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该基板保持机械手(1)具备：框架(31)；叶片(32)，其支承基板(W)；安装部件(33)，其用于支承叶片并将叶片安装于框架；以及倾斜调整机构(34)，其通过调整安装部件相对于框架的倾斜，从而能够调整在从侧方观察叶片的情况下叶片相对于水平方...
该专利属于川崎重工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过川崎重工业株式会社授权不得商用。

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