晶片治具、机器人系统、通信方法及机器人教示方法技术方案

本发明专利技术提供一种晶片治具。该晶片治具用于机器人，该机器人包括手和状态检测部。所述手能够搬送晶片。所述状态检测部对所述手保持晶片的部件的状态或者所述手吸附晶片的负压的状态进行检测。所述晶片治具包括信息输出部，所述信息输出部用于向所述手侧输出信息。所述信息输出部通过使所述状态检测部的检测结果发生变化，来经由该状态检测部向所述手侧输出信息。信息。信息。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】晶片治具、机器人系统、通信方法及机器人教示方法


[0001]本专利技术涉及操作晶片的机器人中的治具的使用。

技术介绍

[0002]至今为止，已知一种机器人系统，该机器人系统配置于制造半导体晶片(半导体基板)的无尘室内，且对搬送半导体晶片的机器人自动教示半导体晶片的搬送位置。专利文献1公开了此种基板搬送用机械手。
[0003]专利文献1的基板搬送用机械手包括可保持教示治具的手和支撑手的臂部。在该机械手中，从教示治具导出的教示治具用信号传输电缆通过设于手基端部的连接器连接部连接，且被导入臂的内部而与控制器连接。在专利文献1的结构中，教示治具用信号传输电缆在教示动作中被保持为恒定姿势。专利文献1可由此避免电缆被周边装置绊住而损坏治具或装置的问题。
[0004]专利文献1：日本特开2010
‑
137300号公报

技术实现思路

[0005]在专利文献1的结构中，为了传输电信号，需要连接治具与机器人控制器之间的电缆。因此，治具的小型化等方面存在困难。此外，需要电缆的结构有时可能不适合于操作例如厌恶产生灰尘的半导体的用途。
[0006]鉴于上述内容，本专利技术的目的在于提供一种与机器人之间不需要通信电缆的晶片治具以及使用该晶片治具的机器人系统。
[0007]本专利技术所要解决的问题如上所述，以下，对用以解决该问题的手段及其效果进行说明。
[0008]根据本专利技术的第一观点，提供以下结构的晶片治具。即，该晶片治具用于机器人，该机器人包括手和状态检测部。所述手能够搬送晶片。所述状态检测部对所述手保持晶片的部件的状态或者所述手吸附晶片的负压的状态进行检测。所述晶片治具包括信息输出部，所述信息输出部用于向所述手侧输出信息。所述信息输出部通过使所述状态检测部的检测结果发生变化，来经由该状态检测部向所述手侧输出信息。
[0009]根据本专利技术的第二观点，提供以下的通信方法。即，在该通信方法中，所述晶片治具在机器人与晶片治具之间向所述手侧发送信息。所述机器人包括状态检测部，该状态检测部能够对可搬送晶片的手保持晶片的部件的状态或者所述手吸附晶片的负压的状态进行检测。所述晶片治具能够由所述手保持。通信方法包括第一步骤和第二步骤。在所述第一步骤中，使处于所述晶片治具由所述手保持的状态。在所述第二步骤中，所述晶片治具所包括的信息输出部根据所述信息使所述状态检测部的检测结果发生变化。
[0010]因此，晶片治具可利用机器人所包括的结构的一部分(状态检测部)与机器人(进而，控制机器人的控制部)进行通信。由于不需要通信电缆，因此可实现晶片治具的小型化、简洁化及轻量化，并且可适宜地维持机器人的移动自由度。
[0011](专利技术效果)
[0012]根据本专利技术，可提供一种与机器人之间不需要通信电缆的晶片治具以及使用该晶片治具的机器人系统。
附图说明
[0013]图1是示出了本专利技术的机器人系统的结构的立体图。
[0014]图2是示出了机器人系统的一部分的结构的方块图。
[0015]图3是示出了第一实施方式的晶片治具的结构的俯视图。
[0016]图4是示出了电动气缸从图3的状态强制地使按压部件退避的样子的俯视图。
[0017]图5是示出了使用第一实施方式的晶片治具来检测对象物的样子的局部立体图。
[0018]图6是示出了第二实施方式的晶片治具的结构的俯视图。
[0019]图7是示出了第二实施方式的晶片治具的结构的局部剖面示意图。
具体实施方式
[0020]其次，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。图1是示出了本专利技术的机器人系统100的结构的立体图。图2是示出了机器人系统100的一部分的结构的方块图。图3是示出了第一实施方式的晶片治具2的结构的俯视图。图4是示出了电动气缸从图3的状态强制地使按压部件70退避的样子的俯视图。图5是示出了使用第一实施方式的晶片治具2检测对象物9的样子的局部立体图。
[0021]图1所示的机器人系统100是在无尘室等作业空间内使机器人1进行作业的系统。该机器人系统100可进行自动教示，该自动教示例如可有效且正确地教示机器人1(具体为后述的手10)的位置。
[0022]机器人系统100包括机器人1、晶片治具(通信治具)2以及控制器(控制部)5。
[0023]机器人1例如作为晶片移载机器人发挥作用，该晶片移载机器人用于搬送保管在省略图示的保管容器中的晶片(工件)。在本实施方式中，机器人1通过SCARA型水平多关节机器人实现。SCARA是Selective Compliance Assembly Robot Arm(选择顺应性关节机械手臂)的简称。
[0024]如图1所示，机器人1包括手(末端执行器)10、机械手臂11以及姿势检测部12。
[0025]手10是末端执行器的一种，通常形成为在俯视时V字形或U字形。手10被机械手臂11(具体为后述的第二连杆16)的前端支撑着。手10以沿上下方向延伸的第三轴c3作为中心相对于第二连杆16旋转。
[0026]手10作为边缘抓握型手构成。在手10的前端侧以及根侧的每一个设置有多个用于保持晶片的边缘引导部6。边缘引导部6能够接触到圆板状晶片的外周面。
[0027]在手10设置有按压机构7。按压机构7被配置在手10的根侧。按压机构7接触到放置在手10上的晶片的外周面，将晶片推向手10的前端侧。其结果是，按压机构7能够在与手10的前端侧的边缘引导部6之间夹住晶片来保持晶片。
[0028]如图3所示，按压机构7包括按压部件70、传输部件71、气压缸72、滑动部件73和位置传感器74。
[0029]按压部件70是能够接触到晶片的外周面的部件。按压部件70沿着手10的对称轴A1
可移动地设置着。
[0030]在按压部件70连接有传输部件71。传输部件71沿着手10的对称轴A1细长地形成着。传输部件71被配置在形成在手10的孔或槽的内部。传输部件71连接按压部件70与气压缸72。
[0031]气压缸72经由传输部件71驱动按压部件70。气压缸是流体压力缸的一种。也可以使用其它线性致动器来代替气压缸72。
[0032]气压缸72包括杆72a和气缸部件72b。
[0033]杆72a沿着对称轴A1配置着。气缸部件72b形成为中空状，在其内部配置有活塞72c。杆72a的一部分被插入气缸部件72b，其端部连接在活塞72c。与活塞72c相反一侧的杆72a的端部连接在传输部件71。气缸部件72b经由配置在机械手11的内部的配管等连接在省略图示的压缩空气源。当将压缩空气提供给形成在气缸部件72b的内部的气缸室时，驱动杆72a从气缸部件72b前进。其结果是，能够使按压部件70朝向手10的前端位移。
[0034]滑动部件73被安装在杆72a或传输部件71中的适当位置。在手10设置有省略图示的引导部件(例如，轨道)。该引导部件引导滑动部件73的移动方向。滑动部件73能够与杆72a、传输部件71本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种晶片治具，该晶片治具用于机器人，该机器人包括手和状态检测部，所述手能够搬送晶片，所述状态检测部对所述手保持晶片的部件的状态或者所述手吸附晶片的负压的状态进行检测，其特征在于：所述晶片治具包括信息输出部，所述信息输出部用于向所述手侧输出信息，所述信息输出部通过使所述状态检测部的检测结果发生变化，来经由该状态检测部向所述手侧输出信息。2.根据权利要求1所述的晶片治具，其特征在于：所述晶片治具包括对象物检测传感器，该对象物检测传感器检测对象物，所述信息输出部将所述对象物检测传感器是否检测到所述对象物作为所述信息输出。3.根据权利要求2所述的晶片治具，其特征在于：所述对象物检测传感器被设置在该晶片治具的中心。4.根据权利要求3所述的晶片治具，其特征在于：在由所述手保持有所述晶片治具的状态下，所述对象物检测传感器位于所述手的中心。5.根据权利要求1所述的晶片治具，其特征在于：所述手包括按压部件，该按压部件按压所述晶片，所述状态检测部是检测所述按压部件的位置的位置传感器，所述信息输出部包括致动器，该致动器使所述按压部件抵抗按压而退避。6.根据权利要求1所述的晶片治具，其特征在于：在所述手形成有吸入口，该吸入口能够吸附晶片，所述状态检测部是负压传感器，该负压传感器对...

【专利技术属性】
技术研发人员：丹治彦，中原一，
申请(专利权)人：川崎机器人美国有限公司，
类型：发明
国别省市：