The invention relates to a mask shaping device, including plastic frame, plastic glass, vacuum adsorption gas path and constant pressure control of gas path, plastic frame in a mask over the edge, and connect the mask table through a plurality of elastic plastic parts; the middle part of the frame is a hollow structure, the hollow structure and mask corresponding to plastic glass fixed; cover structure is arranged on the hollow plastic frame; the vacuum adsorption gas path and plastic frame and cover connection of the die stage connected by suction and intake control, plastic frame and mask contact and separation; plastic frame in contact with the mask making hollow structure is sealed, the constant pressure control gas path and hollow structure connected, air pressure control constant inside the sealed hollow structure by suction inlet, deformation compensation mask produced by gravity. The present invention mask shaping device fixed and hollow structure are sealed by vacuum adsorption, without addition of any mechanical structure, reduces the integration complexity, avoid the particle pollution problem caused by the mutual friction between the structure.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光刻设备领域,尤其涉及一种用于补偿掩模自重变形的掩模整形装置。
技术介绍
随着薄膜晶体管(TFT,英文全称ThinFilmTransistor)基板尺寸的增加,TFT光刻机掩模板的尺寸也相应增大,由最初的6寸掩模板,到5.5代TFT光科技中,掩模板尺寸已达920mm×800mm,到8.5代掩模板尺寸更是达到了惊人的1320mm×1108mm。如此“巨大”的掩模板,吸附在掩模台上,不可避免地将受其自重影响,在垂向产生形变(可达40um以上),如图1所示。对于5.5代以上的高世代TFT光刻设备,多镜头拼接(如Nikon)或超大视场(如Canon)技术已是必然趋势,其中,掩模的挠曲对曝光精度有着极大的影响,特别极大影响投影物镜的焦深范围,使成像质量难以得到保证。目前,已有一种在物镜中加入调节物面的机构,以适应掩模板的自重变形,以作为修正掩模挠曲的掩模保持装置,但这无疑会使物镜设计变得十分复杂,同时引入过多的可动元件势必不利于整机的可靠性。另外,还有一种高世代TFT扫描投影光刻机中补偿掩模自重变形的装置,如图2所示,包括承载掩模1的卡盘2、掩模1上方的密封舱盖4以及两侧的机械手8,密封舱盖4下方设有矩形密封圈5,用于在密封舱盖4与掩模1之间形成的密闭空间,这种方案主要是通过气动控制系统对所述密闭空间进行抽真空,形成一定负压,从而补偿掩模1重力变形。此整形装置在集成到整机时,为控制密封舱盖4沿Z轴方向(垂向)运动以方便掩模1交换片,在掩模台上设置了升降、固定装置和机械手,这不仅给掩模台增加了重量负荷,且整机中掩模1上方的空间有限,机械手8与升降装置集 ...
【技术保护点】
一种掩模整形装置,安装在掩模台上方,用于补偿掩模由自重产生的变形,其特征在于,所述装置包括整形框架、整形玻璃、真空吸附气路及恒压控制气路,其中,所述整形框架设在所述掩模边缘上方,并通过若干弹性部件连接所述掩模台;所述整形框架中部为中空结构,该中空结构与所述掩模相对应;所述整形玻璃固定罩设于所述整形框架的中空结构上,用于透光;所述真空吸附气路与所述整形框架和所述掩模台的连接处连通,通过抽气和进气,控制所述整形框架与所述掩模接触和分离;所述整形框架与所述掩模接触使得所述中空结构被密封,所述恒压控制气路与所述中空结构连通,通过抽气和进气控制密封的所述中空结构内的气压恒定,补偿所述掩模由自重产生的变形。
【技术特征摘要】
1.一种掩模整形装置,安装在掩模台上方,用于补偿掩模由自重产生的变形,其特征在于,所述装置包括整形框架、整形玻璃、真空吸附气路及恒压控制气路,其中,所述整形框架设在所述掩模边缘上方,并通过若干弹性部件连接所述掩模台;所述整形框架中部为中空结构,该中空结构与所述掩模相对应;所述整形玻璃固定罩设于所述整形框架的中空结构上,用于透光;所述真空吸附气路与所述整形框架和所述掩模台的连接处连通,通过抽气和进气,控制所述整形框架与所述掩模接触和分离;所述整形框架与所述掩模接触使得所述中空结构被密封,所述恒压控制气路与所述中空结构连通,通过抽气和进气控制密封的所述中空结构内的气压恒定,补偿所述掩模由自重产生的变形。2.如权利要求1所述的一种掩模整形装置,其特征在于,所述整形框架与所述整形玻璃通过结构胶固定连接。3.如权利要求1所述的一种掩模整形装置,其特征在于,所述弹性部件采用橡胶。4.如权利要求1所述的一种掩模整形装置,其特征在于,所述掩模台内设有真空吸附管道,该真空吸附管道一端与所述整形框架和所述掩模台的连接处连通,另一端与所述真空吸附气路连通。5....
【专利技术属性】
技术研发人员:李玲雨,许琦欣,
申请(专利权)人:上海微电子装备有限公司,上海微高精密机械工程有限公司,
类型:发明
国别省市:上海;31
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。