制作OLED时用于承载OLED的承载基板及其制作方法技术

本发明专利技术公开了一种制作OLED时用于承载OLED的承载基板，其包括：基板；被吸附层，设置在所述基板的表面上，所述被吸附层包括树脂层以及分布在所述树脂层中的若干磁性纳米颗粒。本发明专利技术还公开了一种该承载基板的制作方法。在制作OLED时，通过吸附体对被吸附层的吸引力能够抵消或减小基板的重力，从而能够消除或者减小制作OLED时承载OLED的基板因受重力作用下垂而产生的形变，进而避免制作过程中的阴影效应和蒸镀混色。

Load carrying substrate for carrying OLED when making OLED and manufacturing method thereof

For the load bearing substrate OLED, the invention discloses a method for manufacturing OLED which includes: a substrate; the adsorbed layer, is provided on the surface of the substrate, the adsorbed layer includes a resin layer and distributed in the resin layer of magnetic nanoparticles. The invention also discloses a method for manufacturing the load-bearing substrate. When making OLED, the adsorption of the adsorbed layer of body attraction can be offset or reduce the substrate gravity, which can eliminate or reduce the production of OLED bearing substrate deformation OLED generated due to gravity sagging, and thus avoid plating mixed color shadow effect and evaporation in the process of making.

【技术实现步骤摘要】
制作OLED时用于承载OLED的承载基板及其制作方法
本专利技术属于有机发光
，具体地讲，涉及一种制作OLED时用于承载OLED的承载基板及其制作方法。
技术介绍
近年来，有机发光二极管(OrganicLightEmittingDiode，OLED)成为国内外的新兴平面显示器产品，这是因为OLED显示器具有自发光、广视角(达175°以上)、短反应时间(1μs)、高发光效率、广色域、低工作电压(3～10V)、面板薄(厚度可小于1mm)、可制作大尺寸与可挠曲的面板及制程简单等特性，而且它还具有低成本的潜力。在OLED的制作过程中，玻璃基板在蒸镀机内受重力影响而下垂，从而出现变形，并且随着玻璃基板的尺寸越来越大和越来越薄，变形量也越来越大，特别是针对柔性基板。现如今由于现阶段卷对卷技术和打印技术不成熟，因此在无法量产的情况下，柔性基板的制作普遍采用在玻璃基板表面涂布聚合物溶液，经过固化反应形成。在OLED制作过程中，柔性基板在玻璃基板上固化成膜后的收缩会加剧玻璃基板的变形，玻璃基板从其边缘到中心位置，变形量逐渐增大，玻璃基板变形后与光罩(Mask)在磁铁作用下贴合的时候会造成Mask与玻璃基板贴合不紧密的情况，从而产生阴影效应和混色。
技术实现思路
为了解决上述现有技术的问题，本专利技术的目的在于提供一种在制作OLED时能够减小变形量的用于承载OLED的承载基板及其制作方法。根据本专利技术的一方面，提供了一种制作OLED时用于承载OLED的承载基板，其包括：基板；被吸附层，设置在所述基板的表面上，所述被吸附层包括树脂层以及分布在所述树脂层中的若干磁性纳米颗粒。进一步地，所述磁性纳米颗粒的分布密度从所述树脂层的边缘到中心逐渐增大。进一步地，所述磁性纳米颗粒为铁磁性纳米颗粒，所述树脂层的材料为聚酰亚胺树脂。进一步地，所述承载基板还包括：改性层，包覆于所述磁性纳米颗粒的表面上，所述改性层用于提高所述磁性纳米颗粒与所述树脂层的融合度。进一步地，所述改性层的材料为硅烷偶联剂。根据本专利技术的另一方面，还提供了一种制作OLED时用于承载OLED的承载基板的制作方法，其包括步骤：提供一基板；在所述基板的表面上涂布树脂溶液；在涂布的所述树脂溶液中喷洒若干磁性纳米颗粒；对喷洒有若干磁性纳米颗粒的树脂溶液进行加热，以固化成型为具有若干磁性纳米颗粒的树脂层。进一步地，在步骤“在涂布的所述树脂溶液中喷洒若干磁性纳米颗粒”中，所述磁性纳米颗粒的喷洒浓度从树脂溶液的边缘到中心逐渐增大。进一步地，所述磁性纳米颗粒的表面上包覆有改性层，所述改性层用于提高所述磁性纳米颗粒与所述树脂层的融合度。本专利技术的有益效果：本专利技术能够消除或者减小制作OLED时承载OLED的基板因受重力作用下垂而产生的形变，从而避免制作过程中的阴影效应和蒸镀混色。附图说明通过结合附图进行的以下描述，本专利技术的实施例的上述和其它方面、特点和优点将变得更加清楚，附图中：图1是根据本专利技术的实施例的制作OLED时用于承载OLED的承载基板的结构示意图；图2是根据本专利技术的实施例的制作OLED时承载基板承载柔性基板的示意图；图3是根据本专利技术的实施例的制作OLED时用于承载OLED的承载基板的制作方法的流程图。具体实施方式以下，将参照附图来详细描述本专利技术的实施例。然而，可以以许多不同的形式来实施本专利技术，并且本专利技术不应该被解释为限制于这里阐述的具体实施例。相反，提供这些实施例是为了解释本专利技术的原理及其实际应用，从而使本领域的其他技术人员能够理解本专利技术的各种实施例和适合于特定预期应用的各种修改。在附图中，为了清楚器件，夸大了层和区域的厚度。相同的标号在整个说明书和附图中表示相同的元器件。图1是根据本专利技术的实施例的制作OLED时用于承载OLED的承载基板的结构示意图。参照图1，根据本专利技术的实施例的制作OLED时用于承载OLED的承载基板100包括：基板110、被吸附层120。在本实施例中，基板110可例如是玻璃基板或者树脂基板，但本专利技术并不限制于此，例如也可以是其他合适类型的硬质基板。基板110包括相对的两个表面，其中一个表面被定义为第一表面111，另一个表面被定义为第二表面112。被吸附层120形成于第一表面111上。作为本专利技术的另一实施方式，被吸附层120也可以形成于第二表面112上。被吸附层120包括树脂层121以及分散在树脂层121中的若干磁性纳米颗粒122。进一步地，被吸附层120的厚度为1～100μm，所述磁性纳米颗粒122的粒径为1～100nm，但本专利技术并不限制于此。图2是根据本专利技术的实施例的制作OLED时承载基板承载柔性基板的示意图。参照图1和图2，基板110的第一表面111上设置有被吸附层120，基板110的第二表面112上设置有柔性基板200和光罩300，被吸附层120贴合冷却板400，冷却板400的相对处设置有吸附体500，该吸附体500对被吸附层120具有吸附引力。作为本专利技术的一实施方式，吸附体500可例如是磁铁。所述磁性纳米颗粒122可例如是铁磁性纳米颗粒，但本专利技术并不限制于此。这样在制作OLED时，被吸附层120收到吸附体500的吸引力，该吸引力完全或者部分抵消了基板110以及柔性基板200的重力，从而减小基板110的弯曲变形。此外，树脂层121应当具有耐高温的特性，因此本实施例中树脂层121优选聚酰亚胺树脂制成，但本专利技术并不限制于此。诚如
技术介绍
中所述，玻璃基板从其边缘到中心位置，变形量逐渐增大。继续参照图1，为了与基板110的不同位置的变形量匹配，优选地，在本实施例中，所述磁性纳米颗粒122的分布密度从树脂层121的边缘到中心逐渐增大。这样，吸附体500对被吸附层120的中心位置的吸引力较大，而对被吸附层120的边缘位置的吸引力较小，从而最大程度保证基板110保持平整。这里，需要说明的是，本专利技术中被吸附层120的设置数量并不以图1所示的一层为限，可以利用两层或者更多层被吸附层120层叠设置在第一表面111上。进一步地，根据本专利技术的实施例的制作OLED时用于承载OLED的承载基板100还可以包括：改性层130。应当说明的是，作为本专利技术的另一实施例，改性层130没有也可以。所述改性层130包覆于磁性纳米颗粒122的表面上，所述改性层130用于提高树脂层121与若干磁性纳米颗粒122的融合度。优选地，改性层130可以由硅烷偶联剂形成，但本专利技术并不限制于此，例如也可使用其他合适的能够提高树脂层121与若干磁性纳米颗粒122的融合度的材料制成改性层130。此外，需要说明的是，当第一表面111上层叠设置两层或者更多层被吸附层120时，相邻两层被吸附层120之间设置一层粘结层，该粘结层具有耐高温的特性。也就是说，被吸附层120和该粘结层交替层叠在第一表面111上。图3是根据本专利技术的实施例的制作OLED时用于承载OLED的承载基板的制作方法的流程图参照图1和图3，根据本专利技术的实施例的承载基板100的制作方法包括步骤：S310：提供一基板110。S320：在基板110的第一表面111上涂布树脂溶液。S330：在涂布的所述树脂溶液中喷洒若干磁性纳米颗粒122。S340：对喷洒有若干磁性纳米颗粒122的树脂溶液进行加热，以固化成型为具有若干磁性纳米颗粒122的树脂层121。在步骤S3本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制作OLED时用于承载OLED的承载基板，其特征在于，包括：基板；被吸附层，设置在所述基板的表面上，所述被吸附层包括树脂层以及分布在所述树脂层中的若干磁性纳米颗粒。

【技术特征摘要】
1.一种制作OLED时用于承载OLED的承载基板，其特征在于，包括：基板；被吸附层，设置在所述基板的表面上，所述被吸附层包括树脂层以及分布在所述树脂层中的若干磁性纳米颗粒。2.根据权利要求1所述的承载基板，其特征在于，所述磁性纳米颗粒的分布密度从所述树脂层的边缘到中心逐渐增大。3.根据权利要求1或2所述的承载基板，其特征在于，所述磁性纳米颗粒为铁磁性纳米颗粒，所述树脂层的材料为聚酰亚胺树脂。4.根据权利要求1所述的承载基板，其特征在于，还包括：改性层，包覆于所述磁性纳米颗粒的表面上，所述改性层用于提高所述磁性纳米颗粒与所述树脂层的融合度。5.根据权利要求5所述的承载基板，其特征在于，所述改性层的材料为硅烷偶联剂。6.一种制作OLED时用于承载OLED的承载基板的制作方法，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐凡，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42