一种半导体镀膜设备用高温观察盖板，主要解决现有设备反应腔体的高温工艺过程是不可观察的状况。结构中的可视部分选用了透明的光学用石英玻璃，这样能直接观察机械手的传片、放片及取片的过程、硅片镀膜的工艺过程及陶瓷件偏移或碎裂的过程等。它包括把手、金属环、平头螺钉、金属压板、塑料板、石英玻璃板、垫片、螺钉及密封圈。上述金属环的密封槽内嵌入密封圈，在嵌入密封圈的金属环的端面上设有石英玻璃，石英玻璃上面设有垫圈，将金属压板压在垫圈上，再对角拧紧螺钉，然后用平头螺钉将塑料板固定在金属压板的上面。本实用新型专利技术结构合理，可广泛用于半导体薄膜沉积技术领域。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】一种半导体镀膜设备用高温观察盖板，主要解决现有设备反应腔体的高温工艺过程是不可观察的状况。结构中的可视部分选用了透明的光学用石英玻璃，这样能直接观察机械手的传片、放片及取片的过程、硅片镀膜的工艺过程及陶瓷件偏移或碎裂的过程等。它包括把手、金属环、平头螺钉、金属压板、塑料板、石英玻璃板、垫片、螺钉及密封圈。上述金属环的密封槽内嵌入密封圈，在嵌入密封圈的金属环的端面上设有石英玻璃，石英玻璃上面设有垫圈，将金属压板压在垫圈上，再对角拧紧螺钉，然后用平头螺钉将塑料板固定在金属压板的上面。本技术结构合理，可广泛用于半导体薄膜沉积
。【专利说明】
本专利技术涉及一种半导体镀膜设备用高温观察盖板结构，此结构主要应用于半导体 镀膜设备反应腔内高温工艺过程中，属于半导体薄膜沉积的应用
。 半导体镀膜设备用高温观察盖板
技术介绍
现有的半导体镀膜设备在进行常温或者高温传片工艺过程时，反应腔内是密闭不 可见的状态，尤其在进行高温400°C工艺过程时，反应腔内为密闭不可见的真空状态，有时 候开腔观察时会出现陶瓷环偏移、陶瓷衬套有裂纹、晶圆发生碎片及传片失败等等一些现 象，而这些现象发生时都是在不可见的状态下发生。为了更好的观察这些问题产生的过程， 方便查找问题的产生根本原因，所以设计了一种透明盖板结构来直接观察反应腔内整个工 艺过程中出现的一系列现象。
技术实现思路
本专利技术以解决上述问题为目的，设计了一种新型的高温透明盖板结构，主要解决 现有设备反应腔体的高温工艺过程是不可观察的状况。结构中的可视部分选用了透明的光 学用石英玻璃，这样能直接观察机械手的传片、放片及取片的过程、硅片镀膜的工艺过程及 陶瓷件偏移或碎裂的过程等。 为实现上述目的，本技术采用下述技术方案：半导体镀膜设备用高温观察盖 板，包括把手（1)、金属环（2)、平头螺钉（3)、金属压板（4)、塑料板（5)、石英玻璃板（6)、垫 片（7 )、螺钉（8 )及密封圈（9 )。上述金属环（2 )的密封槽内嵌入密封圈（9 )，在嵌入密封圈 (9)的金属环（2)的端面上设有石英玻璃（6)，石英玻璃（6)上面设有垫圈（7)，将金属压板 压在垫圈（7)上，再对角拧紧螺钉（8)。然后用平头螺钉（3)将塑料板（5)固定在金属 压板（4)的上面。上述金属环（2)的上面设有把手（1)，方便拿取操作。最后将安装好的盖 板结构放在反应腔上，进而可以观察常温传片或者高温传片工艺过程，或者对腔体进行抽 气检漏等。 本专利技术的有益效果及特点在于： 1、结构合理，利用光学石英玻璃实现了对半导体镀膜设备高温工艺过程的观察， 整个盖板结构不仅可以用于高温传片工艺，还可以用于常温传片工艺、腔体检漏及晶圆翘 曲测量等； 2、为防止高温工艺中石英玻璃上表面过热烫伤到操作人员，此结构中的塑料板利 用空气流通带走热量，起到保护层作用。 【专利附图】【附图说明】 附图1是本专利技术的主视图； 附图2是图1的A-A剖面视图。 【具体实施方式】 实施例 参照附图1和附图2,半导体镀膜设备用高温观察盖板，包括把手1、金属环2、平 头螺钉3、金属压板4、塑料板5、石英玻璃板6、垫圈7、螺钉8及密封圈9。其具体结构是： 上述金属环2的密封槽内嵌入密封圈9,在嵌入密封圈9的金属环2的端面上设有石英玻 璃6,石英玻璃6上面设有垫圈7,将金属压板4压在垫圈7上，再对角拧紧螺钉8。此处垫 圈7的作用是防止脆性材料石英玻璃6与金属压板4出现硬对硬接触，起到缓冲作用。然 后用平头螺钉3将塑料板5固定在金属压板4的上面。上述金属环2的上面设有两个把手 1，方便拿取操作。 上述垫圈7可采用聚四氟乙烯制作； 上述螺钉8可选用六角螺钉。 最后将安装好的盖板结构放在反应腔上，进而可以观察常温传片或者高温传片工 艺过程，或者对腔体进行抽气检漏等。【权利要求】1. 一种半导体镀膜设备用高温观察盖板，包括把手（1)，其特征在于：它还包括金属环 (2)、平头螺钉（3)、金属压板（4)、塑料板（5)、石英玻璃板（6)、垫片（7)、螺钉（8)及密封圈 (9)，上述金属环（2)的密封槽内嵌入密封圈（9)，在嵌入密封圈（9)的金属环（2)的端面上 设有石英玻璃（6)，石英玻璃（6)上面设有垫圈（7)，将金属压板（4)压在垫圈（7)上，再对 角拧紧螺钉（8)，然后用平头螺钉（3)将塑料板（5)固定在金属压板（4)的上面。2. 如权利要求1所述的半导体镀膜设备用高温观察盖板，其特征在于：上述金属环（2) 的上面设有两个把手（1)。3. 如权利要求1所述的半导体镀膜设备用高温观察盖板，其特征在于：上述垫圈（7)可 采用聚四氟乙烯制作。4. 如权利要求1所述的半导体镀膜设备用高温观察盖板，其特征在于：上述螺钉（8)可 选用六角螺钉。【文档编号】H01L21/67GK203895416SQ201420198568【公开日】2014年10月22日 申请日期:2014年4月22日 优先权日:2014年4月22日 【专利技术者】吴凤丽, 姜崴, 方仕彩 申请人:沈阳拓荆科技有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种半导体镀膜设备用高温观察盖板，包括把手（1），其特征在于：它还包括金属环（2）、平头螺钉（3）、金属压板（4）、塑料板（5）、石英玻璃板（6）、垫片（7）、螺钉（8）及密封圈（9），上述金属环（2）的密封槽内嵌入密封圈（9），在嵌入密封圈（9）的金属环（2）的端面上设有石英玻璃（6），石英玻璃（6）上面设有垫圈（7），将金属压板（4）压在垫圈（7）上，再对角拧紧螺钉（8），然后用平头螺钉（3）将塑料板（5）固定在金属压板（4）的上面。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：吴凤丽，姜崴，方仕彩，
申请(专利权)人：沈阳拓荆科技有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁;21
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