【技术实现步骤摘要】
半导体制程装置
本技术涉及一种半导体制程装置，尤其是利用装设于门板的自动致密机构， 使门板致密，避免腔体外部空气渗入造成扰流，而能使腔体内部的制程气体气流更加均匀。
技术介绍
参考图1，为现有技术半导体制程装置的示意图。如图1所示，现有技术的半导体制程装置100包含一支撑架10、一外壳20、一门板机构30、至少一加热源总成40，以及气体管线总成60。支撑架10用以承载半导体晶圆500，与该门板机构30连接，而能容置于该外壳20之中。门板机构30在装设/取出晶圆500时开启，并在装设/取出完成后，将支撑架 10从一开口进入外壳20中，该门板机构30与该外壳20共同形成一制程腔。该至少一加热源总成40装设于该外壳20之中，至少设置于该支撑架10的上方。气体管线总成60装设于外壳20上，用以将制程气体排出制程腔。制程开始时，门板机构30会作动引导支撑架10进入外壳20，此时外壳20及门板机构30之间存在些许间隙，而容易使外部的空气进入制程腔中，而产生扰流干扰，此扰流可能导致整体腔体内部的各部分制程条件不同，进而影响整体的均匀性及制程良率。因此， 需要一种能够解决...
【技术保护点】
一种半导体制程装置，其特征在于，该装置包含：一支撑架，用以承载至少一半导体晶圆；一门板机构，与该支撑架连接，而能带动该支撑架移动；一外壳，具有一开口，使该支撑架能从该开口进入该外壳中，并在该支撑架能从该开口进入该外壳后，与该门板机构形成一制程腔，还包含一进气口以导入至少一制程气体；至少一加热源总成，装设于该外壳之中，至少设置于该支撑架的上方、下方或侧方；一气体管线总成，装设于外壳上，用以将该制程气体排出至外部；以及一自动门板致密机构，包含至少一气压/液压管线、至少一制动器、至少一导引装置、至少一滑块，以及多个凸轮，该至少一气压/液压管线、至少一制动器以及至少一导引装置装设于...
【技术特征摘要】
1.一种半导体制程装置，其特征在于，该装置包含一支撑架，用以承载至少一半导体晶圆；一门板机构，与该支撑架连接，而能带动该支撑架移动；一外壳，具有一开口，使该支撑架能从该开口进入该外壳中，并在该支撑架能从该开口进入该外壳后，与该门板机构形成一制程腔，还包含一进气口以导入至少一制程气体；至少一加热源总成，装设于该外壳之中，至少设置于该支撑架的上方、下方或侧方；一气体管线总成，装设于外壳上，用以将该制程气体排出至外部；以及一自动门板致密机构，包含至少一气压/液压管线、至少一制动器、至少一导引装置、 至少一滑块，以及多个凸轮，该至少一气压/液压管线、至少一制动器以及至少一导引装置装设于该门板机构的一门板上，该至少一气压/液压管线连接一外部气压/液压源或控制源，各该制动器与该至少一气压/液压管线以及该导引装置的其中之一连接，各该导引装置与该滑块的其中之一连接，所述滑块为一凹形，所述凸轮设置于该门板侧边及该外壳的侧边，且设置于该门板侧边及该外壳的侧边的所述凸轮设置为相同的水平，当该门板机构密闭后，所述制动器利用气压/液压引入的压力推动所述导引装置向上，进而推动所述滑块向上，使所述滑块的凹型处接触所述凸轮，从而使该门板与该外壳之间的间隙密合。2.如权利要求1所述的半导体制程装置，其特征在于，该门板机构包含该门板、至少一气压/液压作动装置、至少一滑动杆，以及一连接装置，该至少一气压/液压作动装置装设于该外壳之下，该至少一滑动杆装设于该门板上，并装设于气压/液压作动装置中，该连接装置装设于该门板的内部，用以连接该支撑架，当该至少一半导体晶圆摆设于该支撑架后， 该气压/液压作动装置作动，而拉动滑动杆朝向该外壳方向移动，进而带动该门板的移动， 使该门板遮蔽该外壳的该开口，而能达到快速定位的效果。3....
【专利技术属性】
技术研发人员：林武郎，郑煌玉，郭明伦，方建利，刘又玮，石玉光，陈世敏，
申请(专利权)人：技鼎股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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