薄膜的制作方法及制作装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供因各层间的界面产生的能量障壁的影响得到缓和的层叠薄膜的制作方法。一种薄膜的制作方法，其包括以下工序：依次进行以下(1)～(3)而形成含有溶质A的下层的下层形成工序：(1)喷射将溶质溶解和/或分散到溶剂中而成的原料液而形成液滴，(2)使液滴中的溶剂挥发而浓缩，(3)将浓缩的液滴沉积到基板上或设置在基板上的薄膜上而形成薄膜；依次进行上述(1)～(3)，在上述下层上，形成含有溶质B的上层的上层形成工序；以及在上述下层形成工序及上述上层形成工序之间，依次进行上述(1)～(3)，形成含有溶质A及B的混合层的混合层形成工序。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及可以利用于有机电致发光元件、太阳能电池等各种设备、及反射板、偏振片等各种光学构件的薄膜的制作方法、以及薄膜的制作装置。·
技术介绍
随着近年的网络的扩充或生活方式的多样化，对电子设备要求在柔性或大面积的以往的Si半导体中难以实现的附加价值，能够在薄膜上成膜的有机电子设备受到注目。在有机电致发光元件、太阳能电池等各种有机设备中，对于提高性能而言将功能不同的有机薄膜层叠成膜变得很重要。作为薄膜的制作方法，一般已知有真空蒸镀法等干式工艺、及旋涂法等湿式工艺。上述干式工艺可以将厚度一定的均匀的有机薄膜层叠而成膜，但是由于对成膜的材料施加高能量所以无法适用于对热不稳定的有机材料，并且基材也限定于玻璃等具有耐热性的材料，所以材料及基材存在限制。此外，由于大多为真空工艺所以存在生产率差的问题。另一方面，湿式工艺由于能够容易地在薄膜那样的具有柔性的基材上成膜，所以从生产率或大面积化的观点考虑，与干式工艺相比格外优异。例如，作为使用利用有机溶剂调制的涂布液的制膜方法，已知有在非专利文献I等中记载的挤压涂敷法。根据该方法，也可以在层叠膜的同时涂布。但是，在上述涂敷法中，对涂布液要求一定程本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：冲和宏，安藤广敏，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：
国别省市：