一种针对边缘曝光预对准抬升装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种针对边缘曝光预对准抬升装置，包括：固定框架

【技术实现步骤摘要】
一种针对边缘曝光预对准抬升装置


[0001]本专利技术涉及一种边缘曝光
，具体是一种针对边缘曝光预对准抬升装置
。

技术介绍

[0002]边缘曝光机在光刻及其它半导体设备中都有着应用，预对准作为无论是在边缘曝光还是在晶圆传输以及其它找中心机构，必须高效
、
可靠
、
精准，目前市面存在多种情况，没有抬升机构
、
没有真空吸附装置
、
精度低
。
[0003]由于抬升机构在预对准后，起到临时存放片的作用，电机进行偏心补偿后，抬升机构再放到吸盘位置，要求精度较高，抬起位置和放下位置偏差越小越好，很多机构不带吸附装置，在交接位以及抬升过程中可能发生位移，这大大的降低了精度，增加了成本，如果没有吸附装置而单单靠人工调试达到高精度的状态需要耗费大量的时间，因此，亟需一种针对边缘曝光预对准抬升装置来解决上述技术问题
。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种针对边缘曝光预对准抬升装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题
。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0006]一种针对边缘曝光预对准抬升装置，包括：固定框架
、
移动机构以及抬升机构，移动机构位于抬升机构一侧；
[0007]所述移动机构上方固定安装有吸盘，吸盘上吸附有晶片；
[0008]所述抬升机构包括：
[0009]竖直安装的支撑板，所述支撑板在靠近移动机构一侧上表面两侧分别安装有导轨滑块；
[0010]滑动安装于所述导轨滑块表面的转接件，转接件另一侧表面的两侧分别固定连接有短柱，且支撑板在靠近移动机构一侧下表面两侧分别固定连接有长柱；
[0011]钩连于所述长柱和短柱之间的弹簧；
[0012]通过轴转动安装于所述转接件底部内的轴承，轴承表面下方接触式安装有偏心轮，偏心轮通过电机驱动安装
。
[0013]作为本专利技术进一步的方案：所述转接件在靠近移动机构一侧上方固定连接有抬片手，抬片手在靠近移动机构一侧设有半弧形吸附面，且半弧形吸附面置于晶片底部一侧
。
[0014]作为本专利技术进一步的方案：所述电机一侧表面固定安装有电机支座，电机支座一侧与支撑板下表面固定相连
。
[0015]作为本专利技术进一步的方案：所述固定框架底部固定安装有安装底板，移动机构安装于安装底板上
。
[0016]作为本专利技术再进一步的方案：所述固定框架侧面中间位置处固定安装有安装架，支撑板固定安装于安装架上
。
[0017]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0018]1、
本装置通过偏心轮转动使抬升装置达到需要的高度；
[0019]2、
本装置通过吸盘的安装，具有真空吸附使抬升过程中晶片相对定心定向机构不发生变化；
[0020]3、
本装置能够在交接位选择停留时间；
[0021]4、
本装置重复操作简单
、
快捷
、
方便
、
并保证高精度
。
附图说明
[0022]图1为针对边缘曝光预对准抬升装置的结构示意图
。
[0023]图2为针对边缘曝光预对准抬升装置中抬升机构的结构示意图
。
[0024]图3为针对边缘曝光预对准抬升装置中移动机构的结构示意图
。
[0025]图中：1‑
固定框架
、2
‑
安装架
、3
‑
安装底板
、4
‑
移动机构
、5
‑
晶片
、6
‑
抬片手
、7
‑
转接件
、8
‑
导轨滑块
、9
‑
支撑板
、10
‑
短柱
、11
‑
弹簧
、12
‑
长柱
、13
‑
轴承
、14
‑
轴
、15
‑
电机
、16
‑
电机支座
、17
‑
偏心轮
、18
‑
吸盘
。
具体实施方式
[0026]以下将参考附图详细说明本申请的各种示例性实施例
、
特征和方面
。
附图中相同的附图标记表示功能相同或相似的元件
。
尽管在附图中示出了实施例的各种方面，但是除非特别指出，不必按比例绘制附图
。
[0027]在这里专用的词“示例性”意为“用作例子
、
实施例或说明性”。
这里作为“示例性”所说明的任何实施例不必解释为优于或好于其它实施例
。
[0028]另外，为了更好的说明本申请，在下文的具体实施例中给出了众多的具体细节
。
本领域技术人员应当理解，没有某些具体细节，本申请同样可以实施
。
在一些实例中，对于本领域技术人员熟知的方法
、
手段
、
元件未作详细描述，以便于凸显本申请的主旨
。
[0029]实施例一
[0030]请参阅图1‑3，一种针对边缘曝光预对准抬升装置，包括：固定框架
1、
移动机构4以及抬升机构，移动机构4位于抬升机构一侧
。
[0031]具体的，所述移动机构4上方固定安装有吸盘
18
，吸盘
18
上吸附有晶片5，所述抬升机构包括：竖直安装的支撑板9，所述支撑板9在靠近移动机构4一侧上表面两侧分别安装有导轨滑块8，滑动安装于所述导轨滑块8表面的转接件7，转接件7另一侧表面的两侧分别固定连接有短柱
10
，且支撑板9在靠近移动机构4一侧下表面两侧分别固定连接有长柱
12
，钩连于所述长柱
12
和短柱
10
之间的弹簧
11
，通过轴
14
转动安装于所述转接件7底部内的轴承
13
，轴承
13
表面下方接触式安装有偏心轮
17
，偏心轮
17
通过电机
15
驱动安装
。
[0032]需要具体说明的是：通过电机
15
提供动力，偏心轮
17
固定在电机转轴上，电机
15
安装在电机支座
16
上，轴
14
穿过转接件7的孔把轴承
13
固定，抬片手
6、
短柱
10
安在转接件7上，电机支座
16、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种针对边缘曝光预对准抬升装置，其特征在于，包括：固定框架
(1)、
移动机构
(4)
以及抬升机构，移动机构
(4)
位于抬升机构一侧；所述移动机构
(4)
上方固定安装有吸盘
(18)
，吸盘
(18)
上吸附有晶片
(5)
；所述抬升机构包括：竖直安装的支撑板
(9)
，所述支撑板
(9)
在靠近移动机构
(4)
一侧上表面两侧分别安装有导轨滑块
(8)
；滑动安装于所述导轨滑块
(8)
表面的转接件
(7)
，转接件
(7)
另一侧表面的两侧分别固定连接有短柱
(10)
，且支撑板
(9)
在靠近移动机构
(4)
一侧下表面两侧分别固定连接有长柱
(12)
；钩连于所述长柱
(12)
和短柱
(10)
之间的弹簧
(11)
；通过轴
(14)
转动安装于所述转接件
(7)
底部内的轴承
(13)
，轴承
(13)
表面下方接触式安装有偏心轮
(17)
，偏心轮

【专利技术属性】
技术研发人员：王鹏举，汪之羿，马很很，王洪卫，
申请(专利权)人：上海微高精密机械工程有限公司，
类型：发明
国别省市：