一种新型混合节能式半导体制程用制冷机制造技术

本实用新型专利技术涉及一种新型混合节能式半导体制程用制冷机，包括热交换器，所述热交换器包括热交换器一和热交换器二，热交换器一和热交换器二分别连接有蒸发器一和蒸发器二，蒸发器一和蒸发器二连接有两台的压缩机，两台压缩机连接有冷凝器，冷凝器分别连接有电子膨胀阀门和脉宽调制阀门。本实用新型专利技术的有益效果为：本实用新型专利技术提供的一种新型混合节能式半导体制程用制冷机，能够根据制程所需功率来控制实时冷媒流量，同时可以控制压缩机的运行台数及其运行功率，由于制冷机在投入制程后不间断的24小时运行，这种混合式的方法可以大幅度地降低能量的消耗，节能环保，同时能够实现长时间无故障运行，确保在高温状态下的安全运行。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种新型混合节能式半导体制程用制冷机。
技术介绍
目前，随着社会的发展，制冷机的应用涉及到各个领域，现有的制冷机采用实时的预热器控制，会增加很大的电能消耗，而且其温度控制算法，针对外部的特殊情况应对能力不足。
技术实现思路
本技术的目的是为半导体生产线中DRY ETCH (干蚀刻)，CVD (化学气相沉积)制程提供一种混合式制冷机，克服现有产品中能量消耗大，系统控制不完善的不足。本技术的目的是通过以下技术方案来实现一种新型混合节能式半导体制程用制冷机，包括热交换器，所述热交换器包括热交换器一和热交换器二，热交换器一和热交换器二分别连接有蒸发器一和蒸发器二，蒸发器一和蒸发器二均连接有储水罐，储水罐的出口处设有冷却剂泵，蒸发器一和蒸发器二连接有两台相配合的压缩机，两台压缩机连接有冷凝器，冷凝器分别连接有电子膨胀阀门和脉宽调制阀门，电子膨胀阀门连接蒸发器一，脉宽调制阀门连接蒸发器二。本技术的有益效果为本技术提供的一种新型混合节能式半导体制程用制冷机，能够根据制程所需功率来控制实时冷媒流量，同时可以控制压缩机的运行台数及其运行功率，由于制冷机在投入制程后不间断24小时运行，这种混合式的方本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型混合节能式半导体制程用制冷机，包括热交换器，其特征在于：所述热交换器包括热交换器一（1）和热交换器二（2），热交换器一（1）和热交换器二（2）分别连接有蒸发器一（3）和蒸发器二（4），蒸发器一（3）和蒸发器二（4）均连接有储水罐（5），储水罐（5）的出口处设有冷却剂泵（6），蒸发器一（3）和蒸发器二（4）连接有两台相配合的压缩机（7），两台压缩机（7）连接有冷凝器（10），冷凝器（10）分别连接有电子膨胀阀门（8）和脉宽调制阀门（9），电子膨胀阀门（8）连接蒸发器一（3），脉宽调制阀门（9）连接蒸发器二（4）。

【技术特征摘要】
1.一种新型混合节能式半导体制程用制冷机，包括热交换器，其特征在于所述热交换器包括热交换器一(I)和热交换器二( 2 )，热交换器一(I)和热交换器二( 2 )分别连接有蒸发器一(3)和蒸发器二(4)，蒸发器一(3)和蒸发器二(4)均连接有储水罐(5)，储水罐(5)...

【专利技术属性】
技术研发人员：阮毅，
申请(专利权)人：阮毅，
类型：实用新型
国别省市：