基板移载装置制造方法及图纸

基板移载装置具备壳体和基板搬送机器人。壳体，与第一方向X的尺寸相比，第二方向Y的尺寸较大，且具有搬送室、及形成配置于搬送室的第一方向X的至少一侧的至少一个开口的壁。基板搬送机器人，具有基台、机械臂、机械手、及控制器。当将从搬送室除去规定的排他区域的空间规定为有效搬送室时，连杆的连杆全长DL小于搬送室尺寸Dx，且机械手的手全长Dh为有效搬送室尺寸Dx'以上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板移载装置
本专利技术涉及一种将半导体基板或玻璃基板等基板从载体向加工装置移载的基板移载装置。
技术介绍
以往，已知有对作为半导体元件制造材料的半导体基板（以下，简称为“基板”）进行元件形成等加工处理的基板处理设备。一般而言，在基板处理设备设有加工处理装置、和与加工处理装置邻接配置的基板移载装置等。例如，专利文献1中记载的基板移载装置，具备：在内部形成搬送室的壳体；在壳体的前壁设置的多个装载端口；和在搬送室内设置的基板搬送机器人。基板搬送机器人具备机械臂、和与机械臂的手腕连结的机械手。该基板搬送机器人进行对加工处理装置的基板的装载及卸除、收容于步骤间搬送用的能够密闭的基板载体的基板的取出及收容等作业。作为上述那样的基板移载装置的一例，已知有梢端模块（EquipmentFrontEndModuLe，简称为EFEM）或分拣机。又，作为上述那样的基板载体的一例，已知有所谓的FOUP（FrontOpeningUnifiedPod，前开式晶圆传送盒）。在基板移载装置中，为了提高处理量，对一个搬送室连结多个基板载体。因此，在壳体的前壁设有与和搬送室连通的基板载体的数量对应的多个装载端口。其结果，基板移载装置的宽度（即，壳体的宽度）有变宽的倾向。另一方面，为了谋求基板移载装置的小型化，期待缩短基板移载装置的深度。基板移载装置的深度限制构成基板搬送机器人的机械臂的各连杆的连杆全长。因此，提出有一种通过被限制的机械臂的各连杆的连杆全长扩大机械手的可动范围的技术。例如，在专利文献2和专利文献3中，提出有一种基板搬送机器人，该基板搬送机器人构成为能够将机械手或其梢端部相对于机械臂的手腕部以一定姿势直线地前进或后退。现有技术文献：专利文献：专利文献1：日本专利公开2008-28134号公报；专利文献2：日本专利公开H10-6267号公报；专利文献3：日本专利公开2007-169007号公报。
技术实现思路
专利技术要解决的问题在现有的基板移载装置中，与壳体连结的基板载体与深度方向平行地开口至搬送室内。当机械手相对于该基板载体进入或退出时，机械手在搬送室内及基板载体内与深度方向平行地移动。在此，“手全长”，是指包含保持于机械手的基板在内的机械手的长度方向的尺寸，详细而言，是指从机械手的基端到保持于该机械手的基板的梢端的尺寸。考虑到像上述那样动作的机械手的手全长也被基板移载装置的深度限制。更详细而言，考虑到在搬送室规定有用于装载端口动作的排他区域，机械手的手全长应小于从搬送室将排他区域除外的空间的深度。本专利技术鉴于以上情况，其目的在于提出一种用于在基板移载装置容易地实现搬送室的深度的缩短的技术。解决问题的手段本专利技术的一形态的基板移载装置的具备：壳体，其当将某一水平方向规定为第一方向，而将与该第一方向正交的水平方向规定为第二方向时，与上述第一方向的尺寸相比，上述第二方向的尺寸较大，且具有搬送室、及形成配置于上述搬送室的上述第一方向的至少一侧的至少一个开口的壁；和基板搬送机器人，具有配置于上述搬送室的基台、支持于上述基台且由至少一根连杆构成的机械臂、与上述机械臂的手腕部连结且能保持基板的机械手、和控制上述机械臂及上述机械手的动作的控制器；当将从上述搬送室除去规定的排他区域的空间规定为有效搬送室时，上述至少一根连杆的连杆全长小于上述搬送室的上述第一方向的尺寸，且上述机械手的手全长为上述有效搬送室的上述第一方向的尺寸以上。在上述基板移载装置中，搬送室的第一方向的尺寸不受基板搬送机器人的机械手的手全长限制，而受机械臂的各连杆的连杆全长限制。基板搬送机器人的连杆的连杆全长的缩短能通过具备使基板搬送机器人往第二方向Y行进的行进轴或者增加基板搬送机器人的连杆的数量，而与手全长的缩短相比更容易地实现。因此，能够容易地实现搬送室的第一方向的尺寸的缩短。专利技术效果根据本专利技术，能够在基板移载装置容易地实现搬送室的第一方向的尺寸（深度）的缩短。附图说明图1是示出具备根据本专利技术的一实施形态的基板移载装置的基板处理设备的概略俯视图；图2是示出图1所示的基板处理设备的概略侧视图；图3是示出基板搬送机器人的控制系统的构成的框图；图4是说明基板搬送机器人的连杆全长和手全长的侧视图；图5是说明根据第一形态的基板搬送机器人的机械手通过前开口从搬送室出入时的情况的图；图6是根据第二形态的基板搬送机器人的机械手的俯视图；图7是图6所示的机械手的侧视图；图8是图6所示的机械手的仰视图；图9是借助透镜单元的光信号传送的概念图；图10是说明根据第二形态的基板搬送机器人的机械手通过前开口从搬送室出入时的情况的图；图11是根据第二形态的变形例1的基板搬送机器人的机械手的俯视图；图12是图11所示的机械手的侧视图；图13是图11所示的机械手的仰视图；图14是说明根据第二形态的变形例2的基板搬送机器人的机械手通过前开口从搬送室出入时的情况的图；图15是说明根据第二形态的变形例3的基板搬送机器人的机械手通过前开口从搬送室出入时的情况的图；图16是说明根据第二形态的变形例4的基板搬送机器人的机械手通过前开口从搬送室出入时的情况的图；图17是根据第二形态的变形例5的基板搬送机器人的机械手的侧视图；图18是图17所示的机械手的仰视图；图19是根据第二形态的变形例6的基板搬送机器人的机械手的侧视图；图20是图19所示的机械手的侧视图。具体实施方式（基板处理设备100的概略构成）首先，从具备根据本专利技术的一实施形态的基板移载装置1的基板处理设备100的概略构成进行说明。图1是示出具备根据本专利技术的一实施形态的基板移载装置1的基板处理设备100的概略构成的平面剖视图，图2是示出图1所示的基板处理设备100的概略构成的侧面剖视图。如图1及图2所示，基板处理设备100大致具备基板移载装置1和加工处理装置2。另外，基板处理设备100例如以符合SEMI（SemiconductorEquipmentandMaterialsInternational，国际半导体设备与材料产业协会）规格等的规定的形式设计。加工处理装置2是对基板24实施热处理、杂质导入处理、薄膜形成处理、光刻（lithography）处理、清洗处理、及平坦化处理中的至少一种以上的加工处理的装置或装置群。但是，加工处理装置2也可对基板24进行上述处理以外的处理。加工处理装置2具备：对基板24实施处理的处理装置主体20；收容处理装置主体20的壳体21；和调整在壳体21内形成的处理室22的气氛气体的调整装置（省略图示）。调整装置例如可通过风扇过滤单元等实现。基板移载装置1与加工处理装置2邻接地配设。基板移载装置1作为在基板载体25与加工处理装置2之间负责基板24的交接的接口部而发挥功能。基板载体25是能够收容多个基板24的可搬式的容器。基板载体25通过包含收容基板24的容器主体60、和能够对容器主体60装卸或开闭的容器侧门61而构成。容器主体60形成具有在一侧开放的出入口的大致箱状，该出入口藉由容器侧门61而能够开闭地封闭。在容器主体60的内部，以能够在上下方向Z等间隔地排列的状态下收容多个基板24的形式，形成在上下方向Z排列的多个支架。（基板移载装置1）其次，针对基板移载装置1进行详细说明。基板移载装置1大致具备基板搬送机器人7、调整基板24的方向的调准本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板移载装置，具备：壳体，所述壳体当将某一水平方向规定为第一方向，而将与该第一方向正交的水平方向规定为第二方向时，与所述第一方向的尺寸相比，所述第二方向的尺寸较大，且具有搬送室、及形成配置于所述搬送室的所述第一方向的至少一侧的至少一个开口的壁；和基板搬送机器人，具有配置于所述搬送室的基台、支持于所述基台且由至少一根连杆构成的机械臂、与所述机械臂的手腕部连结且能保持基板的机械手、和控制所述机械臂及所述机械手的动作的控制器；当将从所述搬送室除去规定的排他区域的空间规定为有效搬送室时，所述至少一根连杆的连杆全长小于所述搬送室的所述第一方向的尺寸，且所述机械手的手全长为所述有效搬送室的所述第一方向的尺寸以上。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.09.03 US 14/844,8191.一种基板移载装置，具备：壳体，所述壳体当将某一水平方向规定为第一方向，而将与该第一方向正交的水平方向规定为第二方向时，与所述第一方向的尺寸相比，所述第二方向的尺寸较大，且具有搬送室、及形成配置于所述搬送室的所述第一方向的至少一侧的至少一个开口的壁；和基板搬送机器人，具有配置于所述搬送室的基台、支持于所述基台且由至少一根连杆构成的机械臂、与所述机械臂的手腕部连结且能保持基板的机械手、和控制所述机械臂及所述机械手的动作的控制器；当将从所述搬送室除去规定的排他区域的空间规定为有效搬送室时，所述至少一根连杆的连杆全长小于所述搬送室的所述第一方向的尺寸，且所述机械手的手全长为所述有效搬送室的所述第一方向的尺寸以上。2.根据权利要求1所述的基板移载装置，其特征在于，所述至少一根连杆的连杆全长小于所述有效搬送室的所述第一方向的尺寸。3.根据权利要求1或2所述的基板移载装置，其特征在于，所述机械手的手全长大于所述搬送室的所述第一方向的尺寸。4.根据权利要求1所述的基板移载装置，其特征在于，还具备开闭操作所述开口的装载端口，所述规定的排他区域是所述装载端口在藉由该装载端口与所述搬送室连通的基板载体的开闭操作时利用的区域。5.根据权利要求1所述的基板移载装置，其特征在于，所述控制器以如下形式控制所述机械臂：所述机械手当整体位于所述搬送室内时，为所述机械手的手长度方向相对于所述第一方向倾斜的姿势，当梢端部分从所述开口进出时，为所述手长度方向与所述第一方向平行的姿势。6.根据权利要求1所述的基板移载装置，其特征在于，所述机械手具有：基准部分，连结于所述机械臂的手腕部；可动部分，以能相对于所述基准部分相对位移的形...

【专利技术属性】
技术研发人员：后藤博彦，曾铭，艾薇许·巴瓦尼，小野茂树，
申请(专利权)人：川崎重工业株式会社，川崎机器人美国有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP