搬送系统、搬送机器人及其教导方法技术方案

技术编号:17746606 阅读:102 留言:0更新日期:2018-04-18 20:15
本发明专利技术提供一种搬送系统。所述系统针对基于作为收纳容器的圆板状搬送物的取出位置及旋转台的基准位置而预先暂时设定的位置而载置在旋转台上的搬送物,基于利用传感器部所获取的载置在旋转台上的搬送物相对于旋转台的基准位置偏离的信息,来获取收纳容器的搬送物的取出位置及旋转台的基准位置的信息,并基于所获取的位置信息而教导由机器人进行的搬送物从收纳容器朝旋转台的搬送动作。所述搬送系统无需专用夹具等而求取机器人坐标系与外部坐标系的关系,从而能够简单地教导搬送动作。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】搬送系统、搬送机器人及其教导方法
本专利技术涉及一种用于搬送圆板状搬送物的搬送系统及其搬送机器人、以及教导所述搬送机器人的搬送动作的方法。
技术介绍
组装机器人与搬送机器人的动作控制是如下述般施行:基于以机器人的机构等为基础的机器人坐标系而使对象物(工件)的位置与姿势被掌握、特定并被编程。另一方面,在未由机器人固持的状态下组装或搬送的工件的位置与姿势、及障碍物等的位置等信息,基于与机器人坐标系不同的静止空间的外部坐标系,例如世界坐标系或对象坐标系而被特定。因此,在进行使用机器人的组装与搬送的情形下,需要预先对机器人坐标系与外部坐标系的关系进行掌握或特定。此外,机器人坐标系与外部坐标系的关系在数学上是通过机器人坐标系与外部坐标系的坐标变换矩阵(行列)来表示。作为将机器人坐标系与外部坐标系的关系进行特定的方法,先前,已知的是在机器人手臂处安装专用夹具与触控传感器等来掌握的方法,及其它使用视觉传感器的方法等(例如,专利文献1)。然而,使用专用夹具等方法的教导操作是由手动进行,要求熟练,且会耗费时间。另外,使用视觉传感器等方法,会有计测精度易受环境的光影响或手臂变重等问题。再就是,尤其是在应用于处理半导体衬底的机器人的情形下,由于是在洁净的环境内使用,故使用专用夹具与触控传感器的方法,因工件等的接触而可能成为产生灰尘与粉尘颗粒的原因。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]日本特开2010-151766号
技术实现思路
[专利技术所欲解决的问题]本专利技术是鉴于上文所述的现有技术的问题点而完成者,其目的在于提供一种搬送系统及其搬送机器人、以及所述搬送机器人的教导方法,其在组装或搬送机器人中,尤其是于在洁净的环境下所使用的半导体衬底的搬送机器人中,可在无需专用夹具等,且无需使手臂接触-装置的一部分或夹具这一与通常不同的特别动作下求取机器人坐标系与外部坐标系的关系,从而能够简单地教导搬送相关的动作。[解决问题的手段]为了解决上述问题,本专利技术的第1形态的搬送系统的特征在于具备:搬送物载置装置,其具有在水平面内旋转的旋转台、及获取载置在所述旋转台的圆板状搬送物相对于所述旋转台的基准位置偏离的信息的传感器部;及机器人,其将所述圆板状搬送物从搬送物收纳容器取出,而将其搬送到所述旋转台上并载置;且针对基于作为所述搬送物收纳容器的所述圆板状搬送物的取出位置及所述旋转台的基准位置而预先暂时设定的位置而载置在所述旋转台上的所述圆板状搬送物,基于利用所述传感器部所获取的载置在所述旋转台上的所述圆板状搬送物相对于所述旋转台的基准位置偏离的信息,来获取所述搬送物收纳容器的所述圆板状搬送物的取出位置及所述旋转台的基准位置的信息,并基于所述所获取的位置信息而教导由所述机器人进行的所述圆板状搬送物从所述搬送物收纳容器朝所述旋转台的搬送动作。本专利技术的第2形态是在第1形态中,特征在于:利用所述传感器部所获取的载置在所述旋转台上的所述圆板状搬送物相对于所述旋转台的基准位置偏离的信息为以下3种:基于作为所述旋转台的基准位置而预先暂时设定的位置,在所述旋转台上载置所述圆板状搬送物的第一载置位置相对于所述旋转台的所述基准位置的偏离;在利用所述机器人使所述圆板状搬送物从所述第一载置位置起水平直线移动预先设定的距离而载置在所述旋转台上的第二载置位置处,所述圆板状搬送物相对于所述旋转台的所述基准位置的偏离;及在利用所述机器人使所述圆板状搬送物从所述第一载置位置起进行预先设定的角度的水平回旋移动而载置在所述旋转台上的第三载置位置处,所述圆板状搬送物相对于所述旋转台的所述基准位置的偏离。本专利技术的第3形态是在第1或第2形态中,特征在于:所述旋转台的所述基准位置是所述旋转台的旋转中心,所述圆板状搬送物相对于所述旋转台的所述基准位置的偏离是所述圆板状搬送物的中心距所述旋转台的旋转中心的距离与方向。本专利技术的第4形态的搬送系统的机器人的搬送动作的教导方法的特征在于所述搬送系统具备:搬送物载置装置,其具有在水平面内旋转的旋转台、及获取载置在所述旋转台上的圆板状搬送物相对于所述旋转台的基准位置偏离的信息的传感器部;及机器人,其将所述圆板状搬送物从搬送物收纳容器取出,而将其搬送到所述旋转台上并载置;且所述教导方法包含:第一偏离获取步骤,其获取在所述圆板状搬送物的第一载置位置处,所述圆板状搬送物相对于所述旋转台的所述基准位置的偏离;第二偏离获取步骤,其获取在利用机器人使所述圆板状搬送物从所述第一载置位置起在水平面内直线移动预先设定的距离而载置在所述旋转台上的第二载置位置处,所述圆板状搬送物相对于所述旋转台的所述基准位置的偏离;第三偏离获取步骤,其获取在利用所述机器人使所述圆板状搬送物从所述第一载置位置起进行预先设定的角度的水平回旋移动而载置在所述旋转台上的第三载置位置处,所述圆板状搬送物相对于所述旋转台的所述基准位置的偏离;及以下步骤,即基于在所述第一偏离获取步骤获取的偏离与由所述第三偏离获取步骤获取的偏离,来获取所述搬送物收纳容器的所述圆板状搬送物的取出位置及所述旋转台的基准位置的信息。本专利技术的第5形态是在第4形态中,特征在于:所述旋转台的所述基准位置是所述旋转台的旋转中心,所述圆板状搬送物相对于所述旋转台的所述基准位置的偏离是所述圆板状搬送物的中心距所述旋转台的旋转中心的距离与方向。本专利技术的第6形态的特征在于:其是将圆板状搬送物从搬送物收纳容器取出,并将其搬送到搬送物载置装置的旋转台上并载置的搬送机器人;所述搬送物载置装置具有在水平面内旋转的所述旋转台、及获取载置在所述旋转台的所述圆板状搬送物相对于所述旋转台的基准位置偏离的信息的传感器部;且基于偏离的信息,即根据作为所述搬送物收纳容器的所述圆板状搬送物的取出位置及所述旋转台的基准位置而预先暂时设定的位置,利用所述传感器部所获取的载置在所述旋转台上的所述圆板状搬送物相对于所述旋转台的基准位置偏离的信息,来获取所述搬送物收纳容器的所述圆板状搬送物的应取出位置及对所述旋转台的应载置位置的信息,并基于所述所获取的位置信息,获取所述机器人对于所述搬送物收纳容器的所述圆板状搬送物的取出位置及所述旋转台的基准位置的信息。本专利技术的第7形态是在第6形态中,特征在于:利用所述传感器部所获取的载置在所述旋转台上的所述圆板状搬送物相对于所述旋转台的基准位置偏离的信息为以下3种:在所述圆板状搬送物的所述旋转台的第一载置位置处,所述圆板状搬送物相对于所述旋转台的所述基准位置的偏离;利用所述机器人使所述圆板状搬送物从所述第一载置位置起水平直线移动预先设定的距离而载置在所述旋转台上的第二载置位置的所述圆板状搬送物相对于所述旋转台的所述基准位置的偏离;及利用所述机器人使所述圆板状搬送物从所述第一载置位置起进行预先设定的角度的水平回旋移动而载置在所述旋转台上的第三载置位置的所述圆板状搬送物相对于所述旋转台的所述基准位置的偏离。本专利技术的第8形态是在第6或第7形态中,特征在于:所述旋转台的所述基准位置是所述旋转台的旋转中心,所述圆板状搬送物相对于所述旋转台的所述基准位置的偏离是所述圆板状搬送物的中心距所述旋转台的旋转中心的距离与方向。[专利技术效果]根据本专利技术,由于无需专用夹具等,且无需使手臂接触装置等,因此可在操作员不介入下而自动教导,并可不依存于操作员的技能而实现本文档来自技高网...
搬送系统、搬送机器人及其教导方法

【技术保护点】
一种搬送系统,其特征在于具备:搬送物载置装置,其具有在水平面内旋转的旋转台、及获取载置在所述旋转台的圆板状搬送物相对于所述旋转台的基准位置偏离的信息的传感器部;及机器人,其将所述圆板状搬送物从搬送物收纳容器取出,而将其搬送到所述旋转台上并载置;且针对基于作为所述搬送物收纳容器的所述圆板状搬送物的取出位置及所述旋转台的基准位置而预先暂时设定的位置而载置在所述旋转台上的所述圆板状搬送物,基于利用所述传感器部所获取的载置在所述旋转台上的所述圆板状搬送物相对于所述旋转台的基准位置偏离的信息,来获取所述搬送物收纳容器的所述圆板状搬送物的取出位置及所述旋转台的基准位置的信息,并基于所述所获取的位置信息,教导由所述机器人进行的所述圆板状搬送物从所述搬送物收纳容器朝所述旋转台的搬送动作。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.05.05 US 14/704,5361.一种搬送系统,其特征在于具备:搬送物载置装置,其具有在水平面内旋转的旋转台、及获取载置在所述旋转台的圆板状搬送物相对于所述旋转台的基准位置偏离的信息的传感器部;及机器人,其将所述圆板状搬送物从搬送物收纳容器取出,而将其搬送到所述旋转台上并载置;且针对基于作为所述搬送物收纳容器的所述圆板状搬送物的取出位置及所述旋转台的基准位置而预先暂时设定的位置而载置在所述旋转台上的所述圆板状搬送物,基于利用所述传感器部所获取的载置在所述旋转台上的所述圆板状搬送物相对于所述旋转台的基准位置偏离的信息,来获取所述搬送物收纳容器的所述圆板状搬送物的取出位置及所述旋转台的基准位置的信息,并基于所述所获取的位置信息,教导由所述机器人进行的所述圆板状搬送物从所述搬送物收纳容器朝所述旋转台的搬送动作。2.根据权利要求1所述的搬送系统,其特征在于利用所述传感器部所获取的载置在所述旋转台上的所述圆板状搬送物相对于所述旋转台的基准位置偏离的信息为以下3种:基于作为所述旋转台的基准位置而预先暂时设定的位置,在所述旋转台上载置所述圆板状搬送物的第一载置位置相对于所述旋转台的所述基准位置的偏离;在利用所述机器人使所述圆板状搬送物从所述第一载置位置起水平直线移动预先设定的距离而载置在所述旋转台上的第二载置位置处,所述圆板状搬送物相对于所述旋转台的所述基准位置的偏离;及在利用所述机器人使所述圆板状搬送物从所述第一载置位置起进行预先设定的角度的水平回旋移动而载置在所述旋转台上的第三载置位置处,所述圆板状搬送物相对于所述旋转台的所述基准位置的偏离。3.根据权利要求1或2所述的搬送系统,其特征在于所述旋转台的所述基准位置是所述旋转台的旋转中心,所述圆板状搬送物相对于所述旋转台的所述基准位置的偏离是所述圆板状搬送物的中心距所述旋转台的旋转中心的距离与方向。4.一种搬送系统的机器人的搬送动作的教导方法,其特征在于所述搬送系统具备:搬送物载置装置,其具有在水平面内旋转的旋转台、及获取载置在所述旋转台上的圆板状搬送物相对于所述旋转台的基准位置偏离的信息的传感器部;及机器人,其将所述圆板状搬送物从搬送物收纳容器取出,而将其搬送到所述旋转台上并载置;且所述教导方法包含:第一偏离获取步骤,其获取在所述圆板状搬送物的第一载置位置处,所述圆板状搬送物相对于所述旋转台的所述基准位置的偏离;第二偏离获取步骤,其获取在利用机器人使所述圆板状搬送物从所述第一载置位置起在水平面内直线移动预先设定的距离而载置...

【专利技术属性】
技术研发人员:吉田浩之吉田雅也山口隆生陈栩权
申请(专利权)人:川崎重工业株式会社川崎机器人美国公司
类型:发明
国别省市:日本,JP

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