【技术实现步骤摘要】
本技术属于微纳制造领域，更具体地，涉及一种可升降加热器。
技术介绍
在半导体加工工艺中，载物台上的样品是需要加热至一定温度才能完成相关工艺，但是供其温度的加热器是固定不动的。而在进行测量工艺时，样品必须保证与测量仪器之间的精确位置，这时需要载物台能够在外界作用下上下垂直运动进行调试距离。将加工和测量工艺结合在一起时，必须将加热器设计成可升降机构，以保证加工和测量的顺利进行。然而，目前还没有可使加热器升降以完成载物台样品加工和测量的装置。
技术实现思路
针对现有技术的缺陷，本技术的目的在于提供一种可升降加热器，其能够完成半导体加工工艺和测量工艺的操作。为实现上述目的，本技术提供了一种可升降加热器，包括传送杆，载物台，力口热器和丝杠，加热器和丝杠的顶部固定连接，加热器的顶部设置有斜槽和深槽，载物台用于承载样品，载物台的底部设置有弹性定位销，侧面设置有一对侧面定位销，加热器与载物台是通过弹性定位销与斜槽和深槽的配合实现固定连接，用于为样品提供温度保证，传送杆和载物台固定连接，用于将载物台从一空间初始位置水平传送到另一空间位置上进行加工和测量工艺。加热器和丝杠的顶部是通过滚动轴承或滑动轴承固定连接。丝杠用于通过自身旋转实现加热器的升降，且具有粗调和精调的功能。载物台是实心圆盘型或者空心圆盘型。传送杆前部设置有凹槽结构。传送杆和载物台运动时，是通过侧面定位销和凹槽机构的配合来实现固定连接，传送杆单独运动时，侧面定位销和凹槽机构是分离的。通过本技术所构思的以上技术方案，与现有技术相比，本技术具有以下的有益效果1、因为载物台水平运动时，难以保证准确定位与待加工或测量的位置，所...
【技术保护点】
一种可升降加热器，其特征在于，包括传送杆，载物台，加热器和丝杠；所述加热器和所述丝杠的顶部固定连接；所述加热器的顶部设置有斜槽和深槽；所述载物台用于承载样品；所述载物台的底部设置有弹性定位销，侧面设置有一对侧面定位销；加热器与载物台是通过所述弹性定位销与所述斜槽和所述深槽的配合实现固定连接，用于为样品提供温度保证；所述传送杆和所述载物台固定连接，用于将所述载物台从一空间初始位置水平传送到另一空间位置上进行加工和测量工艺。
【技术特征摘要】
1.一种可升降加热器，其特征在于，包括传送杆，载物台，加热器和丝杠；所述加热器和所述丝杠的顶部固定连接；所述加热器的顶部设置有斜槽和深槽；所述载物台用于承载样品；所述载物台的底部设置有弹性定位销，侧面设置有一对侧面定位销；加热器与载物台是通过所述弹性定位销与所述斜槽和所述深槽的配合实现固定连接， 用于为样品提供温度保证；所述传送杆和所述载物台固定连接，用于将所述载物台从一空间初始位置水平传送到另一空间位置上进行加工和测量工艺。2.根据权利要求1所述的可升降加热器，其特征在于，所述加热器和所述丝杠的顶部是通过...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈蓉，何文杰，曹坤，周涛，邓章，单斌，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：实用新型
国别省市：
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