一种片库解锁机构迷宫板装配工装制造技术

本发明专利技术公开了一种片库解锁机构迷宫板装配工装，包括：工装

【技术实现步骤摘要】
一种片库解锁机构迷宫板装配工装


[0001]本专利技术涉及一种片库装配工装
，具体是一种片库解锁机构迷宫板装配工装
。

技术介绍

[0002]片库在光刻及其它半导体设备中都有着应用，片库作为晶片存储模块，必须保证与机械手平行
、
解锁机构可靠
、
晶片在开解锁过程以及
robot
取片过程无损伤，作为供货单位必须快速装配，现有装配方法只能一步步去测量装配
。
[0003]片库使用过程中出现解锁钥匙把片盒门应力破坏的情况，分析原因，安有钥匙的迷宫板在装配过程不能与安在导轨上的工装平行，由于倾斜原因，解锁钥匙伸出的长度不够，故发生片盒门应力破坏现象，因此，亟需一种片库解锁机构迷宫板装配工装来解决上述技术问题
。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种片库解锁机构迷宫板装配工装，以解决上述
技术介绍
中提出的问题
。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0006]一种片库解锁机构迷宫板装配工装，包括：工装
、
主框架以及迷宫板；
[0007]所述主框架两侧分别安装有导轨滑块，导轨滑块另一侧安装有工装；
[0008]所述工装在靠近主框架一侧通过销钉与迷宫板固定，所述迷宫板上表面两侧安装有解锁钥匙，解锁钥匙另一端插入到工装的孔内
。
[0009]作为本专利技术进一步的方案：所述导轨滑块与工装之间通过固定工装螺钉固定/>。
[0010]作为本专利技术进一步的方案：所述迷宫板上表面两侧通过固定柔性连接件螺钉分别固定安装有柔性连接件一和柔性连接件二
。
[0011]作为本专利技术进一步的方案：所述迷宫板上表面两侧通过固定柔性连接件螺钉分别固定安装有柔性连接件三和柔性连接件四，柔性连接件三和柔性连接件四位于柔性连接件一和柔性连接件二的相对侧
。
[0012]作为本专利技术再进一步的方案：所述柔性连接件一中间通过螺钉将皮带放在皮带固定件上进行抱死，柔性连接件二中间通过螺钉将皮带放在皮带固定件上进行抱死，柔性连接件三中间通过螺钉将皮带放在皮带固定件上进行抱死，柔性连接件四中间通过螺钉将皮带放在皮带固定件上进行抱死，所述皮带固定件的数量为四个
。
[0013]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0014]1、
本装置可以使迷宫板与安在导轨滑块上的工装平行，解决解锁钥匙应力破坏片盒的问题；
[0015]2、
通过固定可以快速进行迷宫板的装配；
[0016]3、
本装置操作简单
、
快捷
、
方便
、
并保证安装精度；
[0017]本专利技术通过该装配工装进行装配后，拆掉连接固定工装与迷宫板的销钉，可以保证迷宫板与工装平行，该装置还可以快速确定皮带的抱死位置，大大节约了时间成本，减少人工，人工只能单个
、
单步安装皮带固定件与柔性连接件抱死皮带，使迷宫板与工装平行
。
附图说明
[0018]图1为片库解锁机构迷宫板装配工装的后视图
。
[0019]图2为片库解锁机构迷宫板装配工装的前视图
。
[0020]图3为片库解锁机构迷宫板装配工装中迷宫板安装的前视图
。
[0021]图4为片库解锁机构迷宫板装配工装中迷宫板安装的侧视图
。
[0022]图中：1‑
工装
、2
‑
导轨滑块
、3
‑
主框架
、4
‑
固定工装螺钉
、5
‑
销钉
、6
‑
解锁钥匙
、7
‑
迷宫板
、8
‑
柔性连接件一
、9
‑
柔性连接件二
、10
‑
柔性连接件三
、11
‑
柔性连接件四
、12
‑
固定柔性连接件螺钉
、13
‑
螺钉
、14
‑
皮带固定件
、15
‑
皮带
。
具体实施方式
[0023]以下将参考附图详细说明本申请的各种示例性实施例
、
特征和方面
。
附图中相同的附图标记表示功能相同或相似的元件
。
尽管在附图中示出了实施例的各种方面，但是除非特别指出，不必按比例绘制附图
。
[0024]在这里专用的词“示例性”意为“用作例子
、
实施例或说明性”。
这里作为“示例性”所说明的任何实施例不必解释为优于或好于其它实施例
。
[0025]另外，为了更好的说明本申请，在下文的具体实施例中给出了众多的具体细节
。
本领域技术人员应当理解，没有某些具体细节，本申请同样可以实施
。
在一些实例中，对于本领域技术人员熟知的方法
、
手段
、
元件未作详细描述，以便于凸显本申请的主旨
。
[0026]实施例一
[0027]请参阅图1‑4，一种片库解锁机构迷宫板装配工装，包括：工装
1、
主框架3以及迷宫板
7。
[0028]具体的，所述主框架3两侧分别安装有导轨滑块2，导轨滑块2另一侧安装有工装1，所述工装1在靠近主框架3一侧通过销钉5与迷宫板7固定，所述迷宫板7上表面两侧安装有解锁钥匙6，解锁钥匙6另一端插入到工装1的孔内
。
[0029]优选的，所述导轨滑块2与工装1之间通过固定工装螺钉4固定
。
[0030]需要具体说明的的是：通过工装1使安装的迷宫板7与工装1保持平行，通过工装1把迷宫板7交接位位置固定，再通过带轮带动迷宫板7前后移动的柔性连接件固定在迷宫板7上，最后通过螺钉
13
把皮带固定件
14
与柔性连接件抱死，皮带
15
达到迷宫板7面在运动过程中与工装1平行的目的
。
[0031]优选的，所述迷宫板7上表面两侧通过固定柔性连接件螺钉
12
分别固定安装有柔性连接件一8和柔性连接件二
9。
[0032]优选的，所述迷宫板7上表面两侧通过固定柔性连接件螺钉
12
分别固定安装有柔性连接件三
10
和柔性连接件四
11
，柔性连接件三
10
和柔性连接件四
11
位于柔性连接件一8和柔性连接件二9的相对侧
。
[0033]优选的，所述柔性连接件一8中间通过螺钉
13
将皮带
15
放在皮带固定件<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种片库解锁机构迷宫板装配工装，其特征在于，包括：工装
(1)、
主框架
(3)
以及迷宫板
(7)
；所述主框架
(3)
两侧分别安装有导轨滑块
(2)
，导轨滑块
(2)
另一侧安装有工装
(1)
；所述工装
(1)
在靠近主框架
(3)
一侧通过销钉
(5)
与迷宫板
(7)
固定，所述迷宫板
(7)
上表面两侧安装有解锁钥匙
(6)
，解锁钥匙
(6)
另一端插入到工装
(1)
的孔内
。2.
根据权利要求1所述的片库解锁机构迷宫板装配工装，其特征在于，所述导轨滑块
(2)
与工装
(1)
之间通过固定工装螺钉
(4)
固定
。3.
根据权利要求1所述的片库解锁机构迷宫板装配工装，其特征在于，所述迷宫板
(7)
上表面两侧通过固定柔性连接件螺钉
(12)
分别固定安装有柔性连接件一
(8)
和柔性连接件二
(9)。4.
根据权利要求3所述的片库解锁机构迷宫板装配工装，其特征在于，所述迷宫板<...

【专利技术属性】
技术研发人员：王鹏举，马很很，毛善高，涂泽恩，
申请(专利权)人：上海微高精密机械工程有限公司，
类型：发明
国别省市：