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一种光刻机掩模台横梁制造技术
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下载一种光刻机掩模台横梁的技术资料
文档序号:8232649
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本实用新型公开了一种光刻机掩模台横梁,包括:水平设置的主梁及分别对称固接于所述横梁两端的侧梁,所述主梁的两平行表面之间设有多个主梁加强肋板,所述侧梁的两平行侧面之间设有多个侧梁加强肋板,所述侧梁的底部固接有可固定于工作台面的底板。本实用新型...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。
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