本发明提供一种晶片治具。该晶片治具用于机器人，该机器人包括手和状态检测部。所述手能够搬送晶片。所述状态检测部对所述手保持晶片的部件的状态或者所述手吸附晶片的负压的状态进行检测。所述晶片治具包括信息输出部，所述信息输出部用于向所述手侧输出...

一种机器人系统，其具备机器人以及控制部。所述机器人具有通过电动马达驱动的一个以上的关节，且能够通过保持部保持晶圆。所述控制部对所述机器人发出指令进行控制。在所述机器人通过所述保持部保持所述晶圆进行运送的情况下，所述控制部根据与所述电动马...

对准装置(4)具备第一旋转台(41b)、第二旋转台(42b)、以及检测装置(43)。第一旋转台(41b)载置基板(2)且以第一旋转轴线(L1)为旋转中心进行旋转。第二旋转台(42b)载置基板(2)且以位置与第一旋转轴线(L1)的位置不同...

一种晶圆夹具，用于具有手部的机器人，该手部具有投光部以及受光部。所述受光部检测从所述投光部照射的检测光。晶圆夹具具备朝所述受光部照射通知光的光源。通过所述光源朝所述受光部照射所述通知光，而对所述手部侧输出信息。息。息。

一种机器人系统，其具有：机器人；晶圆夹具，其通过机器人保持；定位台，其能够放置晶圆夹具；位置偏移检测装置，其能够检测晶圆夹具的位置偏移；控制部，其对机器人发出指令进行控制；以及位移获取部，其获取在指令位置与实际位置之间产生的位移。定位台...

本发明的基板搬运装置(1)具备：机器人(10)，其具备保持基板(W)的手(12)、和使手(12)移动的臂(11)；机器人控制装置(15)，其设定手(12)的移动路径(T)，并控制臂(11)以使得手(12)在移动路径(T)上朝向目标位置(...

基板吸引保持构造(100)具备：衬垫主体(40)，具有环状的接触部(41)、和将由接触部包围的第一真空室(42)的底面(65)封闭的底壁部(43)，并且该衬垫主体(40)具有导电性；托板主体(3)，具有上表面、和使该上表面凹陷而形成的第...

基板搬运机器人(20)具备：基台(21)，其设置于搬运室(1)内；机械臂(23)，其具有在水平面内转动的多个连杆(24～26)，并与基台连结；第一机械手(31)和第二机械手(32)，它们与机械臂的前端部连结为能够绕铅垂的机械手轴(LH)...

本发明的基板搬运装置具备：基座；臂；末端执行器，设置于臂的前端，并具有分支为两股的第1前端部和第2前端部；发光部；受光部；以及控制装置，控制臂的动作。控制装置控制臂的动作，使得在末端执行器的前端前进的光扫描容纳于FOUP的多张基板的边缘...

机器人具备：机器人臂；多层的手，其包括设置于机器人臂的末端的第1手和第2手；第1直接驱动马达，其旋转轴线规定在机器人臂的末端，将第1手能够以旋转轴线为中心旋转地连结于机器人臂的末端；以及第2直接驱动马达，其将第2手能够以旋转轴线为中心旋...

本发明的靶体的边缘位置示教方法包含：光电传感器的光轴向规定的初始位置移动，该规定的初始位置规定在比以主面成为水平的姿势设置的靶体的边缘靠外侧、且比靶体靠上方或下方的位置；直到由光电传感器检测到靶体的边缘位置，反复进行光轴的规定的前进循环...

一种基板搬运机器人，相对于在装载口的第一侧与该装载口的开口部结合的基板的载体，经由装载口从与第一侧相反的第二侧通过开口部来进行基板的交接，其中，基板搬运机器人具备：手部，其保持基板；机器人臂，其与手部连结并使该手部位移；拍摄装置，其安装...

机器人具备：机器人臂，其具有经由关节连接的多个连杆；末端执行器，其经由腕关节连结于机器人臂的前端；拍摄装置，其安装于末端执行器或者机器人臂以使在拍摄范围内包括原点姿势的末端执行器和机器人臂的整体；以及控制器，其控制机器人臂和拍摄装置的动...