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本实用新型涉及一种新型混合节能式半导体制程用制冷机，包括热交换器，所述热交换器包括热交换器一和热交换器二，热交换器一和热交换器二分别连接有蒸发器一和蒸发器二，蒸发器一和蒸发器二连接有两台的压缩机，两台压缩机连接有冷凝器，冷凝器分别连接有电子...
该专利属于阮毅所有，仅供学习研究参考，未经过阮毅授权不得商用。

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