新干法吸附式废气处理机制造技术

本实用新型专利技术涉及一种新干法吸附式废气处理机，包括废气管道、树脂罐和N2输入管道，所述废气管道与树脂罐连接，树脂罐分别通过管道和检测管道与喷射器连接，废气管道通过管道与排出器连接，废气管道上设有压力传感器，压力传感器与压力控制器连接，压力控制器与E/P调节器连接；N2输入管道与树脂罐连接，N2输入管道通过管道与排出器连接，N2输入管道分别通过管道与输入管道连接，输入管道通过E/P调节器与喷射器连接，所述入口阀、阀门和旁通阀分别通过管道与输入管道和输出管道连接。本实用新型专利技术的有益效果为：性能好、安全等级高；具备警报功能；设备使用寿命长。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及ー种半导体制造业中，处理产生废气的设备，尤其涉及到ー种新干法吸附式废气处理机。
技术介绍
废气处理设备是エ厂中必备的设备，在当今环境问题日益严重的国际情势下，各个国家对エ厂排放废弃物的要求也越来越严格，对于半导体行业，废气是主要的污染物，如何更好处理在生产中产生的废气一直是困扰各个半导体厂家发展的问题，目前市场上处理半导体生产中产生的废气的设备多为欧美日韩和中国台湾地区进ロ，虽然产品エ艺已相对成熟，但是单价较高，更新较慢，后期维护成本较高，在安全上面也会存在一定的问题。因此，对现有技术应该进ー步改进。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种新干法吸附式废气处理机，以克服目前现有技术存在的上述不足。本技术的目的是通过以下技术方案来实现一种新干法吸附式废气处理机，包括废气管道、树脂罐和N2输入管道，所述废气管道与树脂罐连接，树脂罐分别通过带有阀门的管道和带有传感阀和色彩标记传感器的检测管道与喷射器连接，所述废气管道通过设有旁通阀的管道与排出器连接，所述废气管道上设有压力传感器和入口阀，压カ传感器与压カ控制器连接，压カ控制器与E/P调节器连接；所述N2输入管道与树脂罐连接，N2输入管道通本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新干法吸附式废气处理机，包括废气管道（1）、树脂罐（2）和N2输入管道（3），其特征在于：所述废气管道（1）与树脂罐（2）连接，树脂罐（2）分别通过带有阀门的管道和带有传感阀（4）和色彩标记传感器（5）的检测管道（6）与喷射器（7）连接，所述废气管道（1）通过设有旁通阀（8）的管道与排出器（9）连接，所述废气管道（1）上设有压力传感器（10）和入口阀（11），压力传感器（10）与压力控制器（12）连接，压力控制器（12）与E/P调节器（13）连接；所述N2输入管道（3）与树脂罐（2）连接，N2输入管道（3）通过设有压力阀（14）的管道与排出器（9）连接，N2输入管道（3）分别通过带有电磁阀...

【技术特征摘要】
1.一种新干法吸附式废气处理机，包括废气管道(I)、树脂罐(2)和N2输入管道(3)，其特征在于所述废气管道(I)与树脂罐(2 )连接，树脂罐(2 )分别通过带有阀门的管道和带有传感阀(4)和色彩标记传感器(5)的检测管道(6)与喷射器(7)连接，所述废气管道(I)通过设有旁通阀(8)的管道与排出器(9)连接，所述废气管道(I)上设有压力传感器(10)和入口阀(11)，压力传感器(10)与压力控制器(12)连接，压力控制器(12)与E/P调节器(13 )连接；所述N2输入管道(3 )与树脂罐(2 )连接，N2输入管道(3 )通过设有压力阀(14 )的管道与排出器(9)连接，N2输入管道(3)分别通过带有电磁阀一(15)的管道和带有传感器...

【专利技术属性】
技术研发人员：阮毅，
申请(专利权)人：阮毅，
类型：实用新型
国别省市：