薄膜图案形成装置、薄膜图案形成方法及装置的调整方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种薄膜图案形成装置、薄膜图案形成方法及装置的调整方法。当产生喷嘴孔堵塞等不良情况时，不得不停止运转中的装置并更换喷头。期望缩减装置的运转停止时间的技术。本发明专利技术的薄膜图案形成装置中，设置有多个吐出薄膜材料的液滴的喷嘴孔的喷嘴单元与保持于载物台的基板对置。移动机构相对于喷嘴单元向基板的面内方向移动基板。第1拍摄装置检测由涂布于基板的薄膜材料形成的薄膜图案。控制装置使薄膜材料的液滴从喷嘴单元向基板吐出，由附着于基板的薄膜材料形成检查图案。另外，通过获取并分析用第1拍摄装置拍摄的检查图案的图像数据来判定喷嘴单元的喷嘴孔是否良好。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种通过从喷嘴朝向基板吐出薄膜材料的液滴来形成薄膜图案的装置、薄膜图案的形成方法及装置的调整方法。
技术介绍
对在印刷配线板形成阻焊抗蚀剂图案的以往的方法进行说明。首先，在表面形成有回路图案的印刷配线板的整个面涂布感光性阻焊抗蚀剂。利用预定的掩模图案，对阻焊抗蚀剂膜进行曝光之后显影，由此形成阻焊抗蚀剂图案。将阻焊抗蚀剂液滴化，使液滴仅附着于印刷配线板的所期望的区域并使其固化，由此形成有阻焊抗蚀剂图案的技术备受瞩目。阻焊抗蚀剂的液滴从多个喷嘴朝向印刷配线板吐出。能够通过向附着于印刷配线板的表面的液滴照射紫外线来使液滴固化。专利文献I :日本特开2004-104104号公报有时因阻焊抗蚀剂等液状材料而在喷嘴孔产生堵塞等不良情况。若产生喷嘴堵塞等不良情况，则不得不停止运转中的装置并更换喷头。期望缩减装置的运转停止时间的技术。并且，期望迅速地进行喷嘴孔的不良恢复处理(矫正处理)的技术。
技术实现思路
基于本专利技术的一个观点，提供一种薄膜图案形成装置，其具有载物台，保持基板；喷嘴单元，与所述基板对置且设置有向所述基板吐出薄膜材料的液滴的多个喷嘴 孔；移动机构，相对于所述喷嘴单元，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜图案形成装置，其具有：载物台，保持基板；喷嘴单元，与所述基板对置且设置有多个向所述基板吐出薄膜材料的液滴的喷嘴孔；移动机构，相对于所述喷嘴单元，向该基板的面内方向移动所述基板；第1拍摄装置，检测由涂布于所述基板的薄膜材料形成的薄膜图案；及控制装置，所述控制装置使薄膜材料的液滴从所述喷嘴单元向所述基板吐出，由附着于所述基板的薄膜材料形成检查图案，获取用所述第1拍摄装置拍摄的所述检查图案的图像数据，通过分析所获取的图像数据来判定所述喷嘴单元的喷嘴孔是否良好。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：冈本裕司，矶圭二，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：