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本发明提供一种薄膜形成方法及薄膜形成装置，其不会导致降低吞吐量就能够固化基板上附着的薄膜材料。本发明的薄膜形成方法中，在载物台上保持基板，从喷头吐出光固化性薄膜材料的液滴，并使薄膜材料的液滴着落于基板的表面。从临时固化用光源对着落于基板上的...
该专利属于住友重机械工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友重机械工业株式会社授权不得商用。

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