基板保持机械手和基板搬运机器人制造技术

该基板保持机械手(1)具备：框架(31)；叶片(32)，其支承基板(W)；安装部件(33)，其用于支承叶片并将叶片安装于框架；以及倾斜调整机构(34)，其通过调整安装部件相对于框架的倾斜，从而能够调整在从侧方观察叶片的情况下叶片相对于水平方向的倾斜。相对于水平方向的倾斜。相对于水平方向的倾斜。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板保持机械手和基板搬运机器人


[0001]该专利技术涉及基板保持机械手和基板搬运机器人，涉及具备支承基板的叶片的基板保持机械手和基板搬运机器人。

技术介绍

[0002]以往，公知有具备支承基板的叶片的基板保持机械手。例如在日本特开2013
‑
69914号公报中公开有这样的机械手。
[0003]在上述日本特开2013
‑
69914号公报中，公开有用于搬运基板的基板搬运用机械手(基板保持机械手)。该基板搬运用机械手具备支承基板的机械手主体部(叶片)。该基板搬运用机械手通过机械手主体部支承并搬运例如收纳于与SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International：国际半导体设备与材料组织)规格的FOUP(Front Opening Unified Pod：前开式晶圆盒)对应的基板收纳容器的基板。
[0004]另外，虽然在上述日本特开2013
‑
69914号公报中没有明确记载，但是在上述日本特开2013r/>‑
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种基板保持机械手，其特征在于，具备：框架；叶片，其支承基板；安装部件，其用于支承所述叶片并将所述叶片安装于所述框架；以及倾斜调整机构，其通过调整所述安装部件相对于所述框架的倾斜，从而能够调整在从侧方观察所述叶片的情况下所述叶片相对于水平方向的倾斜。2.根据权利要求1所述的基板保持机械手，其特征在于，所述倾斜调整机构包括倾斜调整销，所述倾斜调整销以如下方式设置，即：所述倾斜调整销插入所述安装部件，并以能够使所述安装部件绕着沿水平方向中的、与所述框架和所述叶片排列的前后方向正交的侧方延伸的规定的旋转轴线旋转的方式支承所述安装部件，并且所述倾斜调整销沿所述侧方延伸。3.根据权利要求2所述的基板保持机械手，其特征在于，所述安装部件包括用于将所述叶片的基端部的一侧和另一侧分别安装于所述框架的一对安装部件，所述倾斜调整销包括与所述一对安装部件对应的一对倾斜调整销，所述倾斜调整机构通过以所述一对倾斜调整销为旋转中心使所述一对安装部件绕着所述规定的旋转轴线旋转，从而能够调整在从侧方观察所述叶片的情况下所述叶片相对于水平方向的倾斜。4.根据权利要求2所述的基板保持机械手，其特征在于，所述倾斜调整销以如下方式设置，即：所述倾斜调整销支承于所述框架，并且从所述框架的侧方突出来插入所述安装部件。5.根据权利要求2所述的基板保持机械手，其特征在于，所述倾斜调整机构在通过以所述倾斜调整销为旋转中心使...

【专利技术属性】
技术研发人员：清水一平，
申请(专利权)人：川崎重工业株式会社，
类型：发明
国别省市：