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薄膜的制作方法及制作装置制造方法及图纸
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文档序号:8243367
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本发明提供因各层间的界面产生的能量障壁的影响得到缓和的层叠薄膜的制作方法。一种薄膜的制作方法,其包括以下工序:依次进行以下(1)~(3)而形成含有溶质A的下层的下层形成工序:(1)喷射将溶质溶解和/或分散到溶剂中而成的原料液而形成液滴,(2...
该专利属于富士胶片株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士胶片株式会社授权不得商用。
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