本发明专利技术公开了一种基板处理装置，包括：悬浮台，可以使基板悬浮；吸附传送部件，可以吸附基板的边缘部分，并且可以在悬浮台的上方传送基板；辊传送部件，可以布置成邻近悬浮台，并且可以从悬浮台传送基板；至少一个升降部件，可以布置在悬浮台与辊传送部件之间，并且可以将基板从吸附传送部件传送到辊传送部件上；以及控制部件，可以调节从吸附传送部件分离基板的时间点、至少一个升降部件上升和下降的时间点以及辊传送部件启动的时间点。以及辊传送部件启动的时间点。以及辊传送部件启动的时间点。
【技术实现步骤摘要】
基板处理装置及基板处理方法
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求于2021年12月24日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请第10
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2021
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0187015号的优先权。
[0003]本专利技术的示例性实施例涉及基板处理装置和基板处理方法。更具体地，本专利技术的示例性实施例涉及一种包括吸附传送部件的基板处理装置和使用该基板处理装置的基板处理方法，该吸附传送部件在执行基板处理工序时能够吸附基板的边缘部分，并且可以在悬浮台上方传送基板。
技术介绍
[0004]用于诸如有机发光显示(OLED)装置或量子点显示(QLED)装置的显示装置的制造工艺通常可以包括向基板提供包括光致抗蚀剂溶液的液态化学品的基板处理工序。
[0005]基板处理工序大体上可以在基板悬浮在悬浮台上方的状态下进行。在这种情况下，传送部件可以吸附基板，并且在悬浮台的上方传送基板。大体上可以通过使用辊连续地传送从悬浮台移出的基板。当基板的一部分被放置在辊上时，传送部件可以解除对基板的吸附。然而，当在从传送部件解除对基板的吸附之后基板立即移动到辊上时，由于吸附基板的下表面的传送部件与基板之间的静电和/或镜化，基板可能不会与传送部件完全分离。结果，基板可能会受损，并且当辊传送基板时，基板可能被损坏。
技术实现思路
[0006]解决的技术问题
[0007]本专利技术的一方面提供一种基板处理装置，其能够在通过辊的驱动连续传送从悬浮台移出的基板的过程中，准确地使基板与吸附基板的背面边缘的吸附部件分离。
[0008]本专利技术的另一方面提供一种基板处理方法，其能够在通过辊的驱动连续传送从悬浮台移出的基板的过程中，准确地使基板与吸附基板的背面边缘的吸附部件分离。
[0009]本专利技术的又一方面提供一种基板处理装置，其在执行液态化学品排放工艺时，在通过辊的驱动连续传送从悬浮台移出的基板的过程中，准确地使基板与吸附基板的背面边缘的吸附部件分离。
[0010]解决方法
[0011]根据本专利技术的一方面，提供一种基板处理装置，该基板处理装置可以包括：悬浮台，可以使基板悬浮；吸附传送部件，可以吸附基板的边缘部分，并且可以在悬浮台的上方传送基板；辊传送部件，可以布置成邻近悬浮台，并且可以从悬浮台传送基板；至少一个升降部件，可以布置在悬浮台与辊传送部件之间，并且可以将基板从吸附传送部件传送到辊传送部件上；以及控制部件，可以调节从吸附传送部件分离基板的时间点、至少一个升降部件上升和下降的时间点以及辊传送部件启动的时间点。
[0012]在示例性实施例中，悬浮台可以通过向基板的下表面提供空气来使基板悬浮。
[0013]在示例性实施例中，吸附传送部件可以以真空吸附方式吸附基板的下表面的边缘部分。
[0014]在示例性实施例中，吸附传送部件可以包括：吸附元件，可以以真空吸附方式吸附基板的下表面的边缘部分；导轨，可以沿着悬浮台的侧面布置，以提供吸附元件移动的路径；以及驱动元件，可以使吸附元件沿导轨移动。
[0015]在示例性实施例中，至少一个升降部件可以包括：第一升降部件，可以布置成邻近悬浮台；以及第二升降部件，可以布置成邻近辊传送部件。第一升降部件可以包括多个销，多个销可以穿过悬浮台而与基板的下表面接触，并使基板上升和下降。第二升降部件可以使辊传送部件的辊上升和下降，以使辊传送部件的辊与基板的下表面接触。
[0016]根据本专利技术的另一方面，提供一种基板处理方法。在该基板处理方法中，可以通过吸附传送部件吸附基板的边缘部分，并且可以在悬浮台的上方传送基板。可以通过液态化学品供应部件在传送基板期间对基板进行液态化学品供应工序。可以通过至少一个升降部件将基板从悬浮台传送到辊传送部件上。可以通过控制部件调节从吸附传送部件分离基板的时间点、至少一个升降部件上升和下降的时间点以及辊传送部件启动的时间点。
[0017]在示例性实施例中，基板可以通过由悬浮台向基板的下表面提供空气而悬浮。
[0018]在示例性实施例中，基板的下表面的边缘部分可以通过吸附传送部件以真空吸附方式被吸附。
[0019]在示例性实施例中，至少一个升降部件可以包括：第一升降部件，可以布置成邻近悬浮台；以及第二升降部件，可以布置成邻近辊传送部件。第一升降部件的多个销可以穿过悬浮台与基板的下表面接触，以使基板上升和下降。第二升降部件可以使辊传送部件的辊上升和下降，以使辊传送部件的辊与基板的下表面接触。
[0020]根据本专利技术的又一方面，提供了一种基板处理装置，该基板处理装置可以包括悬浮台、液态化学品供应部件、吸附传送部件、辊传送部件、至少一个升降部件和控制部件。悬浮台可以包括：装载台，用于载入基板；液态化学品供应台，用于将液态化学品供应到基板上；以及卸载台，用于移出基板。液态化学品供应部件可以将液态化学品排放到经过液态化学品供应台上方的基板上。吸附传送部件可以吸附基板的边缘部分，并且可以在悬浮台的上方传送基板。辊传送部件可以布置成邻近卸载台，并且可以从卸载台传送基板。至少一个升降部件可以布置在卸载台与辊传送部件之间，并且可以将基板从吸附传送部件传送到辊传送部件上。控制部件可以调节从吸附传送部件分离基板的时间点、至少一个升降部件上升和下降的时间点以及辊传送部件启动的时间点。
[0021]在示例性实施例中，装载台和卸载台可以各自向基板的下表面供应空气以使基板悬浮，以及液态化学品供应台可以向基板的下表面供应空气和真空而使基板悬浮。
[0022]在示例性实施例中，吸附传送部件可以以真空吸附方式吸附基板的下表面的边缘部分。
[0023]在示例性实施例中，吸附传送部件可以包括：吸附元件，可以通过真空吸附方式吸附基板的下表面的边缘部分；导轨，可以沿着悬浮台的侧面布置，以提供吸附元件移动的路径；以及驱动元件，可以使吸附元件沿导轨移动。
[0024]在示例性实施例中，至少一个升降部件可以包括：第一升降部件，布置成邻近悬浮
台；以及第二升降部件，布置成邻近辊传送部件。
[0025]在示例性实施例中，第一升降部件可以包括多个销，多个销穿过悬浮台与基板的下表面接触，以使基板上升和下降。第二升降部件可以使辊传送部件的辊上升和下降，以使辊传送部件的辊与基板的下表面接触。
[0026]有益效果
[0027]在根据本专利技术的示例性实施例的基板传送装置中，基板可以与吸附传送部件精确地分离，吸附传送部件可以通过使用至少一个升降部件和控制部件吸附并传送基板的下表面的边缘部分。因此，基板可以从吸附传送部件准确且安全地传送到辊传送部件，而不会使基板受损或损坏。因此，可以提高使用基板制造的显示装置的可靠性和产率。
[0028]但是，本专利技术的效果不限于上述内容，在不脱离本专利技术的思想及领域的范围内，可以进行多种扩展。
附图说明
[0029]图1是用于说明根据本专利技术的示例性实施例的基板处理装置的示意性剖视图。
[0030]图2是用于说明根据本专利技术的示例本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基板处理装置，包括：悬浮台，配置成使基板悬浮；吸附传送部件，用于吸附所述基板的边缘部分，并在所述悬浮台的上方传送所述基板；辊传送部件，布置成邻近所述悬浮台，并且配置成从所述悬浮台传送所述基板；至少一个升降部件，布置在所述悬浮台与所述辊传送部件之间，并且配置成将所述基板从所述吸附传送部件传送到所述辊传送部件上；以及控制部件，用于调节从所述吸附传送部件分离所述基板的时间点、所述至少一个升降部件上升和下降的时间点以及所述辊传送部件启动的时间点。2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，所述悬浮台通过向所述基板的下表面提供空气来使所述基板悬浮。3.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，所述吸附传送部件以真空吸附方式吸附所述基板的下表面的边缘部分。4.根据权利要求3所述的基板处理装置，其中，所述吸附传送部件包括：吸附元件，以真空吸附方式吸附所述基板的下表面的边缘部分；导轨，沿着所述悬浮台的侧面布置，以提供所述吸附元件移动的路径；以及驱动元件，使所述吸附元件沿所述导轨移动。5.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，所述至少一个升降部件包括：第一升降部件，布置成邻近所述悬浮台；以及第二升降部件，布置成邻近所述辊传送部件。6.根据权利要求5所述的基板处理装置，其中，所述第一升降部件包括多个销，所述多个销穿过所述悬浮台与所述基板的下表面接触，以使所述基板上升和下降，以及所述第二升降部件使所述辊传送部件的辊上升和下降，以使所述辊传送部件的辊与所述基板的下表面接触。7.一种基板处理方法，其中，通过吸附传送部件吸附基板的边缘部分，并在悬浮台的上方传送所述基板；通过液态化学品供应部件在传送所述基板期间对所述基板进行液态化学品供应工序；通过至少一个升降部件将所述基板从所述悬浮台传送到辊传送部件上；通过控制部件调节从所述吸附传送部件分离所述基板的时间点、所述至少一个升降部件上升和下降的时间点以及所述辊传送部件启动的时间点。8.根据权利要求7所述的基板处理方法，其中，所述悬浮台通过向所述基板的下表面提供空气来使所述基板悬浮。9.根据权利要求7所述的基板处理方法，其中，所述吸附传送部件以真空吸附方式吸附所述基板的下表面的边缘部分。10.根据权利要求7所述的基板处理方法，其中，所述至少一个升降部...
【专利技术属性】
技术研发人员：李柱荣，洪忠吾，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：
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