一种兼容flat/notch晶片的预对准定位装置，包括安装座和调节机构，安装座包括顶板和底板，顶板和底板之间设有安装台，安装台上设有notch预对准块，安装台的两侧设有沿安装台对称布置的两条摆臂，两条摆臂转动连接在顶板和底板之间，摆臂的一端固定有flat预对准块，flat预对准块的水平高度大于notch预对准块的水平高度，调节机构用于调节flat预对准块的水平高度并使flat预对准块的水平高度小于notch预对准块的水平高度，本发明专利技术同时设置有notch预对准块和flat预对准块，在常规形态下可以通过notch预对准块对notch晶片进行定位，通过调节flat预对准块的水平高度还可以对flat晶片进行定位，从而能兼容flat/notch晶片的预对准定位，方便使用。方便使用。方便使用。
【技术实现步骤摘要】
一种兼容flat/notch晶片的预对准定位装置
[0001]本专利技术涉及晶片生产领域，特别是一种兼容flat/notch晶片的预对准定位装置。
技术介绍
[0002]在常规的晶片传输系统中，晶片在预对准之后偏心与偏向获得初步补偿，再由机械手将晶片送入光刻机内部，但是由于机械手本身的重复性影响，以及各机构之间可能存在的相对位置偏移，晶片会产生很大的位置扰动，为了弥补这些损失并提高上片精度，往往还要再进行一次预对准定位，在光刻设备实际生产制造过程中，存在flat(平边型)和notch(缺口型)两种不同形式的晶片，而常规的预对准机构只针对某一种形式的晶片，不能兼顾两种不同形式的晶片预对准定位，如果在生产过程中更换不同的晶片预对准机构无疑会对生产效率产生影响，且存在产生装拆误差的可能。
技术实现思路
[0003]本专利技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种兼容flat/notch晶片的预对准定位装置，以解决上述技术背景中所提出的问题。
[0004]本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的：
[0005]一种兼容flat/notch晶片的预对准定位装置，包括安装座和调节机构，所述安装座包括顶板和底板，所述顶板和底板之间设有安装台，所述安装台上设有notch预对准块，安装台的两侧设有沿安装台对称布置的两条摆臂，所述两条摆臂转动连接在顶板和底板之间，摆臂的一端固定有flat预对准块，所述flat预对准块的水平高度大于notch预对准块的水平高度，所述调节机构用于调节flat预对准块的水平高度并使flat预对准块的水平高度小于notch预对准块的水平高度。
[0006]上述
技术实现思路
中，进一步的，所述调节机构包括卡簧和安装在顶板上的调节螺栓，所述卡簧套设在安装台的外表面，摆臂另一端卡接在卡簧上，摆臂另一端还设有调节凸块，两条摆臂上的调节凸块之间相对设置并形成调节间隙，所述调节间隙的宽度小于调节螺栓的螺头直径，调节螺栓通过嵌入两块调节凸块之间增大所述调节间隙的方式控制两条摆臂转动，进而降低flat预对准块的水平高度。
[0007]上述
技术实现思路
中，进一步的，所述调节螺栓的螺头下方设有锥形渐进头，调节凸块上设有与所述锥形渐进头配合的锥形面。
[0008]上述
技术实现思路
中，进一步的，所述安装台的外表面设有U型槽，卡簧通过所述U型槽套设在安装台上，摆臂的另一端设有卡槽，摆臂的另一端通过所述卡槽卡接在卡簧上。
[0009]上述
技术实现思路
中，进一步的，所述安装台上设有安装槽，notch预对准块固定安装在所述安装槽内。
[0010]上述
技术实现思路
中，进一步的，所述顶板上设有第一固定螺栓，摆臂通过所述第一固定螺栓转动连接在顶板和底板之间。
[0011]上述
技术实现思路
中，进一步的，所述底板的两侧设有耳板，所述耳板上设有第二固定
螺栓。
[0012]本专利技术的有益效果是：
[0013]本专利技术同时设置有notch预对准块和flat预对准块，在常规形态下可以通过notch预对准块对notch晶片进行定位，通过调节flat预对准块的水平高度还可以对flat晶片进行定位，从而能兼容flat/notch晶片的预对准定位，方便使用，加快晶片生产效率。
附图说明
[0014]图1为本专利技术的结构示意图；
[0015]图2为本专利技术的另一结构示意图；
[0016]图3为本专利技术的结构爆炸图；
[0017]图4为本专利技术安装座与卡簧之间的连接结构示意图；
[0018]图5为本专利技术调节螺栓结构示意图；
[0019]图6为本专利技术调节螺栓与摆臂之间的连接结构示意图；
[0020]图7为本专利技术调节螺栓与摆臂之间的另一连接结构示意图；
[0021]图8为本专利技术与notch晶片之间的连接结构示意图；
[0022]图9为本专利技术与flat晶片之间的连接结构示意图。
[0023]图中，1
‑
安装座，1.1
‑
顶板，1.2
‑
底板，1.3
‑
安装台，1.4
‑
U型槽，1.5
‑
耳板，2
‑
notch预对准块，3
‑
flat预对准块，4
‑
摆臂，4.1
‑
调节凸台，4.2
‑
调节间隙，4.3
‑
锥形面，4.4
‑
卡槽，5
‑
卡簧，6
‑
调节螺栓，6.1
‑
锥形渐进头，7
‑
第一固定螺栓，8
‑
第二固定螺栓。
具体实施方式
[0024]以下通过特定的具体实例说明本专利技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本专利技术的其他优点与功效。本专利技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本专利技术的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0025]需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本专利技术的基本构想，遂图式中仅显示与本专利技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
[0026]实施例：
[0027]一种兼容flat/notch晶片的预对准定位装置，请参阅附图1
‑
附图7所示，包括安装座1和调节机构，所述安装座包1括顶板1.1和底板1.2，所述顶板1.1和底板1.2之间设有安装台1.3，底板1.2的两侧设有耳板1.5，所述耳板1.5上设有第二固定螺栓8，所述安装台1.3上设有安装槽(图中未示出)，所述安装槽内固定安装有notch预对准块2，安装台1.3的两侧设有沿安装台对称布置的两条摆臂4，两条摆臂4通过设置在顶板上的第一固定螺栓7转动连接在顶板1.1和底板1.2之间，摆臂4的一端固定有flat预对准块3，所述flat预对准块3的水平高度大于notch预对准块2的水平高度，所述调节机构用于调节flat预对准块3的水平高度并使flat预对准块3的水平高度小于notch预对准块2的水平高度。
[0028]调节机构包括卡簧5和安装在顶板1.1上的调节螺栓6，所述卡簧5套设在安装台1.3的外表面，具体的，安装台1.3的外表面设有U型槽1.4，卡簧5通过所述U型槽1.4套设在安装台1.3上，摆臂4的另一端设有卡槽4.4，摆臂4的另一端通过所述卡槽4.4卡接在卡簧5上，摆臂4另一端还设有调节凸块4.1，两条摆臂4上的调节凸块4.1之间相对设置并形成调节间隙4.2，所述调节间隙4.2的宽度小于调节螺栓6的螺头直径，所述调节螺栓6通过嵌入两块调节凸块4.1之间增大所述调节间隙4.2的方式控制两条摆臂转动，进而降低flat预对准块3的水平高度。
...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种兼容flat/notch晶片的预对准定位装置，其特征在于，包括安装座和调节机构，所述安装座包括顶板和底板，所述顶板和底板之间设有安装台，所述安装台上设有notch预对准块，安装台的两侧设有沿安装台对称布置的两条摆臂，所述两条摆臂转动连接在顶板和底板之间，摆臂的一端固定有flat预对准块，所述flat预对准块的水平高度大于notch预对准块的水平高度，所述调节机构用于调节flat预对准块的水平高度并使flat预对准块的水平高度小于notch预对准块的水平高度。2.根据权利要求1所述的一种兼容flat/notch晶片的预对准定位装置，其特征在于，所述调节机构包括卡簧和安装在顶板上的调节螺栓，所述卡簧套设在安装台的外表面，摆臂另一端卡接在卡簧上，摆臂另一端还设有调节凸块，两条摆臂上的调节凸块之间相对设置并形成调节间隙，所述调节间隙的宽度小于所述调节螺栓的螺头直径，调节螺栓通过嵌入两块调节凸块之间增大所述调节间隙的方式控制两条摆臂转动，进而降低flat...
【专利技术属性】
技术研发人员：陆宇琦，马很很，孙璐，王鹏举，吕东洋，
申请(专利权)人：上海微高精密机械工程有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。