晶圆夹具、机器人系统、通讯方法以及机器人教示方法技术方案

一种晶圆夹具，用于具有手部的机器人，该手部具有投光部以及受光部。所述受光部检测从所述投光部照射的检测光。晶圆夹具具备朝所述受光部照射通知光的光源。通过所述光源朝所述受光部照射所述通知光，而对所述手部侧输出信息。息。息。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】晶圆夹具、机器人系统、通讯方法以及机器人教示方法


[0001]本公开涉及一种夹具的使用，该夹具使用在操作晶圆的机器人上。

技术介绍

[0002]过往，已知一种机器人系统，其配置在制造半导体晶圆(半导体基板)的无尘室内，且对输送半导体晶圆的机器人自动教示半导体晶圆的输送位置。专利文献1公开有此种的基板输送用机械手臂。
[0003]专利文献1的基板输送用机械手臂，具备能够保持教示夹具的手部、以及支撑手部的臂部。在该机械手臂中，从教示夹具导出的教示夹具用信号传输电缆，通过设在手基端部的连接器连接部连接，且被导入臂的内部而与控制器连接。在专利文献1的构成中，教示夹具用信号传输电缆在教示动作中被保持为恆定姿势。专利文献1能够通过此避免电缆被周边装置绊住而损坏夹具或装置等的问题。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开2010
‑
137300号公报

技术实现思路

[0007]专利技术所要解决的技术问题
[0008]在专利文献1的构成中，为了传输电信号，需要连接夹具与机器人控制器之间的电缆。由此，在夹具的小型化等方面存在困难。另外，需要电缆的构成有时可能不适合于操作例如厌恶产生灰尘的半导体的用途。
[0009]有鉴于此，本公开的目的，在于提供一种与机器人之间不需要通讯电缆的晶圆夹具、以及使用该晶圆夹具的机器人系统。
[0010]解决问题所使用的技术方案
[0011]本公开所欲解决的问题诚如上面的说明，下面对用于解决该问题的手段及其功效进行说明。
[0012]根据本公开的第一观点，提供以下结构的晶圆夹具。也就是说,该晶圆夹具用于具有手部的机器人，该手部具有投光部、以及检测从所述投光部照射的检测光的受光部。所述晶圆夹具具备朝所述受光部照射通知光的光源。所述晶圆夹具通过所述光源朝所述受光部照射所述通知光，对所述手部侧输出信息。
[0013]根据本公开的第二观点，提供以下结构的晶圆夹具。也就是说，该晶圆夹具用于具有手部的机器人，该手部具有投光部、以及检测从所述投光部照射的检测光的受光部。所述晶圆夹具具备夹具受光部，该夹具受光部能够检测从所述手部的所述投光部照射的光。
[0014]根据本公开第三种观点，提供以下结构的晶圆夹具。也就是说，该晶圆夹具用于具有手部的机器人，该手部具有投光部、以及检测从所述投光部照射的检测光的受光部。所述晶圆夹具具有光切换部。所述光切换部能够切换所述受光部接收来自所述投光部的所述检
测光的状态与不接收所述检测光的状态。通过所述光切换部的切换而朝所述手部侧输出信息。
[0015]根据本公开的第四种观点，提供以下的通讯方法。也就是说，在该通讯方法中，所述晶圆夹具在机器人与晶圆夹具之间朝所述手部侧传送信息。该机器人具有手部，该手部具备投光部以及受光部。所述受光部检测从所述投光部照射的检测光。所述晶圆夹具能够通过所述手部保持。该通讯方法包含第一工序以及第二工序。在所述第一工序中，成为通过所述手部保持所述晶圆夹具的状态。在所述第二工序中，所述晶圆夹具所具备的光源朝所述受光部照射与所述信息对应的通知光。
[0016]由此，晶圆夹具能够利用机器人具备的结构的一部分(投光部以及受光部)与机器人(进而，控制机器人的控制部)进行通讯。由于不需要通讯电缆，因此能够实现晶圆夹具的小型化、简洁化以及轻量化，并且能够适宜地维持机器人的运动自由度。
[0017]专利技术的功效
[0018]根据本公开，能够提供一种与机器人之间不需要通讯电缆的晶圆夹具、以及使用该晶圆夹具的机器人系统。
附图说明
[0019]图1是显示本公开的机器人系统的结构的立体图；
[0020]图2是显示机器人系统的一部分的结构的框图；
[0021]图3是显示第一实施方式的晶圆夹具的结构的俯视图；
[0022]图4是显示第一实施方式的晶圆夹具的结构的侧视图；
[0023]图5是显示使用第一实施方式的晶圆夹具检测对象物的状况的局部立体图；
[0024]图6是显示第二实施方式的晶圆夹具的结构的俯视图；
[0025]图7是显示第二实施方式的晶圆夹具的结构的侧视图；
[0026]图8是显示使用第二实施方式的晶圆夹具检测对象物的状况的局部立体图；和
[0027]图9是显示使用第三实施方式的晶圆夹具检测对象物的状况的局部立体图。
[0028]附图标记说明
[0029]1机器人
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2、2x、2y晶圆夹具
[0030]5控制器(控制部)
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6定位传感器
[0031]9、9x对象物
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10手部
[0032]22对象物检测传感器(传感器)23阻挡物(遮挡部)
[0033]24发射器(光源)
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61投光部
[0034]62受光部
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100机器人系统
具体实施方式
[0035]下面，参照附图说明本公开的实施方式。图1是显示本公开的机器人系统100的结构的立体图。图2是显示机器人系统100的一部分的结构的框图。图3是显示第一实施方式的晶圆夹具2的结构的俯视图。图4是显示第一实施方式的晶圆夹具2的结构的侧视图。图5是显示使用第一实施方式的晶圆夹具2检测对象物9的状况的局部立体图。
[0036]图1所示的机器人系统100，是在无尘室等工作空间内使机器人1进行工作的系统。
该机器人系统100能够进行自动教示，该自动教示例如能够有效且正确地教示机器人1(具体为后述的手部10)的位置。
[0037]机器人系统100，具备机器人1、晶圆夹具(通讯夹具)2、以及控制器(控制部)5。
[0038]机器人1，例如具有作为晶圆移载机器人的功能，该晶圆移载机器人用于输送保管于省略图示的保管装置内的晶圆。在本实施方式中，机器人1通过SCARA型水平多关节机器人实现。SCARA是Selective Compliance Assembly Robot Arm(选择顺应性关节机械手臂)的缩写。
[0039]如图1所示，机器人1具备手部(末端效应器)10、机械手臂11以及姿势检测部12。
[0040]手部10是末端效应器的一种，通常在俯视时形成为V字形或U字形。手部10被支撑于机械手臂11(具体为后述的第二连杆16)的前端。手部10以沿上下方向延伸的第三轴c3为中心相对于第二连杆16旋转。
[0041]在本实施方式的机器人1中，如图1所示，在手部10的前端侧设置有定位传感器(光学式传感器)6。通过定位传感器6，能够以非接触方式进行晶圆等物体的有无等的确认(定位)。在本实施方式中，定位传感器6例如由透射型传感器构成，该透射型传感器具有投光部61以及受光部本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种晶圆夹具，用于具有手部的机器人，该手部具有投光部、以及检测从所述投光部照射的检测光的受光部，其特征在于具备：光源，其朝所述受光部照射通知光，且通过所述光源朝所述受光部照射所述通知光，对所述手部侧输出信息。2.根据权利要求1所述的晶圆夹具，其中，所述晶圆夹具具备遮挡部，当通过所述手部保持所述晶圆夹具时，所述遮挡部将所述投光部与所述受光部之间的光路遮挡。3.根据权利要求1所述的晶圆夹具，其中，具备检测对象物的对象物检测传感器，所述光源输出所述对象物检测传感器是否有检测出所述对象物作为所述信息。4.根据权利要求3所述的晶圆夹具，其中，所述对象物检测传感器设在该晶圆夹具的中心。5.根据权利要求3所述的晶圆夹具，其中，在通过所述手部保持所述晶圆夹具的状态下，所述对象物检测传感器位于所述手部的中心。6.根据权利要求1所述的晶圆夹具，其中，通过重复所述光源的亮灯/熄灯的周期、或重复光强度的强弱的周期，以表现所述信息。7.根据权利要求6所述的晶圆夹具，其中，具备多个传感器，且所述周期根据各传感器的检测结果的组合而变化。8.根据权利要求7所述的晶圆夹具，其中，多个传感器具备2个光传感器，在沿所述晶圆夹具的厚度方向观察的情况下，2个所述光传感器的光轴交叉，且在通过所述手部保持所述晶圆夹具的状态下，在沿所述晶圆夹具的厚度方向观察的情况下的所述光轴的交叉部位位于所述手部的中心。9.根据权利要求1所述的晶圆夹具，其中，具备夹具受光部，该夹具受光部能够检测从所述手部的所述投光部照射的光。10.根据权利要求9所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉田雅也，中原一，
申请(专利权)人：川崎机器人美国有限公司，
类型：发明
国别省市：