本发明公开了一种片库解锁机构迷宫板装配工装，包括：工装

本发明提供了一种

本发明公开了一种针对边缘曝光预对准抬升装置，包括：固定框架

一种多尺寸的晶圆预对准定心装置，包括转盘、基板、晶圆固定座以及夹持机构，基板通过连接轴转动连接在转盘上方，夹持机构包括多个沿基板周向设置的夹持机构，晶圆固定座设置在多个夹持机构的中心处，每一个夹持结构均包括用于夹持晶圆的第一夹持板和第二...

本发明提供了一种多规格晶片盒及其定位机构，晶片盒包括晶片盒本体，晶片盒本体包括两块侧板以及设置在所述两块侧板上的顶板，顶板上设置有开口，两块侧板之间形成用于放置晶片的放置腔，晶片盒本体根据两块侧板之间的间距形成不同规格的晶片盒本体，两块...

一种掩模版传输的非对称吸附及吸附补偿装置，包括连接底板、非对称式吸附装置以及吸附补偿装置，非对称式吸附装置相对设置在连接底板的上下两侧，吸附补偿装置相对设置在连接底板左右两侧的中间位置，非对称式吸附装置上设有第一吸附孔，吸附补偿装置上设...

一种兼容flat/notch晶片的预对准定位装置，包括安装座和调节机构，安装座包括顶板和底板，顶板和底板之间设有安装台，安装台上设有notch预对准块，安装台的两侧设有沿安装台对称布置的两条摆臂，两条摆臂转动连接在顶板和底板之间，摆臂的...

本发明提供了一种多规格晶片中心检测装置，包括对称设置的光源及信号采集单元、用于放置晶片的旋转台、表面反射镜片以及反射镜片，光源及信号采集单元发出的检测光束依次经表面反射镜片和反射镜片的反射后竖直投射在固定在旋转台的晶片边缘，反射镜片上设...

本发明公开了一种适用于光刻机照明系统的匀光方法，属于光刻机照明系统技术领域，包括以下步骤：首先利用lighttools建立该校正板的模型，在校正板表面镀上圆点；设定所述圆点的半径、厚度、X方向间距和Y方向间距；再设定lighttools...

本发明涉及集成电路生产设备技术领域，具体公开了一种光刻机的挡光板装置，包括两块前挡光板，前挡光板上端前后两侧分别通过一第一滑块与一第二滑块和对应的一上导轨连接，上导轨内设有一滚珠丝杠，前挡光板下方对应设有两块后挡光板，且后挡光板下端左右...