半导体器件制造技术

技术编号:7119140 阅读:224 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
提供一种半导体器件,其可以降低向耦合VCO中所包括的螺旋电感器和MOS变容器的布线添加的寄生电感器和/或寄生电容。LC振荡回路VCO包括第一螺旋电感器和第二螺旋电感器以及第一MOS变容器和第二MOS变容器。当垂直于半导体衬底观看时,第一MOS变容器和第二MOS变容器设置在第一螺旋电感器和第二螺旋电感器之间的区域中。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体器件,并且更为具体而言涉及在半导体衬底上形成的压控振荡器(VCO)的部件的版图。
技术介绍
随着诸如PCI EXPRESS之类的高速接口技术的发展,增加的关注已投向通过使用廉价和紧凑的互补型金属氧化物半导体(CM0Q技术在接口电路上安装诸如VCO之类的部分。例如,包括单片半导体衬底上的CMOS晶体管的LC振荡回路VCO已在“A IO-Ghz CMOS LC VCO with Wide Tuning Range Using Capacitive Degeneration,,,TAE-Guen Yu, Seong-IK Cho和Hang-Geun Jeong,半导体技术和科学杂志,第6卷,第4期,2006年12月中提出。
技术实现思路
然而,根据“AIO-Ghz CMOS LC VCO with Wide Tuning Range Using Capacitive Degeneration”中的LC振荡回路VCO的版图,互相分隔地放置螺旋电感器和MOS变容器。 因而向耦合这些部件的布线添加了寄生电感器和寄生电容。因此,所测量的VCO振荡频率有时偏离由电路模拟获得的理论估本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体器件,包括:半导体衬底;以及在所述半导体衬底之上形成的LC振荡回路VCO,其中所述LC振荡回路VCO包括:第一螺旋电感器和第二螺旋电感器;以及第一MOS变容器和第二MOS变容器,并且其中,当垂直于所述半导体衬底观看时,所述第一MOS变容器和所述第二MOS变容器设置在所述第一螺旋电感器和所述第二螺旋电感器之间的区域中。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:广田尊则
申请(专利权)人:瑞萨电子株式会社
类型:发明
国别省市:JP

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