落料破口 26，所述竖梁部24预先开设有第三落料破口 28，通过对第一落料破口 16、第二落料破口 26及第三落料破口 28的拼接焊接，形成本实施例光刻机掩模台横梁的整体结构。本实施例中所述主梁I、斜梁部22及竖梁部24均为标准工字钢。相比于现有技术，本技术的一种光刻机掩模台横梁采用主梁及分别对称固接于所述横梁两端的侧梁所组成的一种拓扑结构，所述主梁及侧梁内部均设有多个加强肋板，具备高模态、低质量的结构特征，制造工艺和装配较简单、容易制造且成本较低。这里本技术的描述和应用是说明性的，并非想将本技术的范围限制在上述实施例中。这里所披露的实施例的变形和改变是可能的，对于那些本领域的普通技术人员来说实施例的替换和等效的各种部件是公知的。本领域技术人员应该清楚的是，在不脱离本技术的精神或本质特征的情况下，本技术可以以其它形式、结构、布置、比例，以及用其它组件、材料和部件来实现。在不脱离本技术范围和精神的情况下，可以对这里所披露的实施例进行其它变形和改变。权利要求1.一种光刻机掩模台横梁，其特征在于，其包括水平设置的主梁及分别对称固接于所述横梁两端的侧梁，所述主梁的两平行表面之间设有多个主梁加强肋板，所述侧梁的两平行侧面之间设有多个侧梁加强肋板，所述侧本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光刻机掩模台横梁，其特征在于，其包括：水平设置的主梁及分别对称固接于所述横梁两端的侧梁，所述主梁的两平行表面之间设有多个主梁加强肋板，所述侧梁的两平行侧面之间设有多个侧梁加强肋板，所述侧梁的底部固接有可固定于工作台面的底板。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吴飞，王茜，周瑞良，刘剑，魏巍，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：