本发明专利技术提供一种薄膜形成方法及薄膜形成装置，其不会导致降低吞吐量就能够固化基板上附着的薄膜材料。本发明专利技术的薄膜形成方法中，在载物台上保持基板，从喷头吐出光固化性薄膜材料的液滴，并使薄膜材料的液滴着落于基板的表面。从临时固化用光源对着落于基板上的薄膜材料照射光，使薄膜材料的表层部固化。着落液滴的工序及固化薄膜材料的表层部的工序之后，从载物台搬出基板。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种朝向基板吐出薄膜材料的液滴且对附着在基板的薄膜材料照射光井使其固化的薄膜形成方法及薄膜形成装置。
技术介绍
向印刷配线板等基板的图案形成面吐出薄膜材料、例如阻焊抗蚀剂的液滴来形成薄膜的技术备受瞩目。使基板相对喷头移动的同时，根据应形成的薄膜图案的图像数据使液滴着落于印刷配线板的表面。由此，能够形成具有所期望的图案的薄膜。与通过光刻法形成薄膜图案时相比，能够实现缩减制造成本。专利文献I :日本特开2004-104104号公报 若使光固化性(紫外线固化性)液状薄膜材料的液滴着落于基板上，则液滴欲在基板上向面内方向扩展。由液滴的扩展引起的渗出导致薄膜图案的位置精确度下降。为了抑制液滴的扩展，优选着落后迅速地照射光(紫外线)并使其固化。由此，能够防止将基板移动到下一エ艺区的期间内液滴扩展。然而，若欲在输送基板前使基板上的薄膜材料完全固化，则喷头的闲置时间(不工作的时间)变长，导致装置整体的呑吐量降低。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种不导致降低呑吐量就能够使附着于基板的薄膜材料固化的薄膜形成方法及薄膜形成装置。若基于本专利技术的ー个观点，则提供ー种薄膜形成方法，该薄膜形成方法具有在载物台上保持基板，从喷头吐出光固化性薄膜材料的液滴，使所述薄膜材料的液滴着落于所述基板的表面的エ序；从临时固化用光源对着落于所述基板的所述薄膜材料照射光，使所述薄膜材料的表层部固化的エ序；及着落所述液滴的エ序及使所述薄膜材料的表层部固化的エ序之后，从所述载物台搬出所述基板的エ序。若基于本专利技术的其他观点，则提供ー种薄膜形成装置，该薄膜形成装置具有喷头，设置有多个吐出薄膜材料的液滴的喷嘴孔；载物台，将基板保持在与所述喷头对置的位置，使所述基板相对于所述喷头向与基板面平行的方向移动；临时固化用光源，与保持在所述载物台的基板对置，并对着落于所述基板的所述薄膜材料照射使该薄膜材料的表层部固化的強度的光；输送装置，将保持在所述载物台的所述基板输送至正式固化部；及正式固化用光源，在所述正式固化部中对所述基板表面上的所述薄膜材料照射比从所述临时固化用光源放射的光強度更大强度的光。专利技术效果能够通过分开进行临时固化和正式固化，与正式固化处理相独立地进行着落薄膜材料的液滴的エ序。由此，能够抑制呑吐量降低。附图说明图I是基于实施例I的薄膜形成装置的概要图。图2是基于实施例I的薄膜形成装置的第I对准站、第I薄膜材料吐出站及反转站的俯视图。图3A是沿图2的单点划线3A-3A的截面图，图3B是沿图3A的单点划线3B-3B的截面图。图4A是基于实施例I的薄膜形成装置的喷头单元的立体图，图4B是喷头及临时固化用光源的仰视图，图4C是喷嘴単元及基板的俯视图。 图5A 图是用基于实施例I的薄膜形成装置从载物台接收基板时的载物台及输送装置的侧视图。图6A是表示基板、升降销及临时固化用光源的位置关系的俯视图，图6B是基板及临时固化后的薄膜的截面图，图6C是基板及局部固化后的薄膜的截面图。图7A及图7B是反转站的反转台及正式固化用光源的立体图。图7C及图7D是反转站的反转台及正式固化用光源的立体图。图7E及图7F是反转站的反转台及正式固化用光源的立体图。图8是基于实施例2的薄膜形成装置的第I薄膜材料吐出站的俯视图。图9A 图9D是用基于实施例2的薄膜形成装置进行薄膜的局部固化时的第I薄膜材料吐出站的俯视图。图IOA是由基于实施例3的薄膜形成方法制作的基板及薄膜的俯视图，图IOB是沿图IOA的单点划线10B-10B的截面图。图IlA及图IlB是基于实施例4的薄膜形成装置的输送装置、基板及载物台的截面图。图12A 图12D是用基于实施例5的薄膜形成装置将基板从载物台交接到输送装置时的基板、载物台及输送装置的截面图。图13A 图13E是表示用基于实施例6的薄膜形成装置同时并行进行正式固化和表背反转的顺序的图。图14A 图14D是表示用基于实施例7的薄膜形成装置同时并行进行正式固化和表背反转的例子的图。图15是基于实施例8的薄膜形成装置(描绘装置)的概要图。图16A是基于实施例8的薄膜形成装置的喷嘴单元的立体图，图16B是喷嘴单元的仰视图。图17是表示喷嘴与喷嘴的像的关系的图。图18A是表示从喷嘴吐出的液滴的着落点的X坐标与吐出时刻的关系的图，图18B是表示印刷基板上的着落点的位置的图。图19A是喷嘴单元及印刷基板的主视图，图19B是光源的概要图。图20A 图20D是表示吐出的液滴的形状的时间变化的图。图21A是着落于印刷基板上的液滴所形成的(被描绘的)直线俯视图，图21B是沿图21A的单点划线21B-21B的截面图。图22A是基于比较例的喷嘴单元的仰视图，图22B是利用基于比较例的喷嘴单元形成的(被描绘的)直线截面图。图23是基于实施例9的薄膜形成装置的喷嘴单元的仰视图。图24是基于实施例10的薄膜形成装置的喷嘴单元的仰视图。图25是基于实施例11的薄膜形成装置的喷嘴单元的仰视图。图中20_框体,21-搬入站,22-第I对准站,23-第I薄膜材料吐出站，24-基板反转站(正式固化部)，25-第2对准站，26-第2薄膜材料吐出站，27-搬出站，30-直线引导件，31 34-升降器，35-搬入传送带，36-搬入ロ，37-搬出传送带，38-搬出ロ，40-基板(印刷基板、描绘对象物)，41-印[刷配线区域，42-区段，50-控制装置，51-正式固化用光·源，55-载物台，56-直线引导件，57-喷头单元，58-支承部件，59-喷嘴升降机构，60-反转台，60x-连结部，60y-臂部，61-正式固化用光源，62-旋转轴，64-喷嘴支架，65、65A、65B、65C、65D-喷头，66-喷嘴孔，67、67a、67b-喷嘴列，68-临时固化用光源，70-升降板，71-升降销，72-吸附垫片，73-局部固化用光源，74-吸附垫片，75-保持销，77-升降销，78-机械手臂，80-薄膜，81-表层部，82-垫片接触区域，83-垫片接触区域内的薄膜材料，84-吸引流路，90-局部固化用光源，101-支承部件，102-紫外光源，106-引导件，120-平台，121-移动机构，122-Y载物台，123-X载物台，124- Θ载物台，125-保持机构，130-支柱，131-梁，132-摄像装置，133-控制装置，147Aa、147Ab、147Ba、147Bb、147Ca、147Cb、147Da、147Db_ 着落点，148A、148B、148C、148D-与喷头对置的区域，149Aa、149Ab、149Ba、149Bb、149Ca、149Cb、149Da、149Db-液滴，151-液滴，152-渗出，155A、155B、155C、155D-喷嘴像，156-假想平面，160-发光二极管，161-柱面透镜。具体实施例方式图I中示出基于实施例I的薄膜形成装置的概要图。基于实施例I的薄膜形成装置划分为搬入站21、第I对准站22、第I薄膜材料吐出站23、基板反转站24、第2对准站25、第2薄膜材料吐出站26及搬出站27。各站被容纳于框体20内。直线引导件30及4个支承于直线引导件30的升降器31 34构成输送装置。输送装置从前级站向后级站输送基板40。基板40例如为在两面形成有配线图案的印本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种薄膜形成方法，其包括：在载物台上保持基板，从喷头吐出光固化性薄膜材料的液滴，使所述薄膜材料的液滴着落于所述基板表面上的工序；从临时固化用光源对着落于所述基板上的所述薄膜材料照射光，并使所述薄膜材料的表层部固化的工序；及在着落所述液滴的工序及使所述薄膜材料的表层部固化的工序之后，从所述载物台搬出所述基板的工序。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：礒圭二，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：
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